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1. 发明专利

TWI465401B 摻雜或無摻雜之氧化鋅薄膜製造用組合物及使用其之氧化鋅薄膜之製造方法有权
简体标题：掺杂或无掺杂之氧化锌薄膜制造用组合物及使用其之氧化锌薄膜之制造方法
公开(公告)号：TWI465401B
公开(公告)日：2014-12-21
申请号：TW099112530
申请日：2010-04-21
申请人：東曹精細化學股份有限公司 , TOSOH FINECHEM CORPORATION
发明人：稻葉孝一郎 , INABA, KOICHIRO , 豐田浩司 , TOYOTA, KOUJI , 羽賀健一 , HAGA, KENICHI , 德留功一 , TOKUDOME, KOUICHI , 竹元裕仁 , TAKEMOTO, YUJIN , 吉野賢二 , YOSHINO, KENJI
IPC分类号： C01G9/02 , C01B21/38 , C07F5/00 , B32B18/00

2. 发明专利

TW201109279A 摻雜或無摻雜之氧化鋅薄膜製造用組合物及使用其之氧化鋅薄膜之製造方法审中-公开
简体标题：掺杂或无掺杂之氧化锌薄膜制造用组合物及使用其之氧化锌薄膜之制造方法
公开(公告)号：TW201109279A
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：TW099112530
申请日：2010-04-21
申请人：東曹精細化學股份有限公司
发明人：稻葉孝一郎 , 豐田浩司 , 羽賀健一 , 德留功一 , 竹元裕仁 , 吉野賢二
IPC分类号： C01G , C01B , C07F , B32B
摘要：本發明提供一種以有機鋅化合物為原料、無著火性且操作容易、藉由300℃以下之加熱而可形成透明之摻雜有3B族元素或無摻雜之氧化鋅薄膜的氧化鋅薄膜製造用組合物、及使用該組合物獲得透明之摻雜有3B族元素或無摻雜之氧化鋅薄膜之方法。本發明之氧化鋅薄膜製造用組合物含有在有機鋅化合物、或有機鋅化合物與3B族元素化合物之溶液中添加水,而將有機鋅化合物部分或完全水解所獲得之產物。含有3B族元素化合物時,其相對於有機鋅化合物之莫耳比為0.005~0.3。將該組合物塗佈於基板表面,進行加熱而形成摻雜有3B族元素之氧化鋅薄膜。
简体摘要：本发明提供一种以有机锌化合物为原料、无着火性且操作容易、借由300℃以下之加热而可形成透明之掺杂有3B族元素或无掺杂之氧化锌薄膜的氧化锌薄膜制造用组合物、及使用该组合物获得透明之掺杂有3B族元素或无掺杂之氧化锌薄膜之方法。本发明之氧化锌薄膜制造用组合物含有在有机锌化合物、或有机锌化合物与3B族元素化合物之溶液中添加水,而将有机锌化合物部分或完全水解所获得之产物。含有3B族元素化合物时,其相对于有机锌化合物之莫耳比为0.005~0.3。将该组合物涂布于基板表面,进行加热而形成掺杂有3B族元素之氧化锌薄膜。

3. 发明专利

TWI583628B 複合氧化物薄膜製造用組合物及使用該組合物之薄膜之製造方法、與複合氧化物薄膜有权
简体标题：复合氧化物薄膜制造用组合物及使用该组合物之薄膜之制造方法、与复合氧化物薄膜
公开(公告)号：TWI583628B
公开(公告)日：2017-05-21
申请号：TW102114874
申请日：2013-04-25
申请人：東曹精細化學股份有限公司 , TOSOH FINECHEM CORPORATION
发明人：竹元裕仁 , TAKEMOTO, YUJIN , 羽賀健一 , HAGA, KENICHI , 稻葉孝一郎 , INABA, KOICHIRO , 豐田浩司 , TOYOTA, KOUJI , 德留功一 , TOKUDOME, KOUICHI , 吉野賢二 , YOSHINO, KENJI , 小島稔 , OSHIMA, MINORU
IPC分类号： C01G9/02 , H01L21/28 , H01L21/36
CPC分类号： H01L21/02628 , C23C18/1216 , C23C18/1275 , C23C18/1291 , H01L21/02554 , H01L21/02565

