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1. 发明专利

TWI273201B 空氣供應系統及製造系統 AIR SUPPLY SYSTEM 有权
简体标题：空气供应系统及制造系统 AIR SUPPLY SYSTEM
公开(公告)号：TWI273201B
公开(公告)日：2007-02-11
申请号：TW094142550
申请日：2005-12-02
申请人：台灣積體電路製造股份有限公司 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：郭博菘 KUO, PO SUNG , 陳勇達 CHEN, YUNG DAR , 周政隆 CHOU, JHENG LONG , 吳東立 WU, TUNG LI , 黃銘文 HUANG, MING WEN
IPC分类号： F24F , B01D
CPC分类号： B01D46/10 , B01D46/0023 , B01D46/0086 , B01D46/4263 , B01D53/38 , B01D53/77 , B01D2257/90 , B01D2259/40 , B01D2273/30 , B01D2279/51 , Y10S55/34 , Y10S116/25
摘要：一種空氣供應系統，適用於具有一重要製程機台之一無塵室之中，其包括有一外氣空調單元、一進氣導管、一二次空調箱或外氣空調箱、一第一空氣輸送管、一第二空氣輸送管以及一排氣導管。該進氣導管係連接於該無塵室外部與該外氣空調單元。該第一空氣輸送管係連接於該外氣空調單元與該二次空調箱之間，用以將流經該外氣空調單元之空氣輸送至該二次空調箱之中。該第二空氣輸送管係連接於該二次空調箱與該重要製程機台之間，用以將流經該二次空調箱之空氣輸送至該重要製程機台之中。
简体摘要：一种空气供应系统，适用于具有一重要制程机台之一无尘室之中，其包括有一外气空调单元、一进气导管、一二次空调箱或外气空调箱、一第一空气输送管、一第二空气输送管以及一排气导管。该进气导管系连接于该无尘室外部与该外气空调单元。该第一空气输送管系连接于该外气空调单元与该二次空调箱之间，用以将流经该外气空调单元之空气输送至该二次空调箱之中。该第二空气输送管系连接于该二次空调箱与该重要制程机台之间，用以将流经该二次空调箱之空气输送至该重要制程机台之中。

2. 发明专利

TW536608B 無塵室濾清系統有权
简体标题：无尘室滤清系统
公开(公告)号：TW536608B
公开(公告)日：2003-06-11
申请号：TW090116722
申请日：2001-07-09
申请人：約瑟夫 A 麥吉爾
发明人：約瑟夫 A 麥吉爾
IPC分类号： F24F
CPC分类号： B01D46/0013 , B01D46/0005 , B01D46/42 , B01D2279/51 , E04B9/003 , E04B9/02 , E04B9/14 , E04B9/18 , F24F3/161
摘要：一種用於無塵室之空氣濾清系統係包含有若干個藉由固定於一支承表面之固持桿件(12)一起固定在交叉轉角的濾清器模組(16)，以及至少一個位於每一固持桿件上的支承托架(14，14'，14'')。該等濾清器模組係包含有頂板(18，18')以及一濾清器構件(19)，其中如果頂板(18，18')為可分離時其等係被固定至上部支承托架，以及該具有一剛性框架(21)以及固持在其中之濾板(27)的濾清器構件(19)係被固定於下部托架。照明設備(38)係可被固定於該等濾清器框架中所固持之中央分隔器(40)以及擴散板(50)或是空氣力學形之構件(60)係可被固定於該等濾清器構件下方的支承托架。
简体摘要：一种用于无尘室之空气滤清系统系包含有若干个借由固定于一支承表面之固持杆件(12)一起固定在交叉转角的滤清器模块(16)，以及至少一个位于每一固持杆件上的支承托架(14，14'，14'')。该等滤清器模块系包含有顶板(18，18')以及一滤清器构件(19)，其中如果顶板(18，18')为可分离时其等系被固定至上部支承托架，以及该具有一刚性框架(21)以及固持在其中之滤板(27)的滤清器构件(19)系被固定于下部托架。照明设备(38)系可被固定于该等滤清器框架中所固持之中央分隔器(40)以及扩散板(50)或是空气力学形之构件(60)系可被固定于该等滤清器构件下方的支承托架。

