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    • 9. 发明专利
    • 兆赫波檢測器及其製造方法
    • 兆赫波检测器及其制造方法
    • TW201144778A
    • 2011-12-16
    • TW100112678
    • 2011-04-12
    • 濱松赫德尼古斯股份有限公司
    • 鈴木順石原正敏尾島史一北浦隆介山崎理弘
    • G01J
    • G01J5/20G01J3/42G01J5/045G01J5/08G01J5/0837
    • 本發明之兆赫波檢測器1包含:以形成內部空間2的方式相互接合之基板3及基板4;形成於基板3上,接收兆赫波並轉換成電流之天線本體11;在內部空間2中經由空隙被支持於基板4上之絕緣膜12;形成於絕緣膜12之一面12a,對應於由天線本體11轉換之電流而產生熱之電阻膜13;形成於絕緣膜12之另一面12b,且電阻値對應於由電阻膜13產生之熱而變化之輻射熱計膜14;形成於基板4,與天線本體11及電阻膜13電性連接,以便將電流從天線本體11供給至電阻膜13之天線配線15;及形成於基板4,與輻射熱計膜14電性連接,以便獲取對應於電阻値之信號之輻射熱計配線16。
    • 本发明之兆赫波检测器1包含:以形成内部空间2的方式相互接合之基板3及基板4;形成于基板3上,接收兆赫波并转换成电流之天线本体11;在内部空间2中经由空隙被支持于基板4上之绝缘膜12;形成于绝缘膜12之一面12a,对应于由天线本体11转换之电流而产生热之电阻膜13;形成于绝缘膜12之另一面12b,且电阻値对应于由电阻膜13产生之热而变化之辐射热计膜14;形成于基板4,与天线本体11及电阻膜13电性连接,以便将电流从天线本体11供给至电阻膜13之天线配线15;及形成于基板4,与辐射热计膜14电性连接,以便获取对应于电阻値之信号之辐射热计配线16。