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1. 发明专利

TW201245486A 化學輸送系統 CHEMICAL DELIVERY SYSTEM 审中-公开
简体标题：化学输送系统 CHEMICAL DELIVERY SYSTEM
公开(公告)号：TW201245486A
公开(公告)日：2012-11-16
申请号：TW101114730
申请日：2012-04-25
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：約瑟夫森馬塞爾E , 卡爾森大衛K , 強普史帝夫 , 桑契斯愛羅安東尼歐C
IPC分类号： C23C , H01L
CPC分类号： G05D7/0641 , Y10T137/4259 , Y10T137/6416 , Y10T137/7043 , Y10T137/8593
摘要：本案揭示之化學輸送系統的實施例可包含外殼；配置在該外殼內的第一隔室，且該第一隔室具有複數個第一導管以運送第一組化學物種，該第一隔室更具有第一吸氣開口和第一排氣開口以幫助淨化氣體流經該第一隔室；及配置在該外殼內的第二隔室，且該第二隔室具有複數個第二導管以運送第二組化學物種，該第二隔室更具有第二吸氣開口和第二排氣開口以幫助該淨化氣體流經該第二隔室，其中該第一組化學物種不同於該第二組化學物種，及其中流經該第二隔室之該淨化氣體的吸氣速度大於流經該第一隔室之該淨化氣體的吸氣速度。
简体摘要：本案揭示之化学输送系统的实施例可包含外壳；配置在该外壳内的第一隔室，且该第一隔室具有复数个第一导管以运送第一组化学物种，该第一隔室更具有第一吸气开口和第一排气开口以帮助净化气体流经该第一隔室；及配置在该外壳内的第二隔室，且该第二隔室具有复数个第二导管以运送第二组化学物种，该第二隔室更具有第二吸气开口和第二排气开口以帮助该净化气体流经该第二隔室，其中该第一组化学物种不同于该第二组化学物种，及其中流经该第二隔室之该净化气体的吸气速度大于流经该第一隔室之该净化气体的吸气速度。

2. 发明专利

TW201247933A 用於將材料沉積在基材上的設備 APPARATUS FOR DEPOSITION OF MATERIALS ON A SUBSTRATE 审中-公开
简体标题：用于将材料沉积在基材上的设备 APPARATUS FOR DEPOSITION OF MATERIALS ON A SUBSTRATE
公开(公告)号：TW201247933A
公开(公告)日：2012-12-01
申请号：TW101112658
申请日：2012-04-10
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：桑契斯愛羅安東尼歐C , 柯林斯理查O , 卡爾森大衛K , 鮑提斯塔凱文 , 迪尼茲赫曼P , 帕塔雷凱拉辛 , 妙尼O , 狄馬斯丹尼斯L , 馬可達克里斯多夫 , 強普史帝夫 , 古波若沙堤西
IPC分类号： C23C
CPC分类号： C23C16/0236 , C23C16/301 , C23C16/4412 , C23C16/45563 , C23C16/45565 , C23C16/4584 , C23C16/46
摘要：本發明提供用於將材料沉積在基材上的方法及設備。在一些實施例中，用於處理基材之設備可包括：處理腔室，該處理腔室具有安置於該處理腔室內部之基材支撐件，以支撐基材之處理表面；注射器，該注射器經安置至基材支撐件之第一側面，且該注射器具有第一流動路徑以提供第一處理氣體及具有第二流動路徑以獨立於第一處理氣體提供第二處理氣體，其中注射器經定位以在基材之處理表面上提供第一處理氣體及第二處理氣體；噴淋頭，該噴淋頭安置於基材支撐件之上以提供第一處理氣體至基材之處理表面；以及排氣埠，該排氣埠安置於基材支撐件之第二側面且與注射器相對以自處理腔室排出第一處理氣體及第二處理氣體。
简体摘要：本发明提供用于将材料沉积在基材上的方法及设备。在一些实施例中，用于处理基材之设备可包括：处理腔室，该处理腔室具有安置于该处理腔室内部之基材支撑件，以支撑基材之处理表面；注射器，该注射器经安置至基材支撑件之第一侧面，且该注射器具有第一流动路径以提供第一处理气体及具有第二流动路径以独立于第一处理气体提供第二处理气体，其中注射器经定位以在基材之处理表面上提供第一处理气体及第二处理气体；喷淋头，该喷淋头安置于基材支撑件之上以提供第一处理气体至基材之处理表面；以及排气端口，该排气端口安置于基材支撑件之第二侧面且与注射器相对以自处理腔室排出第一处理气体及第二处理气体。

4. 发明专利

TWI557262B 化學輸送系統有权
简体标题：化学输送系统
公开(公告)号：TWI557262B
公开(公告)日：2016-11-11
申请号：TW101114730
申请日：2012-04-25
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：約瑟夫森馬塞爾E , JOSEPHSON, MARCEL E. , 卡爾森大衛K , CARLSON, DAVID K. , 強普史帝夫 , JUMPER, STEVE , 桑契斯愛羅安東尼歐C , SANCHEZ, ERROL ANTONIO C.
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/52 , H01L21/02
CPC分类号： G05D7/0641 , Y10T137/4259 , Y10T137/6416 , Y10T137/7043 , Y10T137/8593

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