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1. 发明专利

TW201611173A 基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體审中-公开
简体标题：基板运送设备、基板运送方法及记录媒体
公开(公告)号：TW201611173A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：TW104140018
申请日：2012-12-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：林德太郎 , HAYASHI,TOKUTAROU , 道木裕一 , DOUKI,YUICHI , 前島浩光 , MAEJIMA,HIROMITSU
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67259 , G05B19/4189 , G05B2219/45032 , G05B2219/45051 , G05D3/125 , H01L21/67742 , H01L21/681
摘要：本發明旨在提供一種基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體，運送於周緣部設有缺口之圓形基板時，即使分別偵測該基板周緣部位置之感測器部之數量少，亦可高精度地朝模組運送基板。其中實行下列者：第1及第2步驟，令固持有自第1模組接收之基板之基板固持部分別位於相對於該感測器部預先設定之第1位置、第2位置，偵測該基板周緣部各位置；第3步驟，辨別光源部之光照射區域位於該基板缺口之異常狀態之種類；及第4步驟，藉由第3步驟之辨別，選擇根據於該第1位置或第2位置偵測到的周緣部各位置決定相對於第2模組基板固持部之傳遞位置，還是於第3位置重新偵測基板周緣部各位置，根據該各位置決定該傳遞位置。
简体摘要：本发明旨在提供一种基板运送设备、基板运送方法及记录媒体，运送于周缘部设有缺口之圆形基板时，即使分别侦测该基板周缘部位置之传感器部之数量少，亦可高精度地朝模块运送基板。其中实行下列者：第1及第2步骤，令固持有自第1模块接收之基板之基板固持部分别位于相对于该传感器部预先设置之第1位置、第2位置，侦测该基板周缘部各位置；第3步骤，辨别光源部之光照射区域位于该基板缺口之异常状态之种类；及第4步骤，借由第3步骤之辨别，选择根据于该第1位置或第2位置侦测到的周缘部各位置决定相对于第2模块基板固持部之传递位置，还是于第3位置重新侦测基板周缘部各位置，根据该各位置决定该传递位置。

2. 发明专利

TWI544566B 基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體有权
简体标题：基板运送设备、基板运送方法及记录媒体
公开(公告)号：TWI544566B
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW104140018
申请日：2012-12-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：林德太郎 , HAYASHI,TOKUTAROU , 道木裕一 , DOUKI,YUICHI , 前島浩光 , MAEJIMA,HIROMITSU
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67259 , G05B19/4189 , G05B2219/45032 , G05B2219/45051 , G05D3/125 , H01L21/67742 , H01L21/681

3. 发明专利

TW201342515A 基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體审中-公开
简体标题：基板运送设备、基板运送方法及记录媒体
公开(公告)号：TW201342515A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：TW101149775
申请日：2012-12-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：林德太郎 , HAYASHI, TOKUTAROU , 道木裕一 , DOUKI, YUICHI , 前島浩光 , MAEJIMA, HIROMITSU
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67259 , G05B19/4189 , G05B2219/45032 , G05B2219/45051 , G05D3/125 , H01L21/67742 , H01L21/681
摘要：本發明旨在提供一種基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體，運送於周緣部設有缺口之圓形基板時，即使分別偵測該基板周緣部位置之感測器部之數量少，亦可高精度地朝模組運送基板。其中實行下列者：第1及第2步驟，令固持有自第1模組接收之基板之基板固持部分別位於相對於該感測器部預先設定之第1位置、第2位置，偵測該基板周緣部各位置；第3步驟，辨別光源部之光照射區域位於該基板缺口之異常狀態之種類；及第4步驟，藉由第3步驟之辨別，選擇根據於該第1位置或第2位置偵測到的周緣部各位置決定相對於第2模組基板固持部之傳遞位置，還是於第3位置重新偵測基板周緣部各位置，根據該各位置決定該傳遞位置。
简体摘要：本发明旨在提供一种基板运送设备、基板运送方法及记录媒体，运送于周缘部设有缺口之圆形基板时，即使分别侦测该基板周缘部位置之传感器部之数量少，亦可高精度地朝模块运送基板。其中实行下列者：第1及第2步骤，令固持有自第1模块接收之基板之基板固持部分别位于相对于该传感器部预先设置之第1位置、第2位置，侦测该基板周缘部各位置；第3步骤，辨别光源部之光照射区域位于该基板缺口之异常状态之种类；及第4步骤，借由第3步骤之辨别，选择根据于该第1位置或第2位置侦测到的周缘部各位置决定相对于第2模块基板固持部之传递位置，还是于第3位置重新侦测基板周缘部各位置，根据该各位置决定该传递位置。