3. 发明专利

TW438679B 過濾器濾材及使用該濾材之空氣清淨裝置失效
简体标题：过滤器滤材及使用该滤材之空气清净设备
公开(公告)号：TW438679B
公开(公告)日：2001-06-07
申请号：TW086111100
申请日：1997-08-04
申请人：大金工業股份有限公司
发明人：井上治 , 茶圓伸一 , 浦岡伸樹 , 楠見智男 , 淺野純 , 平野誠一 , 原聰
IPC分类号： B32B
CPC分类号： B32B27/12 , B01D39/1692 , B01D46/10 , B01D46/523 , B01D69/02 , B01D69/10 , B01D71/36 , B01D2239/0233 , B01D2239/0471 , B01D2239/0613 , B01D2239/0622 , B01D2239/064 , B01D2239/065 , B01D2239/0654 , B01D2239/0668 , B01D2239/069 , B01D2239/1233 , B01D2239/1291 , B01D2275/10 , B01D2279/51 , B32B5/022 , B32B27/00 , B32B27/30 , B32B27/322 , B32B2262/0276 , B32B2305/026 , B32B2307/3065 , B32B2327/18
摘要：藉由在PTFE多孔膜(2)的至少片面設置通氣性支持材料(3,4)，以使得從濾材檢出之有機物的檢出量之最大值為每1g過濾器濾材在3ng以下，而提供一種效率良好的過濾器濾材及使用該濾材之空氣清淨裝置。
简体摘要：借由在PTFE多孔膜(2)的至少片面设置通气性支持材料(3,4)，以使得从滤材检出之有机物的检出量之最大值为每1g过滤器滤材在3ng以下，而提供一种效率良好的过滤器滤材及使用该滤材之空气清净设备。

4. 发明专利

TW201742660A 具有可燃過濾匣及可重覆使用之框架之氣載分子污染過濾匣系統审中-公开
简体标题：具有可燃过滤匣及可重复使用之框架之气载分子污染过滤匣系统
公开(公告)号：TW201742660A
公开(公告)日：2017-12-16
申请号：TW106114378
申请日：2017-04-28
申请人：恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：勒布朗湯瑪士 , LEBLANC, THOMAS , 懷德古斯喬 , WILDGOOSE, JOE , 凡內特馬克 , VENET, MARC , 華納斯伊凡 , WARNIERS, EVAN , 高卓約翰 C , GAUDREAU, JOHN C.
IPC分类号： B01D39/12 , B01D35/30 , B01D27/08 , B01D53/02
CPC分类号： B01D46/521 , B01D46/0005 , B01D46/0026 , B01D46/0036 , B01D46/10 , B01D2265/04 , B01D2279/51
摘要：本發明係關於一種用於控制氣載分子污染之過濾匣系統，該過濾匣系統包括：一過濾匣，其包括一非織纖維及至少一吸附劑，該過濾匣包括實質上可燃材料；及一可重覆使用之殼，其用於該過濾匣，該過濾匣可容易地自該可重覆使用之殼分離以便處理。
简体摘要：本发明系关于一种用于控制气载分子污染之过滤匣系统，该过滤匣系统包括：一过滤匣，其包括一非织纤维及至少一吸附剂，该过滤匣包括实质上可燃材料；及一可重复使用之壳，其用于该过滤匣，该过滤匣可容易地自该可重复使用之壳分离以便处理。

5. 发明专利

TWI515035B 可再生皺褶式過濾器媒介有权
简体标题：可再生皱褶式过滤器媒介
公开(公告)号：TWI515035B
公开(公告)日：2016-01-01
申请号：TW099105579
申请日：2010-02-26
申请人：科邁實業有限公司 , CAMFIL AB
发明人：佛斯朗德麥可 , FORSLUND, MIKAEL , 蓋雷特古洛米 , GALLET, GUILLAUME , 林達爾克里斯雀 , LINDAHL, CHRISTIAN
IPC分类号： B01D29/07 , B01D53/18
CPC分类号： B01D46/521 , B01D39/1623 , B01D46/0036 , B01D46/0063 , B01D53/02 , B01D2239/0407 , B01D2239/065 , B01D2239/0654 , B01D2253/102 , B01D2253/202 , B01D2253/34 , B01D2259/4508 , B01D2279/51

