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    • 6. 发明专利
    • 用於分離非金屬材料之系統與方法
    • 用于分离非金属材料之系统与方法
    • TW201343306A
    • 2013-11-01
    • TW102102305
    • 2013-01-22
    • 伊雷克托科學工業股份有限公司ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC.
    • 張海濱ZHANG, HAIBIN
    • B23K26/40B23K26/42
    • B23K26/38B23K26/146B23K26/40B23K2203/50C03B33/091
    • 使用被轉變成一劃痕射束及一分裂射束的一單一雷射束來分離非金屬材料。一系統包含用於產生一雷射束之一單一雷射源及用於將該雷射束轉變成具有一第一平均功率之一劃痕射束及具有第二平均功率之一分裂射束的一射束分離器。該射束分離器沿著一第一路徑將該劃痕射束導引至一非金屬基板上的一劃痕線,並且在與該劃痕射束間隔開的一位置處沿著一第二路徑將該分裂射束導引至該非金屬基板上。該劃痕射束沿著該劃痕線快速地加熱該非金屬基板。一淬火子系統將一股冷卻流體施加至該非金屬基板以沿著由該劃痕射束加熱的該劃痕線傳播一微裂紋。該分裂射束快速地再加熱由該股冷卻流體淬火的非金屬基板以沿著該微裂紋分離該非金屬基板。
    • 使用被转变成一划痕射束及一分裂射束的一单一激光束来分离非金属材料。一系统包含用于产生一激光束之一单一激光源及用于将该激光束转变成具有一第一平均功率之一划痕射束及具有第二平均功率之一分裂射束的一射束分离器。该射束分离器沿着一第一路径将该划痕射束导引至一非金属基板上的一划痕线,并且在与该划痕射束间隔开的一位置处沿着一第二路径将该分裂射束导引至该非金属基板上。该划痕射束沿着该划痕线快速地加热该非金属基板。一淬火子系统将一股冷却流体施加至该非金属基板以沿着由该划痕射束加热的该划痕线传播一微裂纹。该分裂射束快速地再加热由该股冷却流体淬火的非金属基板以沿着该微裂纹分离该非金属基板。