4. 发明专利

TW201402470A 複合氧化物薄膜製造用組合物及使用該組合物之薄膜之製造方法、與複合氧化物薄膜审中-公开
简体标题：复合氧化物薄膜制造用组合物及使用该组合物之薄膜之制造方法、与复合氧化物薄膜
公开(公告)号：TW201402470A
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：TW102114874
申请日：2013-04-25
申请人：東曹精細化學股份有限公司 , TOSOH FINECHEM CORPORATION
发明人：竹元裕仁 , TAKEMOTO, YUJIN , 羽賀健一 , HAGA, KENICHI , 稻葉孝一郎 , INABA, KOICHIRO , 豐田浩司 , TOYOTA, KOUJI , 德留功一 , TOKUDOME, KOUICHI , 吉野賢二 , YOSHINO, KENJI , 小島稔 , OSHIMA, MINORU
IPC分类号： C01G9/02 , H01L21/28 , H01L21/36
CPC分类号： H01L21/02628 , C23C18/1216 , C23C18/1275 , C23C18/1291 , H01L21/02554 , H01L21/02565
摘要：本發明提供一種可利用噴霧熱分解法等成膜可應用於氧化物半導體膜等之複合氧化物薄膜之組合物及使用該組合物成膜複合氧化物薄膜之方法。本發明係關於一種複合氧化物製造用組合物，其含有選自由鋅元素及3B族元素所組成之群中之至少1種元素、與選自由4A族元素及4B族元素所組成之群中之至少1種元素。本發明之組合物含有選自由含有鋅元素之化合物及含有3B族元素之化合物所組成之群中之至少1種化合物、上述化合物之利用水產生之部分水解物或上述化合物及上述部分水解物、與選自由含有4A族元素之化合物及含有4B族元素之化合物所組成之群中之至少1種化合物、上述化合物之利用水產生之部分水解物或上述化合物及上述部分水解物。本發明係關於一種複合氧化物薄膜之製造方法，該複合氧化物薄膜對可見光線具有80%以上之平均透過率，該製造方法包括進行至少1次將上述組合物於惰性氣體環境下塗佈於基板表面，繼而對所獲得之塗佈膜進行加熱之操作。
简体摘要：本发明提供一种可利用喷雾热分解法等成膜可应用于氧化物半导体膜等之复合氧化物薄膜之组合物及使用该组合物成膜复合氧化物薄膜之方法。本发明系关于一种复合氧化物制造用组合物，其含有选自由锌元素及3B族元素所组成之群中之至少1种元素、与选自由4A族元素及4B族元素所组成之群中之至少1种元素。本发明之组合物含有选自由含有锌元素之化合物及含有3B族元素之化合物所组成之群中之至少1种化合物、上述化合物之利用水产生之部分水解物或上述化合物及上述部分水解物、与选自由含有4A族元素之化合物及含有4B族元素之化合物所组成之群中之至少1种化合物、上述化合物之利用水产生之部分水解物或上述化合物及上述部分水解物。本发明系关于一种复合氧化物薄膜之制造方法，该复合氧化物薄膜对可见光线具有80%以上之平均透过率，该制造方法包括进行至少1次将上述组合物于惰性气体环境下涂布于基板表面，继而对所获得之涂布膜进行加热之操作。

5. 发明专利

TWI543940B 氧化物薄膜製造用組合物及使用該組合物之氧化物薄膜製造方法有权
简体标题：氧化物薄膜制造用组合物及使用该组合物之氧化物薄膜制造方法
公开(公告)号：TWI543940B
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW100138140
申请日：2011-10-20
申请人：東曹精細化學股份有限公司 , TOSOH FINECHEM CORPORATION
发明人：稻葉孝一郎 , INABA, KOICHIRO , 豐田浩司 , TOYOTA, KOUJI , 羽賀健一 , HAGA, KENICHI , 德留功一 , TOKUDOME, KOICHI , 吉野賢二 , YOSHINO, KENJI , 竹元裕仁 , TAKEMOTO, YUJIN
IPC分类号： C01G9/02 , C01G15/00 , H01L29/786 , H01B1/08 , B05D1/02
CPC分类号： H01L21/02628 , C07F3/06 , C07F5/00 , H01L21/02554 , H01L21/02565

