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1. 发明专利

TWI700399B 電解液輸送及產生設備有权
简体标题：电解液输送及产生设备
公开(公告)号：TWI700399B
公开(公告)日：2020-08-01
申请号：TW105116202
申请日：2016-05-25
申请人：美商蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：邁爾史蒂芬 T , MAYER, STEVEN T. , 卡恩斯貴格瑞 , KEARNS, GREGORY , 亞伯拉罕理查 G , ABRAHAM, RICHARD G. , 奧索夫斯基勞倫斯 , OSSOWSKI, LAWRENCE
IPC分类号： C25D3/02

2. 发明专利

TW201802468A 量測電鍍槽元件之狀態的設備與相關方法审中-公开
简体标题：量测电镀槽组件之状态的设备与相关方法
公开(公告)号：TW201802468A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106112701
申请日：2017-04-17
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：艾默生馬克 E , EMERSON, MARK E. , 邁爾史蒂芬 T , MAYER, STEVEN T. , 奧索夫斯基勞倫斯 , OSSOWSKI, LAWRENCE
IPC分类号： G01N27/04
CPC分类号： G01R31/00 , C25D17/00 , G01R31/44 , H01L22/14
摘要：一種測量在一電鍍設備內之電接觸件之電特性的裝置，其具有類似晶圓的一盤狀結構。多個導電的墊係加以形成，以共同界定該盤狀結構的外周緣。導電的墊之相鄰配置者係彼此電隔離。該裝置包含一電流源，該電流源在一第一端子供應電流且在一第二端子汲取電流。該裝置包含測量電路，該測量電路具有第一及第二輸入端子，該測量電路基於在該第一及第二輸入端子存在的訊號判定一電參數的值。該裝置包含開關電路，該開關電路用於在一給定時間，將該等導電的墊之其中被選擇者連接至該電流源的該第一及第二端子，及連接至該測量電路的該第一及第二輸入端子。該裝置亦包含一電源供應器。
简体摘要：一种测量在一电镀设备内之电接触件之电特性的设备，其具有类似晶圆的一盘状结构。多个导电的垫系加以形成，以共同界定该盘状结构的外周缘。导电的垫之相邻配置者系彼此电隔离。该设备包含一电流源，该电流源在一第一端子供应电流且在一第二端子汲取电流。该设备包含测量电路，该测量电路具有第一及第二输入端子，该测量电路基于在该第一及第二输入端子存在的信号判定一电参数的值。该设备包含开关电路，该开关电路用于在一给定时间，将该等导电的垫之其中被选择者连接至该电流源的该第一及第二端子，及连接至该测量电路的该第一及第二输入端子。该设备亦包含一电源供应器。

3. 发明专利

TW201710563A 電解液輸送及產生設備审中-公开
简体标题：电解液输送及产生设备
公开(公告)号：TW201710563A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：TW105116202
申请日：2016-05-25
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：邁爾史蒂芬 T , MAYER, STEVEN T. , 卡恩斯貴格瑞 , KEARNS, GREGORY , 亞伯拉罕理查 G , ABRAHAM, RICHARD G. , 奧索夫斯基勞倫斯 , OSSOWSKI, LAWRENCE
IPC分类号： C25D3/02
CPC分类号： C25D21/18 , C25B1/00 , C25B15/02 , C25B15/08 , C25D3/30
摘要：用以自動產生含金屬電解液(例如含Sn2+ 離子與酸的電解液)的設備包括:陽極液腔室，配置以容納活性陽極(例如金屬錫陽極)、陽極液、及量測陽極液中錫離子濃度的感測器(一或多個感測器)；陰極液腔室，配置以容納氫產生陰極及陰極液；以及控制器，具有程式指令，用以處理來自感測器的資料並在該陽極液腔室中自動產生金屬離子在目標濃度範圍內的電解液。在一些實施例中，設備與電鍍設備交流，且能夠應需求將產生的電解液輸送到電鍍設備。在一些實施例中，密度計與導電度計一起用作為感測器，且該設備配置以產生含酸的少量α錫電解液。
简体摘要：用以自动产生含金属电解液(例如含Sn2+ 离子与酸的电解液)的设备包括:阳极液腔室，配置以容纳活性阳极(例如金属锡阳极)、阳极液、及量测阳极液中锡离子浓度的传感器(一或多个传感器)；阴极液腔室，配置以容纳氢产生阴极及阴极液；以及控制器，具有进程指令，用以处理来自传感器的数据并在该阳极液腔室中自动产生金属离子在目标浓度范围内的电解液。在一些实施例中，设备与电镀设备交流，且能够应需求将产生的电解液输送到电镀设备。在一些实施例中，密度计与导电度计一起用作为传感器，且该设备配置以产生含酸的少量α锡电解液。

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