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1. 发明专利

TWI647754B 基板處理裝置、基板處理方法及記錄媒體有权
简体标题：基板处理设备、基板处理方法及记录媒体
公开(公告)号：TWI647754B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：TW105123358
申请日：2016-07-25
申请人：日商東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：伊藤規宏 , ITO, NORIHIRO , 東島治郎 , HIGASHIJIMA, JIRO , 緒方信博 , OGATA, NOBUHIRO , 大塚貴久 , OTSUKA, TAKAHISA , 道木裕一 , DOUKI, YUICHI , 橋本佑介 , HASHIMOTO, YUSUKE , 相浦一博 , AIURA, KAZUHIRO , 後藤大輔 , GOTO, DAISUKE
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/306

2. 发明专利

TWI544566B 基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體有权
简体标题：基板运送设备、基板运送方法及记录媒体
公开(公告)号：TWI544566B
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW104140018
申请日：2012-12-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：林德太郎 , HAYASHI,TOKUTAROU , 道木裕一 , DOUKI,YUICHI , 前島浩光 , MAEJIMA,HIROMITSU
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67259 , G05B19/4189 , G05B2219/45032 , G05B2219/45051 , G05D3/125 , H01L21/67742 , H01L21/681

3. 发明专利

TW201714212A 基板處理裝置、基板處理方法及記錄媒體审中-公开
简体标题：基板处理设备、基板处理方法及记录媒体
公开(公告)号：TW201714212A
公开(公告)日：2017-04-16
申请号：TW105123358
申请日：2016-07-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：伊藤規宏 , ITO, NORIHIRO , 東島治郎 , HIGASHIJIMA, JIRO , 緒方信博 , OGATA, NOBUHIRO , 大塚貴久 , OTSUKA, TAKAHISA , 道木裕一 , DOUKI, YUICHI , 橋本佑介 , HASHIMOTO, YUSUKE , 相浦一博 , AIURA, KAZUHIRO , 後藤大輔 , GOTO, DAISUKE
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/306
摘要：本發明之課題，係防止由基板往固定杯體外飛散之處理液附著於腔室內壁。解決該課題之手段係提供一種基板處理裝置，其具備固定杯體（51）、水霧防護罩（80）以及昇降機構（84）；固定杯體相對於處理容器為固定，且圍繞基板固持部（31）而承接供給至基板的處理液或者處理液的水霧；昇降機構使水霧防護罩昇降。水霧防護罩，以包圍固定杯體的方式設於固定杯體之外側，以隔斷越過固定杯體之上方而往外方飛散的液體。水霧防護罩具有筒狀的筒部（81）以及伸出部（82），伸出部由筒部之上端朝向固定杯體側伸出。
简体摘要：本发明之课题，系防止由基板往固定杯体外飞散之处理液附着于腔室内壁。解决该课题之手段系提供一种基板处理设备，其具备固定杯体（51）、水雾防护罩（80）以及升降机构（84）；固定杯体相对于处理容器为固定，且围绕基板固持部（31）而承接供给至基板的处理液或者处理液的水雾；升降机构使水雾防护罩升降。水雾防护罩，以包围固定杯体的方式设于固定杯体之外侧，以隔断越过固定杯体之上方而往外方飞散的液体。水雾防护罩具有筒状的筒部（81）以及伸出部（82），伸出部由筒部之上端朝向固定杯体侧伸出。

