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    • 1. 发明专利
    • 基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體
    • 基板运送设备、基板运送方法及记录媒体
    • TW201611173A
    • 2016-03-16
    • TW104140018
    • 2012-12-25
    • 東京威力科創股份有限公司TOKYO ELECTRON LIMITED
    • 林德太郎HAYASHI,TOKUTAROU道木裕一DOUKI,YUICHI前島浩光MAEJIMA,HIROMITSU
    • H01L21/677
    • H01L21/67259G05B19/4189G05B2219/45032G05B2219/45051G05D3/125H01L21/67742H01L21/681
    • 本發明旨在提供一種基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體,運送於周緣部設有缺口之圓形基板時,即使分別偵測該基板周緣部位置之感測器部之數量少,亦可高精度地朝模組運送基板。 其中實行下列者:第1及第2步驟,令固持有自第1模組接收之基板之基板固持部分別位於相對於該感測器部預先設定之第1位置、第2位置,偵測該基板周緣部各位置;第3步驟,辨別光源部之光照射區域位於該基板缺口之異常狀態之種類;及第4步驟,藉由第3步驟之辨別,選擇根據於該第1位置或第2位置偵測到的周緣部各位置決定相對於第2模組基板固持部之傳遞位置,還是於第3位置重新偵測基板周緣部各位置,根據該各位置決定該傳遞位置。
    • 本发明旨在提供一种基板运送设备、基板运送方法及记录媒体,运送于周缘部设有缺口之圆形基板时,即使分别侦测该基板周缘部位置之传感器部之数量少,亦可高精度地朝模块运送基板。 其中实行下列者:第1及第2步骤,令固持有自第1模块接收之基板之基板固持部分别位于相对于该传感器部预先设置之第1位置、第2位置,侦测该基板周缘部各位置;第3步骤,辨别光源部之光照射区域位于该基板缺口之异常状态之种类;及第4步骤,借由第3步骤之辨别,选择根据于该第1位置或第2位置侦测到的周缘部各位置决定相对于第2模块基板固持部之传递位置,还是于第3位置重新侦测基板周缘部各位置,根据该各位置决定该传递位置。
    • 3. 发明专利
    • 基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體
    • 基板运送设备、基板运送方法及记录媒体
    • TW201342515A
    • 2013-10-16
    • TW101149775
    • 2012-12-25
    • 東京威力科創股份有限公司TOKYO ELECTRON LIMITED
    • 林德太郎HAYASHI, TOKUTAROU道木裕一DOUKI, YUICHI前島浩光MAEJIMA, HIROMITSU
    • H01L21/677
    • H01L21/67259G05B19/4189G05B2219/45032G05B2219/45051G05D3/125H01L21/67742H01L21/681
    • 本發明旨在提供一種基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體,運送於周緣部設有缺口之圓形基板時,即使分別偵測該基板周緣部位置之感測器部之數量少,亦可高精度地朝模組運送基板。其中實行下列者:第1及第2步驟,令固持有自第1模組接收之基板之基板固持部分別位於相對於該感測器部預先設定之第1位置、第2位置,偵測該基板周緣部各位置;第3步驟,辨別光源部之光照射區域位於該基板缺口之異常狀態之種類;及第4步驟,藉由第3步驟之辨別,選擇根據於該第1位置或第2位置偵測到的周緣部各位置決定相對於第2模組基板固持部之傳遞位置,還是於第3位置重新偵測基板周緣部各位置,根據該各位置決定該傳遞位置。
    • 本发明旨在提供一种基板运送设备、基板运送方法及记录媒体,运送于周缘部设有缺口之圆形基板时,即使分别侦测该基板周缘部位置之传感器部之数量少,亦可高精度地朝模块运送基板。其中实行下列者:第1及第2步骤,令固持有自第1模块接收之基板之基板固持部分别位于相对于该传感器部预先设置之第1位置、第2位置,侦测该基板周缘部各位置;第3步骤,辨别光源部之光照射区域位于该基板缺口之异常状态之种类;及第4步骤,借由第3步骤之辨别,选择根据于该第1位置或第2位置侦测到的周缘部各位置决定相对于第2模块基板固持部之传递位置,还是于第3位置重新侦测基板周缘部各位置,根据该各位置决定该传递位置。