6. 发明专利

TW200927267A 過濾器單元板审中-公开
简体标题：过滤器单元板
公开(公告)号：TW200927267A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：TW097143989
申请日：2008-11-14
申请人：日東電工股份有限公司 NITTO DENKO CORPORATION
发明人：鈴木理利 SUZUKI, MASATOSHI , 矢野陽三 YANO, YOUZOU , 鈴木曉夫 SUZUKI, AKIO
IPC分类号： B01D
CPC分类号： B01D46/10 , B01D46/0005 , B01D46/0013 , B01D46/002 , B01D46/521 , B01D2265/04 , B01D2279/50 , B01D2279/51
摘要：本發明係提供一種使用將樹脂構件作為框體之複數個過濾器單元與包圍該等單元之外框、且可抑制來自接著劑之有機氣體之產生的過濾器單元板。該過濾器單元板包括複數個過濾器單元100以及包圍該等單元之外框10,過濾器單元分別包括經摺疊加工之過濾器濾材、以及支持過濾器濾材之框體,外框10以及框體均係樹脂構件,過濾器單元100藉由互相鄰接之框體之熔接而一體化,且外框與框體藉由熔接而一體化。
简体摘要：本发明系提供一种使用将树脂构件作为框体之复数个过滤器单元与包围该等单元之外框、且可抑制来自接着剂之有机气体之产生的过滤器单元板。该过滤器单元板包括复数个过滤器单元100以及包围该等单元之外框10,过滤器单元分别包括经折叠加工之过滤器滤材、以及支持过滤器滤材之框体,外框10以及框体均系树脂构件,过滤器单元100借由互相邻接之框体之熔接而一体化,且外框与框体借由熔接而一体化。

7. 发明专利

TW200409889A 風機 - 濾網機組風量迴授控制方法與裝置审中-公开
简体标题：风机 - 滤网机组风量回授控制方法与设备
公开(公告)号：TW200409889A
公开(公告)日：2004-06-16
申请号：TW091135788
申请日：2002-12-11
申请人：財團法人工業技術研究院 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：鄭名山 , 胡銘道 , 陳俊杰 , 楊國祥
IPC分类号： F24F
CPC分类号： B01D46/446 , B01D46/46 , B01D2279/51 , F24F3/161 , F24F11/39 , F24F11/77 , F24F2001/0096
摘要：一種風機–濾網機組風量迴授控制方法與裝置，其可例如應用於半導體製造工廠之無塵室的風機–濾網機組上，用以控制該風機–濾網機組恆定地保持於一預設之固定送風量。此風機–濾網機組風量迴授控制方法與裝置的特點在於以送風量為迴授控制參數，而非習知技術般地以馬達轉速為迴授控制參數，因此可控制風機–濾網機組恆定地保持於一預設之固定送風量。此風機–濾網機組風量迴授控制方法與裝置因此較習知技術具有更佳之進步性及實用性。
简体摘要：一种风机–滤网机组风量回授控制方法与设备，其可例如应用于半导体制造工厂之无尘室的风机–滤网机组上，用以控制该风机–滤网机组恒定地保持于一默认之固定送风量。此风机–滤网机组风量回授控制方法与设备的特点在于以送风量为回授控制参数，而非习知技术般地以马达转速为回授控制参数，因此可控制风机–滤网机组恒定地保持于一默认之固定送风量。此风机–滤网机组风量回授控制方法与设备因此较习知技术具有更佳之进步性及实用性。

8. 发明专利

TW508413B 高過濾效率,低能耗,及低噪音之風扇過濾單元失效
简体标题：高过滤效率,低能耗,及低噪音之风扇过滤单元
公开(公告)号：TW508413B
公开(公告)日：2002-11-01
申请号：TW090102073
申请日：2001-02-01
申请人： HEPA股份有限公司
发明人：彼德.尚梭
IPC分类号： F04D
CPC分类号： B01D46/0002 , B01D46/10 , B01D2279/51
摘要：一種用於無塵室的風扇過濾單元，具有一障板結構，其大小及位置用以限制從單元之馬達驅動之風扇進入到出風口的氣流，障板結構垂直延伸的高度足以避免外殼內的氣流反轉，以降低單元所需的能源，同時將噪音控制在一定位準，並將所產生的熱保持在最低。
简体摘要：一种用于无尘室的风扇过滤单元，具有一障板结构，其大小及位置用以限制从单元之马达驱动之风扇进入到出风口的气流，障板结构垂直延伸的高度足以避免外壳内的气流反转，以降低单元所需的能源，同时将噪音控制在一定位准，并将所产生的热保持在最低。

