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1. 发明专利

TW202004823A 帶電粒子束裝置审中-公开
简体标题：带电粒子束设备
公开(公告)号：TW202004823A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108106987
申请日：2019-03-04
申请人：日商日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：鈴木将人 , SUZUKI, MASATO , 富松聡 , TOMIMATSU, SATOSHI , 佐藤誠 , SATO, MAKOTO , 麻畑達也 , ASAHATA, TATSUYA
IPC分类号： H01J37/20
摘要：自動反覆進行摘出試料片而使其移設於試料片保持器的動作，其中，該試料片是藉由離子束所致之試料的加工而形成的。帶電粒子束裝置具有電腦，其實施如下控制：不使令試料片固定在試料保持器上的針旋轉，而從帶電粒子束照射光學系統使帶電粒子束照射至附著於針的沉積膜。
简体摘要：自动反复进行摘出试料片而使其移设于试料片保持器的动作，其中，该试料片是借由离子束所致之试料的加工而形成的。带电粒子束设备具有电脑，其实施如下控制：不使令试料片固定在试料保持器上的针旋转，而从带电粒子束照射光学系统使带电粒子束照射至附着于针的沉积膜。

2. 发明专利

TWI642082B 聚焦離子束裝置有权
简体标题：聚焦离子束设备
公开(公告)号：TWI642082B
公开(公告)日：2018-11-21
申请号：TW104107906
申请日：2015-03-12
申请人：日商日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：麻畑達也 , ASAHATA, TATSUYA , 鈴木秀和 , SUZUKI, HIDEKAZU , 佐藤誠 , SATO, MAKOTO
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/22 , H01J37/244

3. 发明专利

TWI639177B 帶電粒子束裝置有权
简体标题：带电粒子束设备
公开(公告)号：TWI639177B
公开(公告)日：2018-10-21
申请号：TW104107907
申请日：2015-03-12
申请人：日商日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：佐藤誠 , SATO, MAKOTO , 麻畑達也 , ASAHATA, TATSUYA , 清原正寛 , KIYOHARA, MASAHIRO , 中谷郁子 , NAKATANI, IKUKO
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/24

4. 发明专利

TW201546865A 聚焦離子束裝置审中-公开
简体标题：聚焦离子束设备
公开(公告)号：TW201546865A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：TW104107906
申请日：2015-03-12
申请人：日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：麻畑達也 , ASAHATA, TATSUYA , 鈴木秀和 , SUZUKI, HIDEKAZU , 佐藤誠 , SATO, MAKOTO
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/22 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/317 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/3005 , H01J2237/221 , H01J2237/2448 , H01J2237/30466 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要：可藉更容易的操作而製作保持了品質之均勻性的樣品。 FIB鏡筒(32)，係對於薄片樣品照射聚焦離子束。檢測器(13)，係就因照射聚焦離子束而從薄片樣品產生之二次粒子作檢測。控制部(16)，係根據檢測器(13)之檢測資訊而形成薄片樣品之觀察影像。記憶部(18)，係就於第一樣品之觀察影像上所設定的第一加工區域與第一樣品之剖面的位置關係作記憶。控制部(16)，係根據從記憶部(18)所讀出之位置關係與第二樣品的觀察影像上之第二樣品的剖面之位置而在第二樣品的觀察影像上自動設定第二加工區域。
简体摘要：可藉更容易的操作而制作保持了品质之均匀性的样品。 FIB镜筒(32)，系对于薄片样品照射聚焦离子束。检测器(13)，系就因照射聚焦离子束而从薄片样品产生之二次粒子作检测。控制部(16)，系根据检测器(13)之检测信息而形成薄片样品之观察影像。记忆部(18)，系就于第一样品之观察影像上所设置的第一加工区域与第一样品之剖面的位置关系作记忆。控制部(16)，系根据从记忆部(18)所读出之位置关系与第二样品的观察影像上之第二样品的剖面之位置而在第二样品的观察影像上自动设置第二加工区域。

5. 发明专利

TWI666675B 帶電粒子束裝置有权
简体标题：带电粒子束设备
公开(公告)号：TWI666675B
公开(公告)日：2019-07-21
申请号：TW104128140
申请日：2015-08-27
申请人：日商日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：冨松聡 , TOMIMATSU, SATOSHI , 佐藤誠 , SATO, MAKOTO , 上本敦 , UEMOTO, ATSUSHI , 麻畑達也 , ASAHATA, TATSUYA , 山本洋 , YAMAMOTO, YO
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/317

6. 发明专利

TWI664658B 自動試料製作裝置有权
简体标题：自动试料制作设备
公开(公告)号：TWI664658B
公开(公告)日：2019-07-01
申请号：TW104120950
申请日：2015-06-29
申请人：日商日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：上本敦 , UEMOTO, ATSUSHI , 麻畑達也 , ASAHATA, TATSUYA , 佐藤誠 , SATO, MAKOTO , 山本洋 , YAMAMOTO, YO
IPC分类号： H01J37/26 , G01N1/28

