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1. 发明专利

TWI519779B 電子射線裝置失效
简体标题：电子射线设备
公开(公告)号：TWI519779B
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW103134994
申请日：2006-02-17
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：中筋護 , NAKASUJI, MAMORU , 野路伸治 , NOJI, NOBUHARU , 佐竹徹 , SATAKE, TOHRU , 曾布川拓司 , SOBUKAWA, HIROSI
IPC分类号： G01N23/00 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/225 , G02F2001/136254 , H01J37/226 , H01J2237/15 , H01J2237/2482 , H01J2237/2817 , H01L27/146 , H01L27/14601

3. 发明专利

TWI458967B 電子射線裝置有权
简体标题：电子射线设备
公开(公告)号：TWI458967B
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW095105569
申请日：2006-02-17
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：中筋護 , NAKASUJI, MAMORU , 野路伸治 , NOJI, NOBUHARU , 佐竹徹 , SATAKE, TOHRU , 曾布川拓司 , SOBUKAWA, HIROSI
IPC分类号： G01N23/00 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/225 , G02F2001/136254 , H01J37/226 , H01J2237/15 , H01J2237/2482 , H01J2237/2817 , H01L27/146 , H01L27/14601

4. 发明专利

TW201506390A 電子射線裝置失效
简体标题：电子射线设备
公开(公告)号：TW201506390A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：TW103134994
申请日：2006-02-17
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：中筋護 , NAKASUJI, MAMORU , 野路伸治 , NOJI, NOBUHARU , 佐竹徹 , SATAKE, TOHRU , 曾布川拓司 , SOBUKAWA, HIROSI
IPC分类号： G01N23/00 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/225 , G02F2001/136254 , H01J37/226 , H01J2237/15 , H01J2237/2482 , H01J2237/2817 , H01L27/146 , H01L27/14601
摘要：本發明的目的係提供一種電子射線裝置，其係將評估區域分割成複數個副視野，並將1次電子射線依序照射於副視野，且依各個副視野，利用檢測手段將包含試料面之資訊的2次電子進行檢測，從而得到評估區域的資訊之電子射線裝置，其係即使使用圖框數/sec小的區域感測器亦可得到高速的畫像者。為此，電子射線裝置之檢測手段26係具備有複數個單元檢測器24-1，其係由下述構件所構成：區域感測器CCD1至CCD14；其一端結合於區域感測器之檢測面之光纖束25；以及形成有塗布在光纖束之另一端、且用以成像副視野的2次電子射線之閃爍體的FOP。藉由電磁偏向器，每當照射電子射線之副視野移動時，使來自該副視野之2次電子射線偏向，並使之移動於單元檢測器之FOP面上。由於自各單元檢測器，可於其他之單元檢測器的曝光中可取出畫像資訊，故可取得高速畫像。
简体摘要：本发明的目的系提供一种电子射线设备，其系将评估区域分割成复数个副视野，并将1次电子射线依序照射于副视野，且依各个副视野，利用检测手段将包含试料面之信息的2次电子进行检测，从而得到评估区域的信息之电子射线设备，其系即使使用图框数/sec小的区域传感器亦可得到高速的画像者。为此，电子射线设备之检测手段26系具备有复数个单元检测器24-1，其系由下述构件所构成：区域传感器CCD1至CCD14；其一端结合于区域传感器之检测面之光纤束25；以及形成有涂布在光纤束之另一端、且用以成像副视野的2次电子射线之闪烁体的FOP。借由电磁偏向器，每当照射电子射线之副视野移动时，使来自该副视野之2次电子射线偏向，并使之移动於单元检测器之FOP面上。由于自各单元检测器，可于其他之单元检测器的曝光中可取出画像信息，故可取得高速画像。

5. 发明专利

TW201307833A 電子射線裝置审中-公开
简体标题：电子射线设备
公开(公告)号：TW201307833A
公开(公告)日：2013-02-16
申请号：TW101142358
申请日：2006-02-17
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：中筋護 , NAKASUJI, MAMORU , 野路伸治 , NOJI, NOBUHARU , 佐竹徹 , SATAKE, TOHRU , 曾布川拓司 , SOBUKAWA, HIROSI
IPC分类号： G01N23/00 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/225 , G02F2001/136254 , H01J37/226 , H01J2237/15 , H01J2237/2482 , H01J2237/2817 , H01L27/146 , H01L27/14601
摘要：本發明的目的係提供一種電子射線裝置，其係將評估區域分割成複數個副視野，並將1次電子射線依序照射於副視野，且依各個副視野，利用檢測手段將包含試料面之資訊的2次電子進行檢測，從而得到評估區域的資訊之電子射線裝置，其係即使使用圖框數/sec小的區域感測器亦可得到高速的畫像者。為此，電子射線裝置之檢測手段26係具備有複數個單元檢測器24-1，其係由下述構件所構成：區域感測器CCD1至CCD14；其一端結合於區域感測器之檢測面之光纖束25；以及形成有塗布在光纖束之另一端、且用以成像副視野的2次電子射線之閃爍體的FOP。藉由電磁偏向器，每當照射電子射線之副視野移動時，使來自該副視野之2次電子射線偏向，並使之移動於單元檢測器之FOP面上。由於自各單元檢測器，可於其他之單元檢測器的曝光中可取出畫像資訊，故可取得高速畫像。
简体摘要：本发明的目的系提供一种电子射线设备，其系将评估区域分割成复数个副视野，并将1次电子射线依序照射于副视野，且依各个副视野，利用检测手段将包含试料面之信息的2次电子进行检测，从而得到评估区域的信息之电子射线设备，其系即使使用图框数/sec小的区域传感器亦可得到高速的画像者。为此，电子射线设备之检测手段26系具备有复数个单元检测器24-1，其系由下述构件所构成：区域传感器CCD1至CCD14；其一端结合于区域传感器之检测面之光纤束25；以及形成有涂布在光纤束之另一端、且用以成像副视野的2次电子射线之闪烁体的FOP。借由电磁偏向器，每当照射电子射线之副视野移动时，使来自该副视野之2次电子射线偏向，并使之移动於单元检测器之FOP面上。由于自各单元检测器，可于其他之单元检测器的曝光中可取出画像信息，故可取得高速画像。

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