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1. 发明专利

TWI600924B 量測非球面及其他非平面表面凹凸形狀之方法有权
简体标题：量测非球面及其他非平面表面凹凸形状之方法
公开(公告)号：TWI600924B
公开(公告)日：2017-10-01
申请号：TW105127398
申请日：2015-01-09
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人：德勒澤爾湯瑪士 , DRESEL, THOMAS , 萊森納揚 , LIESENER, JAN , 古魯特彼得J , GROOT, PETER J.
IPC分类号： G02B21/36 , G02B21/00 , G01B11/00 , G01B11/30 , G01M11/00 , G01B9/04
CPC分类号： G02B21/367 , G01B9/02072 , G01B9/02085 , G01B9/04 , G01B11/2441 , G01B11/2522 , G01B2210/52 , G01M11/025 , G01M11/0271 , G02B21/002 , G02B21/008 , G02B21/26

2. 发明专利

TWI596325B 決定物體或透明光學元件的資訊的方法與系統以及形成光學組件方法有权
简体标题：决定物体或透明光学组件的信息的方法与系统以及形成光学组件方法
公开(公告)号：TWI596325B
公开(公告)日：2017-08-21
申请号：TW104126498
申请日：2015-08-14
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人：費馬丁 , FAY, MARTIN , 柯隆納迪雷加塞維爾 , COLONNA DE LEGA, XAVIER
IPC分类号： G01M11/02 , G02B3/00

3. 发明专利

TWI516746B 在干涉編碼系統中執行非諧循環錯誤補償的方法、裝置及計算機程式產品，以及微影系統有权
简体标题：在干涉编码系统中运行非谐循环错误补偿的方法、设备及计算机进程产品，以及微影系统
公开(公告)号：TWI516746B
公开(公告)日：2016-01-11
申请号：TW101141248
申请日：2012-11-07
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人：德馬雷斯特法蘭克C , DEMAREST, FRANK C.
IPC分类号： G01D5/244 , G01D5/38
CPC分类号： G01B11/14 , G01B9/02059 , G01D5/38 , G03B27/58 , G03F7/70775 , G03F9/7049 , G03F9/7092 , H01L21/681

4. 发明专利

TW201539031A 量測非球面及其他非平面表面凹凸形狀之方法审中-公开
简体标题：量测非球面及其他非平面表面凹凸形状之方法
公开(公告)号：TW201539031A
公开(公告)日：2015-10-16
申请号：TW104100683
申请日：2015-01-09
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人：德勒澤爾湯瑪士 , DRESEL, THOMAS , 萊森納揚 , LIESENER, JAN , 古魯特彼得J , GROOT, PETER J.
IPC分类号： G02B21/36 , G02B21/00 , G01B11/00 , G01B11/30 , G01M11/00 , G01B9/04
CPC分类号： G02B21/367 , G01B9/02072 , G01B9/02085 , G01B9/04 , G01B11/2441 , G01B11/2522 , G01B2210/52 , G01M11/025 , G01M11/0271 , G02B21/002 , G02B21/008 , G02B21/26
摘要：產生一非平面表面的一合成影像，包括：使用一顯微鏡獲得該非平面表面中不同區域的多個影像，每個影像包含和至少一鄰近影像重疊的一區域，具有足夠解析度的該顯微鏡對該非平面表面上的一微結構進行三維取像，該微結構具有十微米或更小的一側向尺寸與十微米或更小的一高度；對於該些影像每個，以共用座標系統，決定關於在該影像中該測試物體的一位置與一方向的一組剛體(Rigid body)參數，且該組剛體參數由在該影像的該重疊區域所解析出的該微結構與該鄰近影像的該重疊區域相應的該微結構所配適決定；以及基於該些組剛體參數組合該些影像以產生一合成影像。
简体摘要：产生一非平面表面的一合成影像，包括：使用一显微镜获得该非平面表面中不同区域的多个影像，每个影像包含和至少一邻近影像重叠的一区域，具有足够分辨率的该显微镜对该非平面表面上的一微结构进行三维取像，该微结构具有十微米或更小的一侧向尺寸与十微米或更小的一高度；对于该些影像每个，以共享座标系统，决定关于在该影像中该测试物体的一位置与一方向的一组刚体(Rigid body)参数，且该组刚体参数由在该影像的该重叠区域所解析出的该微结构与该邻近影像的该重叠区域相应的该微结构所配适决定；以及基于该些组刚体参数组合该些影像以产生一合成影像。

