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1. 发明专利

TW201506348A 用於光學度量衡之高度相關參數的相關性之動態移除审中-公开
简体标题：用于光学度量衡之高度相关参数的相关性之动态移除
公开(公告)号：TW201506348A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：TW103119303
申请日：2014-06-03
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED , 克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：李列泉 , LEE, LIE-QUAN , 波斯拉夫斯基李奧尼多 , POSLAVSKY, LEONID , 潘戴夫史帝藍伊凡渥夫 , PANDEV, STILIAN IVANOV
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： G03F7/70616
摘要：本發明描述用於光學度量衡的高度相關參數之相關性之動態移除。一方法之一實施例包括：判定一結構之一模型，該模型包括一參數集合；執行該結構之光學度量衡量測，包括收集一硬體元件上之光譜資料；在該結構之該量測期間，動態地移除該參數集合中之兩個或兩個以上參數之相關性，相關性之該動態移除之一反覆包括：產生該參數集合之一亞可比矩陣、應用該亞可比矩陣之一奇異值分解、選擇該參數集合之一子集、及基於參數之該子集來計算參數搜尋之一方向。若該模型不收斂，則執行相關性之該動態移除之一或多次額外反覆，直至該模型收斂；及若該模型收斂，則報告該量測之結果。
简体摘要：本发明描述用于光学度量衡的高度相关参数之相关性之动态移除。一方法之一实施例包括：判定一结构之一模型，该模型包括一参数集合；运行该结构之光学度量衡量测，包括收集一硬件组件上之光谱数据；在该结构之该量测期间，动态地移除该参数集合中之两个或两个以上参数之相关性，相关性之该动态移除之一反复包括：产生该参数集合之一亚可比矩阵、应用该亚可比矩阵之一奇异值分解、选择该参数集合之一子集、及基于参数之该子集来计算参数搜索之一方向。若该模型不收敛，则运行相关性之该动态移除之一或多次额外反复，直至该模型收敛；及若该模型收敛，则报告该量测之结果。

2. 发明专利

TW201508240A 用於光學度量衡之自動波長或角度修剪审中-公开
简体标题：用于光学度量衡之自动波长或角度修剪
公开(公告)号：TW201508240A
公开(公告)日：2015-03-01
申请号：TW103119304
申请日：2014-06-03
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED , 克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：李列泉 , LEE, LIE-QUAN , 波斯拉夫斯基李奧尼多 , POSLAVSKY, LEONID
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： G03F7/70625 , G01D21/00 , G01N23/20 , G05B99/00 , G06F11/30 , G06F17/40 , G06F19/00 , G06Q50/04 , H05K13/08 , Y02P90/30
摘要：本發明描述用於光學度量衡之自動波長或角度修剪。用於光學度量衡之自動波長或角度修剪之一方法之一實施例包括：判定包括複數個參數之一結構之一模型；設計並計算用於該模型的波長相依或角度相依資料之一資料集；將該資料集儲存於一電腦記憶體中；用一處理器執行對用於該模型之該資料集之一分析，包括：對該資料集應用一離群值偵測技術及識別任何資料離群值，每一資料離群值為一波長或角度；且若在該模型之該資料集之該分析中識別任何資料離群值，則自該資料集移除對應於該等資料離群值之該等波長或角度以產生一修改資料集，且將該修改資料集儲存於該電腦記憶體中。
简体摘要：本发明描述用于光学度量衡之自动波长或角度修剪。用于光学度量衡之自动波长或角度修剪之一方法之一实施例包括：判定包括复数个参数之一结构之一模型；设计并计算用于该模型的波长相依或角度相依数据之一数据集；将该数据集存储于一电脑内存中；用一处理器运行对用于该模型之该数据集之一分析，包括：对该数据集应用一离群值侦测技术及识别任何数据离群值，每一数据离群值为一波长或角度；且若在该模型之该数据集之该分析中识别任何数据离群值，则自该数据集移除对应于该等数据离群值之该等波长或角度以产生一修改数据集，且将该修改数据集存储于该电脑内存中。

