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1. 发明专利

TWI465401B 摻雜或無摻雜之氧化鋅薄膜製造用組合物及使用其之氧化鋅薄膜之製造方法有权
简体标题：掺杂或无掺杂之氧化锌薄膜制造用组合物及使用其之氧化锌薄膜之制造方法
公开(公告)号：TWI465401B
公开(公告)日：2014-12-21
申请号：TW099112530
申请日：2010-04-21
申请人：東曹精細化學股份有限公司 , TOSOH FINECHEM CORPORATION
发明人：稻葉孝一郎 , INABA, KOICHIRO , 豐田浩司 , TOYOTA, KOUJI , 羽賀健一 , HAGA, KENICHI , 德留功一 , TOKUDOME, KOUICHI , 竹元裕仁 , TAKEMOTO, YUJIN , 吉野賢二 , YOSHINO, KENJI
IPC分类号： C01G9/02 , C01B21/38 , C07F5/00 , B32B18/00

2. 发明专利

TWI543940B 氧化物薄膜製造用組合物及使用該組合物之氧化物薄膜製造方法有权
简体标题：氧化物薄膜制造用组合物及使用该组合物之氧化物薄膜制造方法
公开(公告)号：TWI543940B
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW100138140
申请日：2011-10-20
申请人：東曹精細化學股份有限公司 , TOSOH FINECHEM CORPORATION
发明人：稻葉孝一郎 , INABA, KOICHIRO , 豐田浩司 , TOYOTA, KOUJI , 羽賀健一 , HAGA, KENICHI , 德留功一 , TOKUDOME, KOICHI , 吉野賢二 , YOSHINO, KENJI , 竹元裕仁 , TAKEMOTO, YUJIN
IPC分类号： C01G9/02 , C01G15/00 , H01L29/786 , H01B1/08 , B05D1/02
CPC分类号： H01L21/02628 , C07F3/06 , C07F5/00 , H01L21/02554 , H01L21/02565

3. 发明专利

TWI583628B 複合氧化物薄膜製造用組合物及使用該組合物之薄膜之製造方法、與複合氧化物薄膜有权
简体标题：复合氧化物薄膜制造用组合物及使用该组合物之薄膜之制造方法、与复合氧化物薄膜
公开(公告)号：TWI583628B
公开(公告)日：2017-05-21
申请号：TW102114874
申请日：2013-04-25
申请人：東曹精細化學股份有限公司 , TOSOH FINECHEM CORPORATION
发明人：竹元裕仁 , TAKEMOTO, YUJIN , 羽賀健一 , HAGA, KENICHI , 稻葉孝一郎 , INABA, KOICHIRO , 豐田浩司 , TOYOTA, KOUJI , 德留功一 , TOKUDOME, KOUICHI , 吉野賢二 , YOSHINO, KENJI , 小島稔 , OSHIMA, MINORU
IPC分类号： C01G9/02 , H01L21/28 , H01L21/36
CPC分类号： H01L21/02628 , C23C18/1216 , C23C18/1275 , C23C18/1291 , H01L21/02554 , H01L21/02565

4. 发明专利

TW201402470A 複合氧化物薄膜製造用組合物及使用該組合物之薄膜之製造方法、與複合氧化物薄膜审中-公开
简体标题：复合氧化物薄膜制造用组合物及使用该组合物之薄膜之制造方法、与复合氧化物薄膜
公开(公告)号：TW201402470A
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：TW102114874
申请日：2013-04-25
申请人：東曹精細化學股份有限公司 , TOSOH FINECHEM CORPORATION
发明人：竹元裕仁 , TAKEMOTO, YUJIN , 羽賀健一 , HAGA, KENICHI , 稻葉孝一郎 , INABA, KOICHIRO , 豐田浩司 , TOYOTA, KOUJI , 德留功一 , TOKUDOME, KOUICHI , 吉野賢二 , YOSHINO, KENJI , 小島稔 , OSHIMA, MINORU
IPC分类号： C01G9/02 , H01L21/28 , H01L21/36
CPC分类号： H01L21/02628 , C23C18/1216 , C23C18/1275 , C23C18/1291 , H01L21/02554 , H01L21/02565
摘要：本發明提供一種可利用噴霧熱分解法等成膜可應用於氧化物半導體膜等之複合氧化物薄膜之組合物及使用該組合物成膜複合氧化物薄膜之方法。本發明係關於一種複合氧化物製造用組合物，其含有選自由鋅元素及3B族元素所組成之群中之至少1種元素、與選自由4A族元素及4B族元素所組成之群中之至少1種元素。本發明之組合物含有選自由含有鋅元素之化合物及含有3B族元素之化合物所組成之群中之至少1種化合物、上述化合物之利用水產生之部分水解物或上述化合物及上述部分水解物、與選自由含有4A族元素之化合物及含有4B族元素之化合物所組成之群中之至少1種化合物、上述化合物之利用水產生之部分水解物或上述化合物及上述部分水解物。本發明係關於一種複合氧化物薄膜之製造方法，該複合氧化物薄膜對可見光線具有80%以上之平均透過率，該製造方法包括進行至少1次將上述組合物於惰性氣體環境下塗佈於基板表面，繼而對所獲得之塗佈膜進行加熱之操作。
简体摘要：本发明提供一种可利用喷雾热分解法等成膜可应用于氧化物半导体膜等之复合氧化物薄膜之组合物及使用该组合物成膜复合氧化物薄膜之方法。本发明系关于一种复合氧化物制造用组合物，其含有选自由锌元素及3B族元素所组成之群中之至少1种元素、与选自由4A族元素及4B族元素所组成之群中之至少1种元素。本发明之组合物含有选自由含有锌元素之化合物及含有3B族元素之化合物所组成之群中之至少1种化合物、上述化合物之利用水产生之部分水解物或上述化合物及上述部分水解物、与选自由含有4A族元素之化合物及含有4B族元素之化合物所组成之群中之至少1种化合物、上述化合物之利用水产生之部分水解物或上述化合物及上述部分水解物。本发明系关于一种复合氧化物薄膜之制造方法，该复合氧化物薄膜对可见光线具有80%以上之平均透过率，该制造方法包括进行至少1次将上述组合物于惰性气体环境下涂布于基板表面，继而对所获得之涂布膜进行加热之操作。

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