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1. 发明专利

TW201712224A 低溫阱审中-公开
简体标题：低温阱
公开(公告)号：TW201712224A
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW105121009
申请日：2016-07-01
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI
IPC分类号： F04B37/08 , F26B5/06
摘要：本發明之低溫阱係於連接於被脫氣空間即腔室之殼體內使已藉由機械式冷凍機冷卻之低溫板件自殼體壁隔離而設置者，將上述低溫板件之板面以朝向上述腔室內之脫氣對象之方式設置，且具備設置於上述板面之前方之孔口板。
简体摘要：本发明之低温阱系于连接于被脱气空间即腔室之壳体内使已借由机械式冷冻机冷却之低温板件自壳体壁隔离而设置者，将上述低温板件之板面以朝向上述腔室内之脱气对象之方式设置，且具备设置于上述板面之前方之孔口板。

2. 发明专利

TW201706506A 低溫阱审中-公开
简体标题：低温阱
公开(公告)号：TW201706506A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：TW105119453
申请日：2016-06-21
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI
IPC分类号： F04B37/08 , F26B5/06
摘要：本發明之低溫阱係一種在連接於被脫氣空間之室的殼體內，將利用機械式冷凍機冷卻之低溫板件自殼體壁隔開而設置之低溫阱，其設置有冷卻分離分隔壁，該冷卻分離分隔壁係與前述低溫板件之一個板面相接，且將前述殼體內分離為前述室側之第1空間與前述低溫板件側之第2空間。
简体摘要：本发明之低温阱系一种在连接于被脱气空间之室的壳体内，将利用机械式冷冻机冷却之低温板件自壳体壁隔开而设置之低温阱，其设置有冷却分离分隔壁，该冷却分离分隔壁系与前述低温板件之一个板面相接，且将前述壳体内分离为前述室侧之第1空间与前述低温板件侧之第2空间。

3. 发明专利

TWI618856B 低溫阱有权
简体标题：低温阱
公开(公告)号：TWI618856B
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：TW105119453
申请日：2016-06-21
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI
IPC分类号： F04B37/08 , F26B5/06

4. 发明专利

TWI612218B 低溫阱有权
简体标题：低温阱
公开(公告)号：TWI612218B
公开(公告)日：2018-01-21
申请号：TW105121009
申请日：2016-07-01
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI
IPC分类号： F04B37/08 , F26B5/06

5. 发明专利

TWI614460B 冷卻裝置有权
简体标题：冷却设备
公开(公告)号：TWI614460B
公开(公告)日：2018-02-11
申请号：TW102125214
申请日：2013-07-15
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI , 増田行男 , MASUDA, YUKIO
IPC分类号： F24F13/08 , C23C14/56

6. 发明专利

TW201425829A 冷卻裝置审中-公开
简体标题：冷却设备
公开(公告)号：TW201425829A
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：TW102125214
申请日：2013-07-15
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI , 増田行男 , MASUDA, YUKIO
IPC分类号： F24F13/08 , C23C14/56
摘要： [課題]提供一種簡便的冷卻裝置，可以對應處理對象物的姿勢將處理對象物效率良好地冷卻。[技術內容]本發明的冷卻裝置(RU1)，是具備冷凍機(2)及藉由此冷凍機被冷卻的冷卻面板(1)，將冷卻面板的主面(1a)接近或接觸處理對象物(S)使處理對象物冷卻。冷卻面板的主面接近或接觸處理對象物的冷卻面板的姿勢為第1姿勢，冷卻面板的主面從處理對象物隔離的冷卻面板的姿勢為第2姿勢，冷卻面板是在第1姿勢及第2姿勢之間可擺動自如地設於處理室內，並且冷卻面板是第1姿勢及第2姿勢的至少一方時使冷凍機的冷卻頭(21)與冷卻面板接觸並藉由傳熱使冷卻面板被冷卻。
简体摘要： [课题]提供一种简便的冷却设备，可以对应处理对象物的姿势将处理对象物效率良好地冷却。[技术内容]本发明的冷却设备(RU1)，是具备冷冻机(2)及借由此冷冻机被冷却的冷却皮肤(1)，将冷却皮肤的主面(1a)接近或接触处理对象物(S)使处理对象物冷却。冷却皮肤的主面接近或接触处理对象物的冷却皮肤的姿势为第1姿势，冷却皮肤的主面从处理对象物隔离的冷却皮肤的姿势为第2姿势，冷却皮肤是在第1姿势及第2姿势之间可摆动自如地设于处理室内，并且冷却皮肤是第1姿势及第2姿势的至少一方时使冷冻机的冷却头(21)与冷却皮肤接触并借由传热使冷却皮肤被冷却。

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