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    • 4. 发明专利
    • 用於機械轉換裝置之時間最佳軌道
    • 用于机械转换设备之时间最佳轨道
    • TW201839888A
    • 2018-11-01
    • TW107122149
    • 2012-08-31
    • 美商布魯克斯自動機械公司BROOKS AUTOMATION, INC.
    • 克利許納斯美 傑亞拉曼KRISHNASAMY, JAYARAMAN赫瑟庫 馬丁HOSEK, MARTIN
    • H01L21/67H01L21/677H01L21/683
    • 用於機械操縱器之時間最佳軌道產生方法,該機械操縱器具有一運送路徑,該運送路徑設有至少一路徑片段,該方法包括由該至少一路徑片段之起點朝該至少一路徑片段的終點沿著該至少一路徑片段產生該操縱器之向前時間最佳軌道;由該至少一路徑片段之終點朝該起點沿著該至少一路徑片段產生該操縱器之反向時間最佳軌道;及結合該時間最佳向前及反向軌道,以獲得完整的時間最佳軌道,其中該至少一路徑片段之向前及反向軌道係與平滑之橋接部混合在一起,該橋接部於位置速度參考坐標系中接合該等時間最佳向前及反向軌道,而實質上在該等時間最佳向前及反向軌道之間沒有不連續性。
    • 用于机械操纵器之时间最佳轨道产生方法,该机械操纵器具有一运送路径,该运送路径设有至少一路径片段,该方法包括由该至少一路径片段之起点朝该至少一路径片段的终点沿着该至少一路径片段产生该操纵器之向前时间最佳轨道;由该至少一路径片段之终点朝该起点沿着该至少一路径片段产生该操纵器之反向时间最佳轨道;及结合该时间最佳向前及反向轨道,以获得完整的时间最佳轨道,其中该至少一路径片段之向前及反向轨道系与平滑之桥接部混合在一起,该桥接部于位置速度参考坐标系中接合该等时间最佳向前及反向轨道,而实质上在该等时间最佳向前及反向轨道之间没有不连续性。