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    • 1. 发明专利
    • 摻雜或無摻雜之氧化鋅薄膜製造用組合物及使用其之氧化鋅薄膜之製造方法
    • 掺杂或无掺杂之氧化锌薄膜制造用组合物及使用其之氧化锌薄膜之制造方法
    • TW201109279A
    • 2011-03-16
    • TW099112530
    • 2010-04-21
    • 東曹精細化學股份有限公司
    • 稻葉孝一郎豐田浩司羽賀健一德留功一竹元裕仁吉野賢二
    • C01GC01BC07FB32B
    • 本發明提供一種以有機鋅化合物為原料、無著火性且操作容易、藉由300℃以下之加熱而可形成透明之摻雜有3B族元素或無摻雜之氧化鋅薄膜的氧化鋅薄膜製造用組合物、及使用該組合物獲得透明之摻雜有3B族元素或無摻雜之氧化鋅薄膜之方法。本發明之氧化鋅薄膜製造用組合物含有在有機鋅化合物、或有機鋅化合物與3B族元素化合物之溶液中添加水,而將有機鋅化合物部分或完全水解所獲得之產物。含有3B族元素化合物時,其相對於有機鋅化合物之莫耳比為0.005~0.3。將該組合物塗佈於基板表面,進行加熱而形成摻雜有3B族元素之氧化鋅薄膜。
    • 本发明提供一种以有机锌化合物为原料、无着火性且操作容易、借由300℃以下之加热而可形成透明之掺杂有3B族元素或无掺杂之氧化锌薄膜的氧化锌薄膜制造用组合物、及使用该组合物获得透明之掺杂有3B族元素或无掺杂之氧化锌薄膜之方法。本发明之氧化锌薄膜制造用组合物含有在有机锌化合物、或有机锌化合物与3B族元素化合物之溶液中添加水,而将有机锌化合物部分或完全水解所获得之产物。含有3B族元素化合物时,其相对于有机锌化合物之莫耳比为0.005~0.3。将该组合物涂布于基板表面,进行加热而形成掺杂有3B族元素之氧化锌薄膜。
    • 5. 发明专利
    • 固體有機金屬化合物用填充容器及其填充方法
    • 固体有机金属化合物用填充容器及其填充方法
    • TW200302876A
    • 2003-08-16
    • TW092101703
    • 2003-01-27
    • 東曹精細化學股份有限公司
    • 富安靜夫德留功一羽賀健一
    • C23C
    • 本發明係提供可將固體有機金屬化合物依長期間且一定濃度穩定的供應給MOCVD裝置等氣相磊晶成長用裝置的新穎填充容器。本發明的固體有機金屬化合物用填充容器在具有載氣導入口(2)與載氣排放口(3)的固體有機金屬化合物用填充容器中,其特徵為:具有將填充容器內部劃分為複數個縱型空間,並利用載氣流通方向反轉機構(6),使載氣導入口(2)所導入的載氣,向下流通於各縱型空間中,再從載氣排放口(3)排放出的構造。
    • 本发明系提供可将固体有机金属化合物依长期间且一定浓度稳定的供应给MOCVD设备等气相磊晶成长用设备的新颖填充容器。本发明的固体有机金属化合物用填充容器在具有载气导入口(2)与载气排放口(3)的固体有机金属化合物用填充容器中,其特征为:具有将填充容器内部划分为复数个纵型空间,并利用载气流通方向反转机构(6),使载气导入口(2)所导入的载气,向下流通于各纵型空间中,再从载气排放口(3)排放出的构造。