4. 发明专利

TW201611173A 基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體审中-公开
简体标题：基板运送设备、基板运送方法及记录媒体
公开(公告)号：TW201611173A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：TW104140018
申请日：2012-12-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：林德太郎 , HAYASHI,TOKUTAROU , 道木裕一 , DOUKI,YUICHI , 前島浩光 , MAEJIMA,HIROMITSU
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67259 , G05B19/4189 , G05B2219/45032 , G05B2219/45051 , G05D3/125 , H01L21/67742 , H01L21/681
摘要：本發明旨在提供一種基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體，運送於周緣部設有缺口之圓形基板時，即使分別偵測該基板周緣部位置之感測器部之數量少，亦可高精度地朝模組運送基板。其中實行下列者：第1及第2步驟，令固持有自第1模組接收之基板之基板固持部分別位於相對於該感測器部預先設定之第1位置、第2位置，偵測該基板周緣部各位置；第3步驟，辨別光源部之光照射區域位於該基板缺口之異常狀態之種類；及第4步驟，藉由第3步驟之辨別，選擇根據於該第1位置或第2位置偵測到的周緣部各位置決定相對於第2模組基板固持部之傳遞位置，還是於第3位置重新偵測基板周緣部各位置，根據該各位置決定該傳遞位置。
简体摘要：本发明旨在提供一种基板运送设备、基板运送方法及记录媒体，运送于周缘部设有缺口之圆形基板时，即使分别侦测该基板周缘部位置之传感器部之数量少，亦可高精度地朝模块运送基板。其中实行下列者：第1及第2步骤，令固持有自第1模块接收之基板之基板固持部分别位于相对于该传感器部预先设置之第1位置、第2位置，侦测该基板周缘部各位置；第3步骤，辨别光源部之光照射区域位于该基板缺口之异常状态之种类；及第4步骤，借由第3步骤之辨别，选择根据于该第1位置或第2位置侦测到的周缘部各位置决定相对于第2模块基板固持部之传递位置，还是于第3位置重新侦测基板周缘部各位置，根据该各位置决定该传递位置。

5. 发明专利

TW201343516A 基板處理裝置、基板處理方法及記憶媒體审中-公开
简体标题：基板处理设备、基板处理方法及记忆媒体
公开(公告)号：TW201343516A
公开(公告)日：2013-11-01
申请号：TW101149769
申请日：2012-12-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：林德太郎 , HAYASHI, TOKUTAROU , 道木裕一 , DOUKI, YUICHI , 森弘明 , MORI, HIROTOSHI , 寺本聰寬 , TERAMOTO, AKIHIRO
IPC分类号： B65G49/07
CPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67178 , H01L21/67184 , H01L21/67259 , H01L21/67288 , H01L21/673 , H01L21/67742
摘要：本發明提供一種技術，當模組、或往各模組進行基板搬運之基板搬運機構的其中任一者產生故障時，能防止繼續對於基板進行不良的處理。本發明構成之裝置包含：多數之接受模組，基板搬運機構的基板固持部來接受基板；感測器部，用來偵測下列位置之間的偏移量，即固持於該基板固持部的基板之固持位置，與預先設定於該基板固持部的基板之基準位置；記憶部，對於每個該接受模組，以時間序列方式記憶接受來自各接受模組之基板時偵測的該偏移量；推定部，依據記憶於該記憶部的各接受模組之該偏移量的時間序列資料來推定各接受模組的其中任一者或該基板搬運機構有故障。藉此，能早期進行應對。
简体摘要：本发明提供一种技术，当模块、或往各模块进行基板搬运之基板搬运机构的其中任一者产生故障时，能防止继续对于基板进行不良的处理。本发明构成之设备包含：多数之接受模块，基板搬运机构的基板固持部来接受基板；传感器部，用来侦测下列位置之间的偏移量，即固持于该基板固持部的基板之固持位置，与预先设置于该基板固持部的基板之基准位置；记忆部，对于每个该接受模块，以时间串行方式记忆接受来自各接受模块之基板时侦测的该偏移量；推定部，依据记忆于该记忆部的各接受模块之该偏移量的时间串行数据来推定各接受模块的其中任一者或该基板搬运机构有故障。借此，能早期进行应对。

6. 发明专利

TWI502678B 基板處理裝置、基板處理方法及記憶媒體有权
简体标题：基板处理设备、基板处理方法及记忆媒体
公开(公告)号：TWI502678B
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW101149769
申请日：2012-12-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：林德太郎 , HAYASHI, TOKUTAROU , 道木裕一 , DOUKI, YUICHI , 森弘明 , MORI, HIROTOSHI , 寺本聰寬 , TERAMOTO, AKIHIRO
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67178 , H01L21/67184 , H01L21/67259 , H01L21/67288 , H01L21/673 , H01L21/67742