3. 发明专利

TW201531694A 包括可重複使用之子結構的半導體裝置模型审中-公开
简体标题：包括可重复使用之子结构的半导体设备模型
公开(公告)号：TW201531694A
公开(公告)日：2015-08-16
申请号：TW104101371
申请日：2015-01-15
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：伊羅瑞塔強納森 , ILORETA, JONATHAN , 拉芬馬修A , LAFFIN, MATTHEW A. , 波斯拉夫斯基李奧尼多 , POSLAVSKY, LEONID , 凱克托斯頓 , KAACK, TORSTEN , 趙寬 , ZHAO, QIANG , 李列泉 , LEE, LIE-QUAN
IPC分类号： G01N21/95 , G05B17/02
CPC分类号： H01L22/12
摘要：本發明提出用於基於可重複使用之參數模型產生複雜裝置結構之量測模型的方法及工具。採用此等模型之度量衡系統經組態以量測與不同半導體製程相關聯的結構及材料特性。該可重複使用之參數子結構模型係藉由模型建置工具之一使用者輸入之一組獨立參數來完全定義。與模型形狀及構成之幾何結構元件中之內部約束條件相關聯的全部其他變量係在該模型內予以預定義。在一些實施例中，一或多個可重複使用之參數模型經整合至一複雜半導體裝置之一量測模型中。在另一態樣中，一模型建置工具基於來自一使用者之輸入產生一可重複使用之參數子結構模型。該等所得模型可匯出至可由其他使用者使用之一檔案，且可包括安全性特徵以控制與特定使用者共用敏感智慧財產。
简体摘要：本发明提出用于基于可重复使用之参数模型产生复杂设备结构之量测模型的方法及工具。采用此等模型之度量衡系统经组态以量测与不同半导体制程相关联的结构及材料特性。该可重复使用之参数子结构模型系借由模型建置工具之一用户输入之一组独立参数来完全定义。与模型形状及构成之几何结构组件中之内部约束条件相关联的全部其他变量系在该模型内予以预定义。在一些实施例中，一或多个可重复使用之参数模型经集成至一复杂半导体设备之一量测模型中。在另一态样中，一模型建置工具基于来自一用户之输入产生一可重复使用之参数子结构模型。该等所得模型可导出至可由其他用户使用之一文档，且可包括安全性特征以控制与特定用户共享敏感智能财产。

4. 发明专利

TWI638993B 具有包括可重複使用之子結構的半導體裝置模型之度量衡系統有权
简体标题：具有包括可重复使用之子结构的半导体设备模型之度量衡系统
公开(公告)号：TWI638993B
公开(公告)日：2018-10-21
申请号：TW104101371
申请日：2015-01-15
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：伊羅瑞塔強納森 , ILORETA, JONATHAN , 拉芬馬修A , LAFFIN, MATTHEW A. , 波斯拉夫斯基李奧尼多 , POSLAVSKY, LEONID , 凱克托斯頓 , KAACK, TORSTEN , 趙寬 , ZHAO, QIANG , 李列泉 , LEE, LIE-QUAN
IPC分类号： G01N21/95 , G05B17/02

5. 发明专利

TW201708810A 自動計量系統之選擇审中-公开
简体标题：自动计量系统之选择
公开(公告)号：TW201708810A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：TW105123331
申请日：2016-07-22
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：曹蒙 , CAO, MENG , 李列泉 , LEE, LIE-QUAN , 趙寬 , ZHAO, QIANG , 李合印 , LI, HEYIN , 葉夢夢 , YE, MENGMENG
IPC分类号： G01N21/84 , G01B11/00
CPC分类号： G01N21/9501 , G01B21/04 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N2021/213 , G03F7/705 , G03F7/70625 , G03F7/70633
摘要：本發明呈現對用於一特定計量應用之多組量測系統組合及配方之量測效力進行評估與排名之方法及系統。量測效力係基於量測精確度、量測準確度、與一參考量測之相關性、量測時間之估計或其等之任何組合。量測系統組合及配方之自動選擇減少量測時間且改良量測結果。量測效力藉由與各量測系統及配方相關聯之一組量測效能度量定量。在一個實例中，以基於一或多個量測效能度量之對應值之排名順序向使用者呈現最能夠量測所要之所關注參數之該等組量測系統組合及配方。一使用者能夠以一客觀定量方式選擇適當量測系統組合。
简体摘要：本发明呈现对用于一特定计量应用之多组量测系统组合及配方之量测效力进行评估与排名之方法及系统。量测效力系基于量测精确度、量测准确度、与一参考量测之相关性、量测时间之估计或其等之任何组合。量测系统组合及配方之自动选择减少量测时间且改良量测结果。量测效力借由与各量测系统及配方相关联之一组量测性能度量定量。在一个实例中，以基于一或多个量测性能度量之对应值之排名顺序向用户呈现最能够量测所要之所关注参数之该等组量测系统组合及配方。一用户能够以一客观定量方式选择适当量测系统组合。

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