6. 发明专利

TWI532746B 二乙基鋅組成物、熱安定化方法及熱安定化用化合物有权
简体标题：二乙基锌组成物、热安定化方法及热安定化用化合物
公开(公告)号：TWI532746B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：TW100146838
申请日：2011-12-16
申请人：東曹精細化學股份有限公司 , TOSOH FINECHEM CORPORATION
发明人：羽賀健一 , HAGA, KENICHI , 富安靜夫 , TOMIYASU, SHIZUO , 德留功一 , TOKUDOME, KOHICHI , 豐田浩司 , TOYOTA, KOUJI , 稻葉孝一郎 , INABA, KOICHIRO
IPC分类号： C07F3/06 , C07C11/12 , C07C13/23
CPC分类号： C07F3/06 , C08G65/12

7. 发明专利

TW201231471A 二乙基鋅組成物、熱安定化方法及熱安定化用化合物审中-公开
简体标题：二乙基锌组成物、热安定化方法及热安定化用化合物
公开(公告)号：TW201231471A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：TW100146838
申请日：2011-12-16
申请人：東曹精細化學股份有限公司
发明人：羽賀健一 , 富安靜夫 , 德留功一 , 豐田浩司 , 稻葉孝一郎
IPC分类号： C07F , C07C
CPC分类号： C07F3/06 , C08G65/12
摘要：本發明的課題在於提供一種二乙基鋅組成物，其係提高藉由聚合觸媒或有機合成試藥及MOCVD法等的氧化鋅薄膜製造原料等中所使用的二乙基鋅之熱安定性，即使長期間操作也不會析出金屬鋅粒子而熱安定性優異。本發明的解決手段係使用一種在二乙基鋅中加有作為添加物的具有特定碳-碳雙鍵的化合物之二乙基鋅組成物。
简体摘要：本发明的课题在于提供一种二乙基锌组成物，其系提高借由聚合触媒或有机合成试药及MOCVD法等的氧化锌薄膜制造原料等中所使用的二乙基锌之热安定性，即使长期间操作也不会析出金属锌粒子而热安定性优异。本发明的解决手段系使用一种在二乙基锌中加有作为添加物的具有特定碳-碳双键的化合物之二乙基锌组成物。

8. 发明专利

TW201231404A 氧化物薄膜製造用組合物及使用該組合物之氧化物薄膜製造方法审中-公开
简体标题：氧化物薄膜制造用组合物及使用该组合物之氧化物薄膜制造方法
公开(公告)号：TW201231404A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：TW100138140
申请日：2011-10-20
申请人：東曹精細化學股份有限公司
发明人：稻葉孝一郎 , 豐田浩司 , 羽賀健一 , 德留功一 , 吉野賢二 , 竹元裕仁
IPC分类号： C01G , H01L , H01B , B05D
CPC分类号： H01L21/02628 , C07F3/06 , C07F5/00 , H01L21/02554 , H01L21/02565
摘要：本發明係關於一種氧化物薄膜製造用組合物及使用該組合物之氧化物薄膜製造方法。更詳細而言，本發明係關於如下者：(1)複合氧化物薄膜製造用組合物及使用該組合物之氧化物薄膜製造方法(本發明之第1態樣)，(2)氧化鋅薄膜製造用組合物及摻雜氧化鋅薄膜製造用組合物、以及使用該等組合物之氧化鋅薄膜製造方法(本發明之第2態樣)，(3)氧化鋅薄膜製造用組合物及摻雜氧化鋅薄膜製造用組合物、以及使用該等組合物之氧化鋅薄膜製造方法(本發明之第3態樣)。
简体摘要：本发明系关于一种氧化物薄膜制造用组合物及使用该组合物之氧化物薄膜制造方法。更详细而言，本发明系关于如下者：(1)复合氧化物薄膜制造用组合物及使用该组合物之氧化物薄膜制造方法(本发明之第1态样)，(2)氧化锌薄膜制造用组合物及掺杂氧化锌薄膜制造用组合物、以及使用该等组合物之氧化锌薄膜制造方法(本发明之第2态样)，(3)氧化锌薄膜制造用组合物及掺杂氧化锌薄膜制造用组合物、以及使用该等组合物之氧化锌薄膜制造方法(本发明之第3态样)。

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