专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TWI612218B 低溫阱有权
简体标题：低温阱
公开(公告)号：TWI612218B
公开(公告)日：2018-01-21
申请号：TW105121009
申请日：2016-07-01
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI
IPC分类号： F04B37/08 , F26B5/06

2. 发明专利

TWI627353B 冷卻裝置有权
简体标题：冷却设备
公开(公告)号：TWI627353B
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：TW105131233
申请日：2016-09-29
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI
IPC分类号： F04B37/16 , F04B37/08

3. 发明专利

TW201712224A 低溫阱审中-公开
简体标题：低温阱
公开(公告)号：TW201712224A
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW105121009
申请日：2016-07-01
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI
IPC分类号： F04B37/08 , F26B5/06
摘要：本發明之低溫阱係於連接於被脫氣空間即腔室之殼體內使已藉由機械式冷凍機冷卻之低溫板件自殼體壁隔離而設置者，將上述低溫板件之板面以朝向上述腔室內之脫氣對象之方式設置，且具備設置於上述板面之前方之孔口板。
简体摘要：本发明之低温阱系于连接于被脱气空间即腔室之壳体内使已借由机械式冷冻机冷却之低温板件自壳体壁隔离而设置者，将上述低温板件之板面以朝向上述腔室内之脱气对象之方式设置，且具备设置于上述板面之前方之孔口板。

4. 发明专利

TW201716692A 冷卻裝置审中-公开
简体标题：冷却设备
公开(公告)号：TW201716692A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：TW105131236
申请日：2016-09-29
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI
IPC分类号： F04B37/08
摘要：本發明提供一種能抑制冷卻效率的下降的冷卻裝置。冷卻裝置(10)具備：冷卻部件(11)，其包括吸熱面(11a)和凝結面(11b)；以及冷卻部(12)，其與凝結面(11b)連接。冷卻部件(11)包括第1部分和熱阻比第1部分高的第2部分，在冷卻部件(11)中，在從凝結面(11b)朝向吸熱面(11a)的方向上排列第1部分和第2部分。
简体摘要：本发明提供一种能抑制冷却效率的下降的冷却设备。冷却设备(10)具备：冷却部件(11)，其包括吸热面(11a)和凝结面(11b)；以及冷却部(12)，其与凝结面(11b)连接。冷却部件(11)包括第1部分和热阻比第1部分高的第2部分，在冷却部件(11)中，在从凝结面(11b)朝向吸热面(11a)的方向上排列第1部分和第2部分。

5. 发明专利

TWI636186B 冷卻裝置有权
简体标题：冷却设备
公开(公告)号：TWI636186B
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：TW105131236
申请日：2016-09-29
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI
IPC分类号： F04B37/08

6. 发明专利

TW201706506A 低溫阱审中-公开
简体标题：低温阱
公开(公告)号：TW201706506A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：TW105119453
申请日：2016-06-21
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI
IPC分类号： F04B37/08 , F26B5/06
摘要：本發明之低溫阱係一種在連接於被脫氣空間之室的殼體內，將利用機械式冷凍機冷卻之低溫板件自殼體壁隔開而設置之低溫阱，其設置有冷卻分離分隔壁，該冷卻分離分隔壁係與前述低溫板件之一個板面相接，且將前述殼體內分離為前述室側之第1空間與前述低溫板件側之第2空間。
简体摘要：本发明之低温阱系一种在连接于被脱气空间之室的壳体内，将利用机械式冷冻机冷却之低温板件自壳体壁隔开而设置之低温阱，其设置有冷却分离分隔壁，该冷却分离分隔壁系与前述低温板件之一个板面相接，且将前述壳体内分离为前述室侧之第1空间与前述低温板件侧之第2空间。

7. 发明专利

TWI618856B 低溫阱有权
简体标题：低温阱
公开(公告)号：TWI618856B
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：TW105119453
申请日：2016-06-21
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI
IPC分类号： F04B37/08 , F26B5/06

8. 发明专利

TW201728834A 冷卻裝置审中-公开
简体标题：冷却设备
公开(公告)号：TW201728834A
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：TW105131233
申请日：2016-09-29
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI
IPC分类号： F04B37/16 , F04B37/08
摘要：本發明提供一種能抑制收納有冷卻對象的空間中的排氣速度下降的冷卻裝置。冷卻裝置具備冷卻部和被冷卻部冷卻的冷卻體(12)。冷卻體(12)包括與冷卻部連接的第1面(12a)和第1面(12a)相反側的第2面(12b)。冷卻體(12)進一步包括使氣體在第1面(12a)與第2面(12b)之間流動的通道(21s)。
简体摘要：本发明提供一种能抑制收纳有冷却对象的空间中的排气速度下降的冷却设备。冷却设备具备冷却部和被冷却部冷却的冷却体(12)。冷却体(12)包括与冷却部连接的第1面(12a)和第1面(12a)相反侧的第2面(12b)。冷却体(12)进一步包括使气体在第1面(12a)与第2面(12b)之间流动的信道(21s)。

9. 发明专利

TW201802279A 搬送裝置审中-公开
简体标题：搬送设备
公开(公告)号：TW201802279A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106109375
申请日：2017-03-21
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI , 蛭間雅義 , HIRUMA, MASAYOSHI , 松崎淳介 , MATSUZAKI, JUNSUKE , 高橋明久 , TAKAHASHI, HIROHISA
IPC分类号： C23C14/56 , H01L21/203
摘要：提供一種能夠在真空氛圍之腔內而一面確實地冷卻被搬送物一面進行搬送的具有簡單的構成之冷卻構造之搬送裝置。係具備有：搬送帶(10)，係被捲掛在至少2個的輥(20)、(30)上，並於外表面上積載基板(S)而進行周回前進。將位置在各輥之間並相互朝向反方向而前進的搬送帶之部分中之被積載有被搬送物之其中一方的部份設為上帶部(Uv)，並將另外一方的部份設為下帶部(Dv)，並且將上帶部和下帶部所相互對向的方向設為上下方向，在上帶部之下面與下帶部之上下面的至少其中一面上，具備有與搬送帶之寬幅同等以上的長度之冷卻面板(40)，係於上下方向空出有特定間隔地而被作對向配置。該搬送裝置，係更進而具備有：冷卻手段(5)，係將冷卻面板冷卻；和氣體供給手段(70)，係對於藉由冷卻面板和搬送帶所區劃出之空間(60)而供給惰性氣體。
简体摘要：提供一种能够在真空氛围之腔内而一面确实地冷却被搬送物一面进行搬送的具有简单的构成之冷却构造之搬送设备。系具备有：搬送带(10)，系被卷挂在至少2个的辊(20)、(30)上，并于外表面上积载基板(S)而进行周回前进。将位置在各辊之间并相互朝向反方向而前进的搬送带之部分中之被积载有被搬送物之其中一方的部份设为上带部(Uv)，并将另外一方的部份设为下带部(Dv)，并且将上带部和下带部所相互对向的方向设为上下方向，在上带部之下面与下带部之上下面的至少其中一面上，具备有与搬送带之宽幅同等以上的长度之冷却皮肤(40)，系于上下方向空出有特定间隔地而被作对向配置。该搬送设备，系更进而具备有：冷却手段(5)，系将冷却皮肤冷却；和气体供给手段(70)，系对于借由冷却皮肤和搬送带所区划出之空间(60)而供给惰性气体。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式