4. 发明专利

TWI517287B 基板運送裝置、基板運送方法及記錄媒體有权
简体标题：基板运送设备、基板运送方法及记录媒体
公开(公告)号：TWI517287B
公开(公告)日：2016-01-11
申请号：TW101149775
申请日：2012-12-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：林德太郎 , HAYASHI, TOKUTAROU , 道木裕一 , DOUKI, YUICHI , 前島浩光 , MAEJIMA, HIROMITSU
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67259 , G05B19/4189 , G05B2219/45032 , G05B2219/45051 , G05D3/125 , H01L21/67742 , H01L21/681

5. 发明专利

TW502346B 組件裝載裝置與組件裝載方法,以及,用於組件裝載面板之認知裝置、用於液晶面板之組件裝載裝置,以及用於液晶面板之組件裝載方法失效
简体标题：组件装载设备与组件装载方法,以及,用于组件装载皮肤之认知设备、用于液晶皮肤之组件装载设备,以及用于液晶皮肤之组件装载方法
公开(公告)号：TW502346B
公开(公告)日：2002-09-11
申请号：TW090103449
申请日：2001-02-15
申请人：松下電器產業股份有限公司
发明人： 慎治郎 , 西本智隆 , 村田崇彥 , 伊田雅之
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/6838 , G02F1/1333 , G02F1/13452 , G05B2219/37555 , G05B2219/37563 , G05B2219/37572 , G05B2219/45051 , H01L21/687 , H01L21/68707 , H05K13/0061 , H05K13/08 , Y10T29/53 , Y10T29/53191
摘要：將液晶面板放置於運送手臂(6)之上，其能夠以左右方向移動，並藉由吸力襯墊(12)所固持，執行將液晶面板運送到下個程式。由於液晶面板之重量施加到運送手臂，故小吸力便以足夠，且可防止吸力不規則。運送手臂係佈置於液晶面板之下側，因而當從裝置取出液晶面板之時，運送手臂不會阻礙液晶面板。於佈置中控制液晶面板到一影像挑出裝置(111)、一面板固持裝置(112)，驅動面板固持裝置，來使面板標示定位到一結合高度位置，並消除液晶面板之偏斜量；另外控制一組件固持裝置，驅動組件固持裝置，來將組件標示定位到一結合高度位置，並將電子組件於結合高度位置安裝到液晶面板。因此，與習用技藝相比，可以增進安裝電子組件之精確度。
简体摘要：将液晶皮肤放置于运送手臂(6)之上，其能够以左右方向移动，并借由吸力衬垫(12)所固持，运行将液晶皮肤运送到下个进程。由于液晶皮肤之重量施加到运送手臂，故小吸力便以足够，且可防止吸力不守则。运送手臂系布置于液晶皮肤之下侧，因而当从设备取出液晶皮肤之时，运送手臂不会阻碍液晶皮肤。于布置中控制液晶皮肤到一影像挑出设备(111)、一皮肤固持设备(112)，驱动皮肤固持设备，来使皮肤标示定位到一结合高度位置，并消除液晶皮肤之偏斜量；另外控制一组件固持设备，驱动组件固持设备，来将组件标示定位到一结合高度位置，并将电子组件于结合高度位置安装到液晶皮肤。因此，与习用技艺相比，可以增进安装电子组件之精确度。

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