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    • 5. 发明专利
    • 捕集阱裝置
    • 捕集阱设备
    • TW457300B
    • 2001-10-01
    • TW086116741
    • 1997-11-10
    • 東京威力科創有限公司
    • 林和一藤川雄一郎
    • C23CB01D
    • B01D45/08Y10S438/905Y10S438/909
    • 本發明之捕集阱裝置具備有:配設於對被處理體實施成膜(形成膜)處理之成膜裝置用之排氣系之框體;被配設於框體而連接有排氣系之排氣管路,用以導入經由排氣管路所流動之排氣至框體內用之空氣導入口;被配設於框體而連接有排氣系之排氣管路,用以排出經由框體內部空間所流通之排氣至排氣管路用之氣體排出口;被配設於框體內,而在氣體導入口和氣體排出口之間,予以分割框體內部空間成複數之室之複數隔板;配設於複數之隔板之可令經由氣體導入口被導入於框體內之排氣會依序流動於由隔板所分割之各室並從氣體排出口來排出之氣體流通口;及被收容於各室內,用以捕獲經由氣體導入口被導入於框體內之排氣中所含有之反應副生成物用之捕集阱機構者。
    • 本发明之捕集阱设备具备有:配设于对被处理体实施成膜(形成膜)处理之成膜设备用之排气系之框体;被配设于框体而连接有排气系之排气管路,用以导入经由排气管路所流动之排气至框体内用之空气导入口;被配设于框体而连接有排气系之排气管路,用以排出经由框体内部空间所流通之排气至排气管路用之气体排出口;被配设于框体内,而在气体导入口和气体排出口之间,予以分割框体内部空间成复数之室之复数隔板;配设于复数之隔板之可令经由气体导入口被导入于框体内之排气会依序流动于由隔板所分割之各室并从气体排出口来排出之气体流通口;及被收容于各室内,用以捕获经由气体导入口被导入于框体内之排气中所含有之反应副生成物用之捕集阱机构者。
    • 6. 发明专利
    • 半導體製程廢氣處理之刮灰裝置
    • 半导体制程废气处理之刮灰设备
    • TW410179B
    • 2000-11-01
    • TW086102841
    • 1997-03-08
    • 三星電子股份有限公司
    • 金熙德崔圭相金鎮滿
    • B08BB01D
    • B01D45/08B01D53/34B01D53/74
    • 一種廢氣處理裝置,包含一刮除器旋轉部份,可以將任何吸附在廢氣收集部份內壁處之微細反應顆粒刮去,或將吸附在收集單元之收集引入鬥部份表面上之微細反應顆粒刮去;此刮除器係固定在一個刮除器支撐桿上,此刮除器支撐桿與錐形支撐桿同軸,以此支撐桿為中心,繞著一個360度之圓弧旋轉;由於傳統之設置只能做180度之旋轉,且每一次轉完都要變換旋轉方向,因此本發明之設置具有較大之微細顆粒收集效率。
    • 一种废气处理设备,包含一刮除器旋转部份,可以将任何吸附在废气收集部份内壁处之微细反应颗粒刮去,或将吸附在收集单元之收集引入斗部份表面上之微细反应颗粒刮去;此刮除器系固定在一个刮除器支撑杆上,此刮除器支撑杆与锥形支撑杆同轴,以此支撑杆为中心,绕着一个360度之圆弧旋转;由于传统之设置只能做180度之旋转,且每一次转完都要变换旋转方向,因此本发明之设置具有较大之微细颗粒收集效率。