7. 发明专利

TWI487057B 基板運送裝置之位置調整方法及基板處理裝置有权
简体标题：基板运送设备之位置调整方法及基板处理设备
公开(公告)号：TWI487057B
公开(公告)日：2015-06-01
申请号：TW100149926
申请日：2011-12-30
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：道木裕一 , DOUKI, YUICHI , 林德太郎 , HAYASHI, TOKUTAROU , 飯田成昭 , IIDA, NARUAKI , 榎木田卓 , ENOKIDA, SUGURU
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/68 , H01L21/6715 , H01L21/67748 , H01L21/681 , H01L21/68707 , H01L22/10 , H01L2924/0002 , H01L2924/00

8. 发明专利

TW201342515A 基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體审中-公开
简体标题：基板运送设备、基板运送方法及记录媒体
公开(公告)号：TW201342515A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：TW101149775
申请日：2012-12-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：林德太郎 , HAYASHI, TOKUTAROU , 道木裕一 , DOUKI, YUICHI , 前島浩光 , MAEJIMA, HIROMITSU
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67259 , G05B19/4189 , G05B2219/45032 , G05B2219/45051 , G05D3/125 , H01L21/67742 , H01L21/681
摘要：本發明旨在提供一種基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體，運送於周緣部設有缺口之圓形基板時，即使分別偵測該基板周緣部位置之感測器部之數量少，亦可高精度地朝模組運送基板。其中實行下列者：第1及第2步驟，令固持有自第1模組接收之基板之基板固持部分別位於相對於該感測器部預先設定之第1位置、第2位置，偵測該基板周緣部各位置；第3步驟，辨別光源部之光照射區域位於該基板缺口之異常狀態之種類；及第4步驟，藉由第3步驟之辨別，選擇根據於該第1位置或第2位置偵測到的周緣部各位置決定相對於第2模組基板固持部之傳遞位置，還是於第3位置重新偵測基板周緣部各位置，根據該各位置決定該傳遞位置。
简体摘要：本发明旨在提供一种基板运送设备、基板运送方法及记录媒体，运送于周缘部设有缺口之圆形基板时，即使分别侦测该基板周缘部位置之传感器部之数量少，亦可高精度地朝模块运送基板。其中实行下列者：第1及第2步骤，令固持有自第1模块接收之基板之基板固持部分别位于相对于该传感器部预先设置之第1位置、第2位置，侦测该基板周缘部各位置；第3步骤，辨别光源部之光照射区域位于该基板缺口之异常状态之种类；及第4步骤，借由第3步骤之辨别，选择根据于该第1位置或第2位置侦测到的周缘部各位置决定相对于第2模块基板固持部之传递位置，还是于第3位置重新侦测基板周缘部各位置，根据该各位置决定该传递位置。

9. 发明专利

TWI517287B 基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體有权
简体标题：基板运送设备、基板运送方法及记录媒体
公开(公告)号：TWI517287B
公开(公告)日：2016-01-11
申请号：TW101149775
申请日：2012-12-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：林德太郎 , HAYASHI, TOKUTAROU , 道木裕一 , DOUKI, YUICHI , 前島浩光 , MAEJIMA, HIROMITSU
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67259 , G05B19/4189 , G05B2219/45032 , G05B2219/45051 , G05D3/125 , H01L21/67742 , H01L21/681

10. 发明专利

TWI382491B 位置檢測用治具有权
简体标题：位置检测用治具
公开(公告)号：TWI382491B
公开(公告)日：2013-01-11
申请号：TW097126998
申请日：2008-07-16
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：松本俊行 , MATSUMOTO, TOSHIYUKI , 南朋秀 , MINAMI, TOMOHIDE , 道木裕一 , DOKI, YUICHI , 馬原康爾 , MAHARA, KOJI
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： G01B7/003 , H01L21/67259

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