专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201722617A 承載環、研磨裝置以及研磨方法审中-公开
简体标题：承载环、研磨设备以及研磨方法
公开(公告)号：TW201722617A
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW105127028
申请日：2016-08-24
申请人： SUMCO股份有限公司 , SUMCO CORPORATION
发明人：西村好信 , NISHIMURA, YOSHINOBU
IPC分类号： B24B7/17 , H01L21/304
CPC分类号： B24B7/04 , B24B7/17 , H01L21/304
摘要：本發明提供一種研磨裝置，不需要使步驟複雜化及提升成本就能夠提升被研磨物的研磨品質。兩頭研磨裝置包括：具有能夠支持矽晶圓W的支持孔241的圓板狀的承載環2；以承載環2的中心C1為旋轉軸來旋轉該承載環2的旋轉機構；具有研磨矽晶圓W的砥石的研磨輪4，其中支持孔241形成該支持孔241的中心C2相對於承載環2的中心C1偏心的圓形。
简体摘要：本发明提供一种研磨设备，不需要使步骤复杂化及提升成本就能够提升被研磨物的研磨品质。两头研磨设备包括：具有能够支持硅晶圆W的支持孔241的圆板状的承载环2；以承载环2的中心C1为旋转轴来旋转该承载环2的旋转机构；具有研磨硅晶圆W的砥石的研磨轮4，其中支持孔241形成该支持孔241的中心C2相对于承载环2的中心C1偏心的圆形。

2. 发明专利

TWI601597B 硏磨裝置及硏磨方法有权
简体标题：研磨设备及研磨方法
公开(公告)号：TWI601597B
公开(公告)日：2017-10-11
申请号：TW104108733
申请日：2015-03-19
申请人： SUMCO股份有限公司 , SUMCO CORPORATION
发明人：西村好信 , NISHIMURA, YOSHINOBU
IPC分类号： B24B37/08 , H01L21/304
CPC分类号： B24B49/00 , B24B7/17 , B24B7/228 , B24B37/08 , B24B41/047 , B24B49/02 , G01B21/22 , H01L21/304

3. 发明专利

TWI622461B 承載環、研磨裝置以及研磨方法有权
简体标题：承载环、研磨设备以及研磨方法
公开(公告)号：TWI622461B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：TW105127028
申请日：2016-08-24
申请人： SUMCO股份有限公司 , SUMCO CORPORATION
发明人：西村好信 , NISHIMURA, YOSHINOBU
IPC分类号： B24B7/17 , H01L21/304

4. 发明专利

TWI613030B 工作機械之調平固定座調整方法以及利用該方法之研磨加工方法有权
简体标题：工作机械之调平固定座调整方法以及利用该方法之研磨加工方法
公开(公告)号：TWI613030B
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW106109109
申请日：2017-03-20
申请人： SUMCO股份有限公司 , SUMCO CORPORATION
发明人：西村好信 , NISHIMURA, YOSHINOBU
IPC分类号： B23Q1/00 , B24B7/17 , B24B47/26 , H01L21/304

5. 发明专利

TW201808514A 工作機械之調平固定座調整方法以及利用該方法之研磨加工方法审中-公开
简体标题：工作机械之调平固定座调整方法以及利用该方法之研磨加工方法
公开(公告)号：TW201808514A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106109109
申请日：2017-03-20
申请人： SUMCO股份有限公司 , SUMCO CORPORATION
发明人：西村好信 , NISHIMURA, YOSHINOBU
IPC分类号： B24B37/08 , B24B49/02
摘要：本發明的目的是提供一種能夠改善工作機械的加工精度的調平固定座調整方法。本發明的透過複數的調平固定座來水平支持工作機械的調平固定座調整方法，包括：第1步驟，安裝加速度感測器到該複數的調平固定座，使用衝擊鎚進行敲擊以對該複數的調平固定座分別加振，從該加速度感測器測量響應加速度信號；第2步驟，從該第1步驟中得到的該響應加速度信號，分別求出該複數的調平固定座的參照值；第3步驟，根據從該第2步驟中分別求出的該參照值的比，鎖緊或鬆開該複數的調平固定座的調整螺絲的至少任一者，藉此調整該複數的調平調平固定座。
简体摘要：本发明的目的是提供一种能够改善工作机械的加工精度的调平固定座调整方法。本发明的透过复数的调平固定座来水平支持工作机械的调平固定座调整方法，包括：第1步骤，安装加速度传感器到该复数的调平固定座，使用冲击锤进行敲击以对该复数的调平固定座分别加振，从该加速度传感器测量响应加速度信号；第2步骤，从该第1步骤中得到的该响应加速度信号，分别求出该复数的调平固定座的参照值；第3步骤，根据从该第2步骤中分别求出的该参照值的比，锁紧或松开该复数的调平固定座的调整螺丝的至少任一者，借此调整该复数的调平调平固定座。

6. 发明专利

TW201603944A 硏磨裝置及硏磨方法审中-公开
简体标题：研磨设备及研磨方法
公开(公告)号：TW201603944A
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW104108733
申请日：2015-03-19
申请人： SUMCO股份有限公司 , SUMCO CORPORATION
发明人：西村好信 , NISHIMURA, YOSHINOBU
IPC分类号： B24B37/08 , H01L21/304
CPC分类号： B24B49/00 , B24B7/17 , B24B7/228 , B24B37/08 , B24B41/047 , B24B49/02 , G01B21/22 , H01L21/304
摘要：提供一種不會降低生產效率及良品率，並可掌握移動部之異常狀態的雙頭研磨加工裝置。雙頭研磨加工裝置1包括：主軸驅動部30，係使可安裝砂輪10之主軸31轉動；移動部90，係使主軸驅動部30在接近、遠離晶圓W之方向移動；以及傾斜量測部60，係測量主軸驅動30部之移動所伴隨之主軸31之傾斜的變化。
简体摘要：提供一种不会降低生产效率及良品率，并可掌握移动部之异常状态的双头研磨加工设备。双头研磨加工设备1包括：主轴驱动部30，系使可安装砂轮10之主轴31转动；移动部90，系使主轴驱动部30在接近、远离晶圆W之方向移动；以及倾斜量测部60，系测量主轴驱动30部之移动所伴随之主轴31之倾斜的变化。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式