9. 发明专利

TW201609233A 過濾器外殼审中-公开
简体标题：过滤器外壳
公开(公告)号：TW201609233A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：TW104129419
申请日：2015-09-04
申请人：坎菲爾公司 , CAMFIL AB
发明人：休斯馬修 , HUGUES, MATHIEU , 萊郡史東史戴芬
IPC分类号： B01D35/30
CPC分类号： B01D46/001 , B01D46/0097 , B01D46/185 , B01D2279/51 , F24F3/16 , F24F3/161 , F24F13/08 , F24F13/085 , F24F13/28 , F24F2013/205 , F24F2221/14
摘要：本發明係關於一用於供應空氣至一空間之空氣過濾器外殼，該空氣過濾器外殼經構形以配置在該空間之一天花板中，該外殼具有一面向下之口，該口包括一密封表面，其經構形以接納一面板類型空氣過濾器，該空氣過濾器包括一框架及固持在該框架內之一過濾器媒體，使得達成該密封表面與該框架之間的一密封連接，其特徵為該過濾器外殼進一步包括至少一彈性部件，該彈性部件配置在該密封表面下使得當一面板類型空氣過濾器插入該口時，隨著該過濾器通過該彈性部件，該彈性部件將藉由該過濾器框架變形，且一旦該過濾器已通過，即恢復其原始形狀，使得該過濾器保持在該密封表面與該彈性部件之間。本發明係進一步關於一潔淨室中之一過濾器外殼之使用，且關於一在一空氣過濾器外殼中安裝一面板類型空氣過濾器之方法。
简体摘要：本发明系关于一用于供应空气至一空间之空气过滤器外壳，该空气过滤器外壳经构形以配置在该空间之一天花板中，该外壳具有一面向下之口，该口包括一密封表面，其经构形以接纳一皮肤类型空气过滤器，该空气过滤器包括一框架及固持在该框架内之一过滤器媒体，使得达成该密封表面与该框架之间的一密封连接，其特征为该过滤器外壳进一步包括至少一弹性部件，该弹性部件配置在该密封表面下使得当一皮肤类型空气过滤器插入该口时，随着该过滤器通过该弹性部件，该弹性部件将借由该过滤器框架变形，且一旦该过滤器已通过，即恢复其原始形状，使得该过滤器保持在该密封表面与该弹性部件之间。本发明系进一步关于一洁净室中之一过滤器外壳之使用，且关于一在一空气过滤器外壳中安装一皮肤类型空气过滤器之方法。

10. 发明专利

TW200714850A 特別用於除塵室中的飄浮物質過濾器 SCHWEBSTOFFFILTER, INSBESONDERE FR DEN EINSATZ IN REINR UMEN BR UER, RALF 失效
简体标题：特别用于除尘室中的飘浮物质过滤器 SCHWEBSTOFFFILTER, INSBESONDERE FR DEN EINSATZ IN REINR UMEN BR UER, RALF
公开(公告)号：TW200714850A
公开(公告)日：2007-04-16
申请号：TW095119826
申请日：2006-06-05
申请人： M+W桑德控股公司 M+W ZANDER HOLDING AG
发明人：拉爾夫布勞爾 BR UER, RALF , 塔西爾丁克索 DINCSOY, TAHIR
IPC分类号： F24F , B01D
CPC分类号： B01D46/521 , B01D46/10 , B01D46/42 , B01D2279/51 , F24F3/161 , F24F13/078
摘要：一種飄浮物質過濾器,具有至少一過濾介質(2)(3)及至少一發光手段(21)。為了將該飄浮物質過濾器設計成使發光手段(21)可毫無問題地設在飄浮物質過濾器上,故該發光手段(21)至少大致位在過濾介質(2)(3)的高度內。如此,清潔空氣的流動性質在從過濾介質(2)(3)出來時不受干擾。此外利用發光手段(21)可確保充分照明。此外,由於發光手段位於過濾介質(2)(3)內的區域,故不須將照明手段(21)作特別的安裝。(圖3)
简体摘要：一种飘浮物质过滤器,具有至少一过滤介质(2)(3)及至少一发光手段(21)。为了将该飘浮物质过滤器设计成使发光手段(21)可毫无问题地设在飘浮物质过滤器上,故该发光手段(21)至少大致位在过滤介质(2)(3)的高度内。如此,清洁空气的流动性质在从过滤介质(2)(3)出来时不受干扰。此外利用发光手段(21)可确保充分照明。此外,由于发光手段位于过滤介质(2)(3)内的区域,故不须将照明手段(21)作特别的安装。(图3)

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