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    • 8. 发明专利
    • 記憶元件及其製造方法
    • 记忆组件及其制造方法
    • TW201642394A
    • 2016-12-01
    • TW104116028
    • 2015-05-20
    • 旺宏電子股份有限公司MACRONIX INTERNATIONAL CO., LTD.
    • 吳冠緯WU, GUAN-WEI張耀文CHANG, YAO-WEN楊怡箴YANG, I-CHEN盧道政LU, TAO-CHENG
    • H01L21/8239H01L27/105
    • 一種記憶元件及其製造方法。記憶元件包括基底、多個堆疊結構、多個導體柱、多個電荷儲存層以及多個第三導體層。堆疊結構位於基底上,堆疊結構沿著第一方向排列且沿著第二方向延伸,其中每一堆疊結構包括多個第一導體層和多個介電層沿著第三方向相互交替堆疊。每一導體柱位於相鄰兩個堆疊結構之間的基底上。每一電荷儲存層位於堆疊結構與導體柱之間。每一第三導體層沿著第一方向延伸,與堆疊結構交錯於多個交錯區域,且覆蓋部分堆疊結構和導體柱的頂部。堆疊結構與第三導體層交錯的每一交錯區域具有空氣間隙,且空氣間隙沿著第三方向延伸。
    • 一种记忆组件及其制造方法。记忆组件包括基底、多个堆栈结构、多个导体柱、多个电荷存储层以及多个第三导体层。堆栈结构位于基底上,堆栈结构沿着第一方向排列且沿着第二方向延伸,其中每一堆栈结构包括多个第一导体层和多个介电层沿着第三方向相互交替堆栈。每一导体柱位于相邻两个堆栈结构之间的基底上。每一电荷存储层位于堆栈结构与导体柱之间。每一第三导体层沿着第一方向延伸,与堆栈结构交错于多个交错区域,且覆盖部分堆栈结构和导体柱的顶部。堆栈结构与第三导体层交错的每一交错区域具有空气间隙,且空气间隙沿着第三方向延伸。