5. 发明专利

TW201514443A 使用相位移之干涉量測信號的同調掃描干涉量測方法审中-公开
简体标题：使用相位移之干涉量测信号的同调扫描干涉量测方法
公开(公告)号：TW201514443A
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：TW103122025
申请日：2014-06-26
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人：古魯特彼得J , GROOT, PETER J. , 迪克萊斯利L , DECK, LESLIE L.
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02
CPC分类号： G01B9/0209 , G01B9/02081 , G01B11/2441 , G01B2290/70
摘要：低同調掃描系統和用以操作相同系統的方法，包括同時測量對應於強度圖案的兩相位移干涉圖，分別在第1和第2偵測器上以參考光干涉從測試物反射的測試光而產生，其中測試光和參考光得自共同的來源。第1偵測器測量的干涉圖定義第1組的掃描干涉量測信號，以及第2偵測器測量的干涉圖定義第2組的掃描干涉量測信號，對應於測試物上大體上相同的多重橫向位置，其中第2組的各干涉量測信號係相對於對應的第1組的各干涉量測信號相位移。電子處理器處理互相獨立或以結合方式之第1組和第2組的干涉量測信號，得到關於測試物的資訊。
简体摘要：低同调扫描系统和用以操作相同系统的方法，包括同时测量对应于强度图案的两相位移干涉图，分别在第1和第2侦测器上以参考光干涉从测试物反射的测试光而产生，其中测试光和参考光得自共同的来源。第1侦测器测量的干涉图定义第1组的扫描干涉量测信号，以及第2侦测器测量的干涉图定义第2组的扫描干涉量测信号，对应于测试物上大体上相同的多重横向位置，其中第2组的各干涉量测信号系相对于对应的第1组的各干涉量测信号相位移。电子处理器处理互相独立或以结合方式之第1组和第2组的干涉量测信号，得到关于测试物的信息。

6. 发明专利

TWI479125B 干涉式編碼器系統的密接式編碼頭有权
简体标题：干涉式编码器系统的密接式编码头
公开(公告)号：TWI479125B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：TW101141506
申请日：2012-11-08
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人：利森諾珍 , LIESENER, JAN
IPC分类号： G01D5/26 , G01B11/00

7. 发明专利

TW201502631A 具有整合式撓性機構之單片光學元件审中-公开
简体标题：具有集成式挠性机构之单片光学组件
公开(公告)号：TW201502631A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103104679
申请日：2014-02-13
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人：布雷默馬克 , BREMER, MARK
IPC分类号： G02B7/00
CPC分类号： G02B7/182 , G02B7/008 , G02B7/02 , G02B7/192
摘要：一種光學元件包括一單片體部，該單片體部具有一內體部、至少部份地繞著該內體部延伸之一外體部、以及連接該內體部於該外體部之精確地三個撓性樞紐。該內體部及該外體部之一係定義用於反射、折射或衍射光線之一光學主動部，以及該內體部及該外體部之另一係定義一安裝部。
简体摘要：一种光学组件包括一单片体部，该单片体部具有一内体部、至少部份地绕着该内体部延伸之一外体部、以及连接该内体部于该外体部之精确地三个挠性枢纽。该内体部及该外体部之一系定义用于反射、折射或衍射光线之一光学主动部，以及该内体部及该外体部之另一系定义一安装部。

8. 发明专利

TWI467126B 熱穩定光感測器基座有权
简体标题：热稳定光传感器基座
公开(公告)号：TWI467126B
公开(公告)日：2015-01-01
申请号：TW101141504
申请日：2012-11-08
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人：巴達米微微克G , BADAMI, VIVEK G.
IPC分类号： G01B11/04 , G03F7/20
CPC分类号： G01B11/14 , G01B9/02049 , G01D5/34753 , G03F7/70258 , G03F7/70775 , G03F7/70825 , G03F7/7085 , G03F7/70858

9. 发明专利

TWI448661B 使用極化掃描法之干涉儀有权
简体标题：使用极化扫描法之干涉仪
公开(公告)号：TWI448661B
公开(公告)日：2014-08-11
申请号：TW097143479
申请日：2008-11-11
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人：彼得DE 古魯特 , PETER DE GROOT , 塞維爾柯隆納迪雷加 , XAVIER COLONNA DE LEGA
IPC分类号： G01B9/02 , G02B27/28
CPC分类号： G02B21/0004

10. 发明专利

TWI444592B 在干涉編碼器系統中之循環式錯誤補償之方法、裝置，以及電腦程式產品有权
简体标题：在干涉编码器系统中之循环式错误补偿之方法、设备，以及电脑进程产品
公开(公告)号：TWI444592B
公开(公告)日：2014-07-11
申请号：TW100145898
申请日：2011-12-13
申请人：賽格股份有限公司 , ZYGO CORPORATION
发明人：德馬雷斯特法蘭克C , DEMAREST, FRANK C.
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01D5/24476 , G01D5/38 , G03F7/70775

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