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    • 9. 发明专利
    • 記憶胞及非揮發性半導體記憶裝置
    • 记忆胞及非挥发性半导体记忆设备
    • TW201635391A
    • 2016-10-01
    • TW104143597
    • 2015-12-24
    • 芙洛提亞股份有限公司FLOADIA CORPORATION
    • 品川裕SHINAGAWA, YUTAKA川嶋泰彥KAWASHIMA, YASUHIKO葛西秀男KASAI, HIDEO櫻井良多郎SAKURAI, RYOTARO谷口泰弘TANIGUCHI, YASUHIRO戶谷達郎TOYA, TATSURO奧山幸祐OKUYAMA, KOSUKE
    • H01L21/336G11C16/04H01L21/8247H01L27/115H01L29/778H01L29/792
    • G11C16/04H01L27/115H01L29/788H01L29/792
    • 本發明提出一種記憶胞及非揮發性半導體記憶裝置,其等係不受藉由量子穿隧效應將電荷注入至電荷儲存層(EC)所需之電荷儲存閘極電壓之限制,可使位元線(BL1)及源極線(SL)之電壓降低至藉由第1選擇閘極構造體(5)阻斷與記憶體閘極電極(MG)對向之區域之記憶井(MPW)、與位元線(BL1)之電性連接所需之電壓值、或藉由第2選擇閘極構造體(6)阻斷與記憶體閘極電極對向之區域之記憶井(MPW)、與源極線(SL)之電性連接所需之電壓值,故可依照該等位元線(BL1)及源極線(SL)之電壓降低,將第1選擇閘極構造體(5)之第1選擇閘極絕緣膜(30)、或第2選擇閘極構造體(6)之第2選擇閘極絕緣膜(33)之各膜厚薄化,而可相應地實現高速動作。又,根據於位元線(BL1)或源極線(SL)之電壓降低,於控制記憶胞(2a)之周邊電路中,亦可將場效電晶體之閘極絕緣膜之膜厚薄化,而可相應地減小周邊電路之面積。
    • 本发明提出一种记忆胞及非挥发性半导体记忆设备,其等系不受借由量子穿隧效应将电荷注入至电荷存储层(EC)所需之电荷存储闸极电压之限制,可使比特线(BL1)及源极线(SL)之电压降低至借由第1选择闸极构造体(5)阻断与内存闸极电极(MG)对向之区域之记忆井(MPW)、与比特线(BL1)之电性连接所需之电压值、或借由第2选择闸极构造体(6)阻断与内存闸极电极对向之区域之记忆井(MPW)、与源极线(SL)之电性连接所需之电压值,故可依照该等比特线(BL1)及源极线(SL)之电压降低,将第1选择闸极构造体(5)之第1选择闸极绝缘膜(30)、或第2选择闸极构造体(6)之第2选择闸极绝缘膜(33)之各膜厚薄化,而可相应地实现高速动作。又,根据于比特线(BL1)或源极线(SL)之电压降低,于控制记忆胞(2a)之周边电路中,亦可将场效应管之闸极绝缘膜之膜厚薄化,而可相应地减小周边电路之面积。