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1. 发明专利

TW201918316A 雷射加工裝置审中-公开
简体标题：激光加工设备
公开(公告)号：TW201918316A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：TW107123507
申请日：2018-07-06
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：名雪正壽 , NAYUKI, MASATOSHI , 能丸圭司 , NOMARU, KEIJI
IPC分类号： B23K26/364 , H01L21/67 , H01L21/687
摘要： [課題]藉由簡單的構成使雷射光線在分割預定線的寬度方向上擺動並且使擺動速度高速化。 [解決手段]沿著晶圓的分割預定線進行雷射加工之雷射加工裝置包含：射出雷射光線之雷射振盪器、將從雷射振盪器所射出之雷射光反射之多面鏡、及將在多面鏡上反射之雷射光線對晶圓進行聚光照射之fθ透鏡。多面鏡的各反射面是以零度反射面、正反射面及負反射面所形成，零度反射面是將平行於旋轉軸的軸方向的角度設為零度時的角度零度的反射面，正反射面是從零度朝正方向傾斜有角度的反射面，負反射面是從零度朝負方向傾斜有角度的反射面，讓雷射光線在分割預定線的寬度內且於正交於加工進給方向之方向及加工進給方向上進行搖動。
简体摘要： [课题]借由简单的构成使激光光线在分割预定线的宽度方向上摆动并且使摆动速度高速化。 [解决手段]沿着晶圆的分割预定线进行激光加工之激光加工设备包含：射出激光光线之激光振荡器、将从激光振荡器所射出之激光光反射之多面镜、及将在多面镜上反射之激光光线对晶圆进行聚光照射之fθ透镜。多面镜的各反射面是以零度反射面、正反射面及负反射面所形成，零度反射面是将平行于旋转轴的轴方向的角度设为零度时的角度零度的反射面，正反射面是从零度朝正方向倾斜有角度的反射面，负反射面是从零度朝负方向倾斜有角度的反射面，让激光光线在分割预定线的宽度内且于正交于加工进给方向之方向及加工进给方向上进行摇动。

2. 发明专利

TW201613712A 雷射加工裝置审中-公开
简体标题：激光加工设备
公开(公告)号：TW201613712A
公开(公告)日：2016-04-16
申请号：TW104128352
申请日：2015-08-28
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：能丸圭司 , NOMARU, KEIJI , 名雪正壽 , NAYUKI, MASATOSHI
IPC分类号： B23K26/364 , B23K26/40 , B23K26/082
CPC分类号： B23K26/364 , B23K26/0821 , B23K2203/56 , H01L21/67092
摘要：本發明之課題在於提供一種可有效率地實施燒蝕加工的雷射加工裝置。解決手段為雷射加工裝置，其包含配置在脈衝雷射振盪器與聚光器之間，且將從脈衝雷射振盪器所振盪產生之脈衝雷射光線的光路搖動而導向聚光器的光路搖動手段。光路搖動手段包含配置在聚光器側且將從脈衝雷射振盪器所振盪產生之脈衝雷射光線掃描而導向聚光器之多面鏡掃描器、及配置在多面鏡掃描器之脈衝雷射振盪器側且將從脈衝雷射振盪器所振盪產生之脈衝雷射光線的光路方向變更以導向多面鏡掃描器之聲光偏向單元。
简体摘要：本发明之课题在于提供一种可有效率地实施烧蚀加工的激光加工设备。解决手段为激光加工设备，其包含配置在脉冲激光振荡器与聚光器之间，且将从脉冲激光振荡器所振荡产生之脉冲激光光线的光路摇动而导向聚光器的光路摇动手段。光路摇动手段包含配置在聚光器侧且将从脉冲激光振荡器所振荡产生之脉冲激光光线扫描而导向聚光器之多面镜扫描仪、及配置在多面镜扫描仪之脉冲激光振荡器侧且将从脉冲激光振荡器所振荡产生之脉冲激光光线的光路方向变更以导向多面镜扫描仪之声光偏向单元。

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