7. 发明专利

TW201840963A 帶電粒子束裝置审中-公开
简体标题：带电粒子束设备
公开(公告)号：TW201840963A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW106140263
申请日：2017-11-21
申请人：日商日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：冨松聡 , TOMIMATSU, SATOSHI , 佐藤誠 , SATO, MAKOTO , 鈴木人 , SUZUKI, MASATO
IPC分类号： G01N1/31 , H01J37/26
摘要：本發明提供帶電粒子束裝置，其自動地重複進行取出透過離子束對試樣的加工而形成的試樣片並移置到試樣片保持器上的動作。該帶電粒子束裝置從試樣自動地製作出試樣片，其具有：帶電粒子束照射光學系統，其以帶電粒子束進行照射；試樣台，其載置並移動試樣；試樣片移置單元，其保持從試樣分離和取出的試樣片並進行輸送；保持器固定台，其對移置有試樣片的試樣片保持器進行保持；導通傳感器，其檢測試樣片移置單元與對象物之間的導通；以及電腦，其在將試樣片移置單元和試樣片連接起來時導通傳感器未檢測到試樣片移置單元與試樣片之間的導通的情況下，設定時間管理模式。
简体摘要：本发明提供带电粒子束设备，其自动地重复进行取出透过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片保持器上的动作。该带电粒子束设备从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其以带电粒子束进行照射；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；保持器固定台，其对移置有试样片的试样片保持器进行保持；导通传感器，其检测试样片移置单元与对象物之间的导通；以及电脑，其在将试样片移置单元和试样片连接起来时导通传感器未检测到试样片移置单元与试样片之间的导通的情况下，设置时间管理模式。

8. 发明专利

TW201828324A 帶電粒子束裝置审中-公开
简体标题：带电粒子束设备
公开(公告)号：TW201828324A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106139439
申请日：2017-11-15
申请人：日商日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：鈴木人 , SUZUKI, MASATO , 富松聡 , TOMIMATSU, SATOSHI , 佐藤誠 , SATO, MAKOTO
IPC分类号： H01J37/256 , H01J37/304
摘要：本發明提供帶電粒子束裝置，其自動地重複進行取出透過離子束對試樣的加工而形成的試樣片並移置到試樣片保持器上的動作。該帶電粒子束裝置從試樣自動地製作出試樣片，其具有：帶電粒子束照射光學系統，其以帶電粒子束進行照射；試樣台，其載置並移動試樣；試樣片移置單元，其保持從試樣分離和取出的試樣片並進行輸送；保持器固定台，其對移置有試樣片的試樣片保持器進行保持；以及電腦，其在由試樣片移置單元對試樣片進行保持之後發生異常的情況下，進行使試樣片移置單元所保持的試樣片滅失的控制。
简体摘要：本发明提供带电粒子束设备，其自动地重复进行取出透过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片保持器上的动作。该带电粒子束设备从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其以带电粒子束进行照射；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；保持器固定台，其对移置有试样片的试样片保持器进行保持；以及电脑，其在由试样片移置单元对试样片进行保持之后发生异常的情况下，进行使试样片移置单元所保持的试样片灭失的控制。

9. 发明专利

TW201603100A 帶電粒子束裝置审中-公开
简体标题：带电粒子束设备
公开(公告)号：TW201603100A
公开(公告)日：2016-01-16
申请号：TW104107907
申请日：2015-03-12
申请人：日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：佐藤誠 , SATO, MAKOTO , 麻畑達也 , ASAHATA, TATSUYA , 清原正寛 , KIYOHARA, MASAHIRO , 中谷郁子 , NAKATANI, IKUKO
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/24
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/265 , H01J2237/30438
摘要：提供於觀察精度方面優異之帶電粒子束裝置。將電子束(EB)之掃描範圍在樣品之表面上予以移動，使得可取得表面之影像，故無須在取得影像時使台(SG)移動。為此，可迴避因台(SG)之振動、偏移等而起的檢測不良。藉此，獲得於觀察精度方面優異之帶電粒子束裝置。在電子束(EB)之掃描範圍到達是可變範圍之上限值的第二位置時，於第二位置形成指標。之後，使電子束(EB)之掃描範圍暫時恢復，同時使台(SG)移動僅電子束(EB)之掃描範圍的移動量。此情況下，利用指標而就電子束(EB)之掃描範圍作調整。
简体摘要：提供于观察精度方面优异之带电粒子束设备。将电子束(EB)之扫描范围在样品之表面上予以移动，使得可取得表面之影像，故无须在取得影像时使台(SG)移动。为此，可回避因台(SG)之振动、偏移等而起的检测不良。借此，获得于观察精度方面优异之带电粒子束设备。在电子束(EB)之扫描范围到达是可变范围之上限值的第二位置时，于第二位置形成指针。之后，使电子束(EB)之扫描范围暂时恢复，同时使台(SG)移动仅电子束(EB)之扫描范围的移动量。此情况下，利用指针而就电子束(EB)之扫描范围作调整。

10. 发明专利

TW201616543A 自動試料製作裝置审中-公开
简体标题：自动试料制作设备
公开(公告)号：TW201616543A
公开(公告)日：2016-05-01
申请号：TW104120950
申请日：2015-06-29
申请人：日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：上本敦 , UEMOTO, ATSUSHI , 麻畑達也 , ASAHATA, TATSUYA , 佐藤誠 , SATO, MAKOTO , 山本洋 , YAMAMOTO, YO
IPC分类号： H01J37/26 , G01N1/28
CPC分类号： G01N1/44 , G01N1/28 , H01J37/31 , H01J37/317
摘要：本發明的帶電粒子束裝置(10a)，係具備：電腦(21)，其係將至少試料片保持具(P)、針(18)及試料片(Q)之已事先取得之取決於複數個帶電粒子束的圖像作為基礎，來控制複數個帶電粒子束照射光學系統和針(18)和氣體供應部(17)，以便將試料片(Q)移設於已事先決定的試料片保持具(P)之位置。
简体摘要：本发明的带电粒子束设备(10a)，系具备：电脑(21)，其系将至少试料片保持具(P)、针(18)及试料片(Q)之已事先取得之取决于复数个带电粒子束的图像作为基础，来控制复数个带电粒子束照射光学系统和针(18)和气体供应部(17)，以便将试料片(Q)移设于已事先决定的试料片保持具(P)之位置。

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