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    • 5. 发明专利
    • 可放氣之過濾裝置
    • 可放气之过滤设备
    • TW200831176A
    • 2008-08-01
    • TW096131260
    • 2007-08-23
    • 恩特葛瑞斯公司 ENTEGRIS, INC.
    • 桑原寬一 KUWABARA, HIROKAZU
    • B01D
    • B01D46/0002B01D2273/14B41J2/17563
    • 本發明提供一種過濾裝置,其係促進可放氣之藥液用過濾裝置之小型化,並提升與過濾裝置之放氣作業等有關的操作性及作業性等。過濾裝置1之固定器3具有並立的前壁5、後壁7,此等前壁5及後壁7藉由可構成固定器之上壁9、側壁109、底壁209之任一者的連結部分而彼此連結。固定器3之前壁5上,在使過濾器本體與固定器3組合時,於相當於過濾器本體之吸入口的位置上設有用以使此吸入口旋轉自如地卡止的中央溝孔11。在相當於過濾器本體13之轉軸的位置上,具有用以吸入應通過過濾器本體13而過濾之藥液的吸入口15,並且在圓周位置附近,具有用以將已過濾的藥液由過濾器本體13向噴嘴送出的噴出口17及用以使過濾器本體13中累積的空氣排出的噴出口17。
    • 本发明提供一种过滤设备,其系促进可放气之药液用过滤设备之小型化,并提升与过滤设备之放气作业等有关的操作性及作业性等。过滤设备1之固定器3具有并立的前壁5、后壁7,此等前壁5及后壁7借由可构成固定器之上壁9、侧壁109、底壁209之任一者的链接部分而彼此链接。固定器3之前壁5上,在使过滤器本体与固定器3组合时,于相当于过滤器本体之吸入口的位置上设有用以使此吸入口旋转自如地卡止的中央沟孔11。在相当于过滤器本体13之转轴的位置上,具有用以吸入应通过过滤器本体13而过滤之药液的吸入口15,并且在圆周位置附近,具有用以将已过滤的药液由过滤器本体13向喷嘴送出的喷出口17及用以使过滤器本体13中累积的空气排出的喷出口17。