专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TWI614460B 冷卻裝置有权
简体标题：冷却设备
公开(公告)号：TWI614460B
公开(公告)日：2018-02-11
申请号：TW102125214
申请日：2013-07-15
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI , 増田行男 , MASUDA, YUKIO
IPC分类号： F24F13/08 , C23C14/56

2. 发明专利

TW201425829A 冷卻裝置审中-公开
简体标题：冷却设备
公开(公告)号：TW201425829A
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：TW102125214
申请日：2013-07-15
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI , 増田行男 , MASUDA, YUKIO
IPC分类号： F24F13/08 , C23C14/56
摘要： [課題]提供一種簡便的冷卻裝置，可以對應處理對象物的姿勢將處理對象物效率良好地冷卻。[技術內容]本發明的冷卻裝置(RU1)，是具備冷凍機(2)及藉由此冷凍機被冷卻的冷卻面板(1)，將冷卻面板的主面(1a)接近或接觸處理對象物(S)使處理對象物冷卻。冷卻面板的主面接近或接觸處理對象物的冷卻面板的姿勢為第1姿勢，冷卻面板的主面從處理對象物隔離的冷卻面板的姿勢為第2姿勢，冷卻面板是在第1姿勢及第2姿勢之間可擺動自如地設於處理室內，並且冷卻面板是第1姿勢及第2姿勢的至少一方時使冷凍機的冷卻頭(21)與冷卻面板接觸並藉由傳熱使冷卻面板被冷卻。
简体摘要： [课题]提供一种简便的冷却设备，可以对应处理对象物的姿势将处理对象物效率良好地冷却。[技术内容]本发明的冷却设备(RU1)，是具备冷冻机(2)及借由此冷冻机被冷却的冷却皮肤(1)，将冷却皮肤的主面(1a)接近或接触处理对象物(S)使处理对象物冷却。冷却皮肤的主面接近或接触处理对象物的冷却皮肤的姿势为第1姿势，冷却皮肤的主面从处理对象物隔离的冷却皮肤的姿势为第2姿势，冷却皮肤是在第1姿势及第2姿势之间可摆动自如地设于处理室内，并且冷却皮肤是第1姿势及第2姿势的至少一方时使冷冻机的冷却头(21)与冷却皮肤接触并借由传热使冷却皮肤被冷却。

3. 外观设计

TWD172243S 真空處理裝置用冷卻板有权
简体标题：真空处理设备用冷却板
公开(公告)号：TWD172243S
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：TW103304830D01
申请日：2014-08-15
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
设计人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI

4. 发明专利

TW201802279A 搬送裝置审中-公开
简体标题：搬送设备
公开(公告)号：TW201802279A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106109375
申请日：2017-03-21
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI , 蛭間雅義 , HIRUMA, MASAYOSHI , 松崎淳介 , MATSUZAKI, JUNSUKE , 高橋明久 , TAKAHASHI, HIROHISA
IPC分类号： C23C14/56 , H01L21/203
摘要：提供一種能夠在真空氛圍之腔內而一面確實地冷卻被搬送物一面進行搬送的具有簡單的構成之冷卻構造之搬送裝置。係具備有：搬送帶(10)，係被捲掛在至少2個的輥(20)、(30)上，並於外表面上積載基板(S)而進行周回前進。將位置在各輥之間並相互朝向反方向而前進的搬送帶之部分中之被積載有被搬送物之其中一方的部份設為上帶部(Uv)，並將另外一方的部份設為下帶部(Dv)，並且將上帶部和下帶部所相互對向的方向設為上下方向，在上帶部之下面與下帶部之上下面的至少其中一面上，具備有與搬送帶之寬幅同等以上的長度之冷卻面板(40)，係於上下方向空出有特定間隔地而被作對向配置。該搬送裝置，係更進而具備有：冷卻手段(5)，係將冷卻面板冷卻；和氣體供給手段(70)，係對於藉由冷卻面板和搬送帶所區劃出之空間(60)而供給惰性氣體。
简体摘要：提供一种能够在真空氛围之腔内而一面确实地冷却被搬送物一面进行搬送的具有简单的构成之冷却构造之搬送设备。系具备有：搬送带(10)，系被卷挂在至少2个的辊(20)、(30)上，并于外表面上积载基板(S)而进行周回前进。将位置在各辊之间并相互朝向反方向而前进的搬送带之部分中之被积载有被搬送物之其中一方的部份设为上带部(Uv)，并将另外一方的部份设为下带部(Dv)，并且将上带部和下带部所相互对向的方向设为上下方向，在上带部之下面与下带部之上下面的至少其中一面上，具备有与搬送带之宽幅同等以上的长度之冷却皮肤(40)，系于上下方向空出有特定间隔地而被作对向配置。该搬送设备，系更进而具备有：冷却手段(5)，系将冷却皮肤冷却；和气体供给手段(70)，系对于借由冷却皮肤和搬送带所区划出之空间(60)而供给惰性气体。

5. 外观设计

TWD171770S 真空處理裝置用冷卻板有权
简体标题：真空处理设备用冷却板
公开(公告)号：TWD171770S
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：TW103304830
申请日：2014-08-15
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
设计人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI

6. 外观设计

TWD168830S 真空處理裝置用冷卻板有权
简体标题：真空处理设备用冷却板
公开(公告)号：TWD168830S
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：TW103304909
申请日：2014-08-20
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
设计人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI

7. 发明专利

TWI627353B 冷卻裝置有权
简体标题：冷却设备
公开(公告)号：TWI627353B
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：TW105131233
申请日：2016-09-29
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI
IPC分类号： F04B37/16 , F04B37/08

8. 发明专利

TW201728834A 冷卻裝置审中-公开
简体标题：冷却设备
公开(公告)号：TW201728834A
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：TW105131233
申请日：2016-09-29
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI
IPC分类号： F04B37/16 , F04B37/08
摘要：本發明提供一種能抑制收納有冷卻對象的空間中的排氣速度下降的冷卻裝置。冷卻裝置具備冷卻部和被冷卻部冷卻的冷卻體(12)。冷卻體(12)包括與冷卻部連接的第1面(12a)和第1面(12a)相反側的第2面(12b)。冷卻體(12)進一步包括使氣體在第1面(12a)與第2面(12b)之間流動的通道(21s)。
简体摘要：本发明提供一种能抑制收纳有冷却对象的空间中的排气速度下降的冷却设备。冷却设备具备冷却部和被冷却部冷却的冷却体(12)。冷却体(12)包括与冷却部连接的第1面(12a)和第1面(12a)相反侧的第2面(12b)。冷却体(12)进一步包括使气体在第1面(12a)与第2面(12b)之间流动的信道(21s)。

9. 发明专利

TWI636186B 冷卻裝置有权
简体标题：冷却设备
公开(公告)号：TWI636186B
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：TW105131236
申请日：2016-09-29
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI
IPC分类号： F04B37/08

10. 发明专利

TWI421411B 真空排氣裝置、真空處理裝置及真空處理方法有权
简体标题：真空排气设备、真空处理设备及真空处理方法
公开(公告)号：TWI421411B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：TW098138638
申请日：2009-11-13
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS NC. , 愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：小室拓 , KOMURO, TAKU , 增田行男 , MASUDA, YUKIO , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI , 齋藤一也 , SAITO, KAZUYA , 大園修司 , OSONO, SHUJI , 淺利伸 , ASARI, SHIN
IPC分类号： F04B23/04
CPC分类号： F04B37/08 , F04B37/18

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式