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    • 10. 发明专利
    • 半導體晶圓之晶片分割方法
    • 半导体晶圆之芯片分割方法
    • TWI295075B
    • 2008-03-21
    • TW094115586
    • 2001-03-14
    • 豊田合成股份有限公司 TOYODA GOSEI CO., LTD.
    • 橋村昌樹 MASAKI HASHIMURA佐藤孝夫 TAKAO SATO太田光一 KOICHI OTA
    • H01L
    • H01L21/3046H01L21/3043H01L21/3081H01L21/78
    • 本發明係關於一種半導體晶圓之晶片分割方法,其為,在基板上形成半導體層所成之半導體晶圓分割成多數的半導體晶片之方法者。第一之方法係包含形成在半導體晶圓之表面上,留下格子狀露出部之圖案之耐噴砂罩幕之步驟,及對半導體晶圓噴射微粒子噴砂材,在格子狀露出部形成到達前述基板之預定深度之分割用槽溝之步驟者。第二之方法係包含在半導體晶圓之形成有半導體層側之表面,用切片,蝕刻或噴砂法等形成槽溝寬幅相對地較狹窄的第一分割用槽溝的步驟,及在半導體晶圓之非形成半導體層側之表面且對應於第一分割用槽溝之位置,用切片法形成槽溝寬幅相對地較寬之第二分割用槽溝之步驟者。
    • 本发明系关于一种半导体晶圆之芯片分割方法,其为,在基板上形成半导体层所成之半导体晶圆分割成多数的半导体芯片之方法者。第一之方法系包含形成在半导体晶圆之表面上,留下格子状露出部之图案之耐喷砂罩幕之步骤,及对半导体晶圆喷射微粒子喷砂材,在格子状露出部形成到达前述基板之预定深度之分割用槽沟之步骤者。第二之方法系包含在半导体晶圆之形成有半导体层侧之表面,用切片,蚀刻或喷砂法等形成槽沟宽幅相对地较狭窄的第一分割用槽沟的步骤,及在半导体晶圆之非形成半导体层侧之表面且对应于第一分割用槽沟之位置,用切片法形成槽沟宽幅相对地较宽之第二分割用槽沟之步骤者。