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1. 发明专利

TW202004823A 帶電粒子束裝置审中-公开
简体标题：带电粒子束设备
公开(公告)号：TW202004823A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：TW108106987
申请日：2019-03-04
申请人：日商日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：鈴木将人 , SUZUKI, MASATO , 富松聡 , TOMIMATSU, SATOSHI , 佐藤誠 , SATO, MAKOTO , 麻畑達也 , ASAHATA, TATSUYA
IPC分类号： H01J37/20
摘要：自動反覆進行摘出試料片而使其移設於試料片保持器的動作，其中，該試料片是藉由離子束所致之試料的加工而形成的。帶電粒子束裝置具有電腦，其實施如下控制：不使令試料片固定在試料保持器上的針旋轉，而從帶電粒子束照射光學系統使帶電粒子束照射至附著於針的沉積膜。
简体摘要：自动反复进行摘出试料片而使其移设于试料片保持器的动作，其中，该试料片是借由离子束所致之试料的加工而形成的。带电粒子束设备具有电脑，其实施如下控制：不使令试料片固定在试料保持器上的针旋转，而从带电粒子束照射光学系统使带电粒子束照射至附着于针的沉积膜。

2. 发明专利

TW201828324A 帶電粒子束裝置审中-公开
简体标题：带电粒子束设备
公开(公告)号：TW201828324A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106139439
申请日：2017-11-15
申请人：日商日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：鈴木人 , SUZUKI, MASATO , 富松聡 , TOMIMATSU, SATOSHI , 佐藤誠 , SATO, MAKOTO
IPC分类号： H01J37/256 , H01J37/304
摘要：本發明提供帶電粒子束裝置，其自動地重複進行取出透過離子束對試樣的加工而形成的試樣片並移置到試樣片保持器上的動作。該帶電粒子束裝置從試樣自動地製作出試樣片，其具有：帶電粒子束照射光學系統，其以帶電粒子束進行照射；試樣台，其載置並移動試樣；試樣片移置單元，其保持從試樣分離和取出的試樣片並進行輸送；保持器固定台，其對移置有試樣片的試樣片保持器進行保持；以及電腦，其在由試樣片移置單元對試樣片進行保持之後發生異常的情況下，進行使試樣片移置單元所保持的試樣片滅失的控制。
简体摘要：本发明提供带电粒子束设备，其自动地重复进行取出透过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片保持器上的动作。该带电粒子束设备从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其以带电粒子束进行照射；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；保持器固定台，其对移置有试样片的试样片保持器进行保持；以及电脑，其在由试样片移置单元对试样片进行保持之后发生异常的情况下，进行使试样片移置单元所保持的试样片灭失的控制。

3. 发明专利

TW201837964A 帶電粒子束裝置审中-公开
简体标题：带电粒子束设备
公开(公告)号：TW201837964A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：TW107110327
申请日：2018-03-26
申请人：日商日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：藤井利昭 , FUJII, TOSHIAKI , 富松聡 , TOMIMATSU, SATOSHI , 鈴木浩之 , SUZUKI, HIROYUKI
IPC分类号： H01J37/30 , H01J37/02
摘要：於帶電粒子束裝置中，設計成即使將複數個試料加工的情形下仍作業效率良好，而能夠安全地進行試料的形成。　　帶電粒子束裝置，具備：帶電粒子束鏡筒，對試料照射帶電粒子束；及傾斜台(64A)，具有可保持試料之第1試料保持部，將第1試料保持部繞著軸線(S1)可旋動地予以保持；及傾斜台(64B)，具有可保持試料之第2試料保持部，將第2試料保持部繞著和軸線(S1)平行之軸線(S2)可旋動地予以保持；及驅動力供給部，對傾斜台(64A、64B)供給使傾斜台(64A、64B)連動而旋動之驅動力。
简体摘要：于带电粒子束设备中，设计成即使将复数个试料加工的情形下仍作业效率良好，而能够安全地进行试料的形成。　　带电粒子束设备，具备：带电粒子束镜筒，对试料照射带电粒子束；及倾斜台(64A)，具有可保持试料之第1试料保持部，将第1试料保持部绕着轴线(S1)可旋动地予以保持；及倾斜台(64B)，具有可保持试料之第2试料保持部，将第2试料保持部绕着和轴线(S1)平行之轴线(S2)可旋动地予以保持；及驱动力供给部，对倾斜台(64A、64B)供给使倾斜台(64A、64B)连动而旋动之驱动力。

4. 发明专利

TW201802858A 控制裝置、帶電粒子束裝置、程式及生產加工品的方法审中-公开
简体标题：控制设备、带电粒子束设备、进程及生产加工品的方法
公开(公告)号：TW201802858A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106100729
申请日：2017-01-10
申请人：日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：富松聡 , TOMIMATSU, SATOSHI , 大西毅 , OONISHI, TSUYOSHI , 川田洋揮 , KAWADA, HIROKI , 栄井英雄 , SAKAI, HIDEO
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3026 , H01J37/20 , H01J37/3045 , H01J37/3056 , H01J37/3171 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/31745
摘要：本發明之課題在於可緩和離子束加工於加工面的形成方向上之限制，同時抑制幕效應。本發明之解決手段為一種控制裝置，其係控制帶電粒子束裝置，該帶電粒子束裝置，具備：具有相互非平行之至少2個旋轉軸之加工載台，以及藉由從既定方向照射帶電粒子束以加工該加工載台上的加工對象物之照射部之控制裝置，其係具備角度算出部，該角度算出部，係根據：藉由照射部，使具有不平行於任一旋轉軸之法線之加工面生成於加工對象物之第1加工的方向，與相對於藉由第1加工所生成之加工面，藉由照射部從與第1加工的方向不同之方向進行加工之第2加工的方向，來算出將加工載台的方向從第1加工的方向改變至第2加工的方向之繞著旋轉軸的旋轉角。
简体摘要：本发明之课题在于可缓和离子束加工于加工面的形成方向上之限制，同时抑制幕效应。本发明之解决手段为一种控制设备，其系控制带电粒子束设备，该带电粒子束设备，具备：具有相互非平行之至少2个旋转轴之加工载台，以及借由从既定方向照射带电粒子束以加工该加工载台上的加工对象物之照射部之控制设备，其系具备角度算出部，该角度算出部，系根据：借由照射部，使具有不平行于任一旋转轴之法线之加工面生成于加工对象物之第1加工的方向，与相对于借由第1加工所生成之加工面，借由照射部从与第1加工的方向不同之方向进行加工之第2加工的方向，来算出将加工载台的方向从第1加工的方向改变至第2加工的方向之绕着旋转轴的旋转角。

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