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1. 发明专利

TWI664694B 保持裝置有权
简体标题：保持设备
公开(公告)号：TWI664694B
公开(公告)日：2019-07-01
申请号：TW106119121
申请日：2017-06-08
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC. , 日商愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
发明人：田代征仁 , TASHIRO, YUKIHITO , 伊東潤一 , ITOH, JUNICHI , 福本英範 , FUKUMOTO, HIDENORI , 日高康祐 , HIDAKA, KOSUKE , 寺島充級 , TERASHIMA, MITSUKI
IPC分类号： H01L21/683 , C23C14/34

2. 发明专利

TWI627353B 冷卻裝置有权
简体标题：冷却设备
公开(公告)号：TWI627353B
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：TW105131233
申请日：2016-09-29
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI
IPC分类号： F04B37/16 , F04B37/08

3. 发明专利

TW201712224A 低溫阱审中-公开
简体标题：低温阱
公开(公告)号：TW201712224A
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW105121009
申请日：2016-07-01
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI
IPC分类号： F04B37/08 , F26B5/06
摘要：本發明之低溫阱係於連接於被脫氣空間即腔室之殼體內使已藉由機械式冷凍機冷卻之低溫板件自殼體壁隔離而設置者，將上述低溫板件之板面以朝向上述腔室內之脫氣對象之方式設置，且具備設置於上述板面之前方之孔口板。
简体摘要：本发明之低温阱系于连接于被脱气空间即腔室之壳体内使已借由机械式冷冻机冷却之低温板件自壳体壁隔离而设置者，将上述低温板件之板面以朝向上述腔室内之脱气对象之方式设置，且具备设置于上述板面之前方之孔口板。

4. 发明专利

TW201802419A 無菌液化氣體製造裝置审中-公开
简体标题：无菌液化气体制造设备
公开(公告)号：TW201802419A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106120114
申请日：2017-06-16
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC. , 愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：吉元剛 , YOSHIMOTO, TSUYOSHI , 大日向陽一 , OOHINATA, YOUICHI , 木下貴夫 , KINOSHITA, TAKAO , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI , 鈴木直人 , SUZUKI, NAOTO , 蛭間雅義 , HIRUMA, MASAYOSHI , 高崎信次 , TAKASAKI, SHINJI
IPC分类号： F25J1/00 , A61L2/04 , F17C5/02 , B65B31/04
CPC分类号： A61L2/07 , F17C5/02
摘要：本發明之無菌液化氣體製造裝置包含：液化氣體貯存罐；原料氣體供給裝置，其對上述液化氣體貯存罐供給原料氣體；冷卻裝置，其將上述液化氣體貯存罐內冷卻並使上述原料氣體液化；供給配管，其將上述原料氣體供給裝置與上述液化氣體貯存罐連接；滅菌過濾器，其係設置於上述供給配管；滅菌裝置，其藉由高溫飽和水蒸氣而將位於較上述滅菌過濾器更靠下游部分之滅菌區域進行加熱滅菌；及乾燥裝置，其將因上述加熱滅菌所產生之水分去除而使上述滅菌區域乾燥。
简体摘要：本发明之无菌液化气体制造设备包含：液化气体贮存罐；原料气体供给设备，其对上述液化气体贮存罐供给原料气体；冷却设备，其将上述液化气体贮存罐内冷却并使上述原料气体液化；供给配管，其将上述原料气体供给设备与上述液化气体贮存罐连接；灭菌过滤器，其系设置于上述供给配管；灭菌设备，其借由高温饱和水蒸气而将位于较上述灭菌过滤器更靠下游部分之灭菌区域进行加热灭菌；及干燥设备，其将因上述加热灭菌所产生之水分去除而使上述灭菌区域干燥。

5. 发明专利

TW201802279A 搬送裝置审中-公开
简体标题：搬送设备
公开(公告)号：TW201802279A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106109375
申请日：2017-03-21
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI , 蛭間雅義 , HIRUMA, MASAYOSHI , 松崎淳介 , MATSUZAKI, JUNSUKE , 高橋明久 , TAKAHASHI, HIROHISA
IPC分类号： C23C14/56 , H01L21/203
摘要：提供一種能夠在真空氛圍之腔內而一面確實地冷卻被搬送物一面進行搬送的具有簡單的構成之冷卻構造之搬送裝置。係具備有：搬送帶(10)，係被捲掛在至少2個的輥(20)、(30)上，並於外表面上積載基板(S)而進行周回前進。將位置在各輥之間並相互朝向反方向而前進的搬送帶之部分中之被積載有被搬送物之其中一方的部份設為上帶部(Uv)，並將另外一方的部份設為下帶部(Dv)，並且將上帶部和下帶部所相互對向的方向設為上下方向，在上帶部之下面與下帶部之上下面的至少其中一面上，具備有與搬送帶之寬幅同等以上的長度之冷卻面板(40)，係於上下方向空出有特定間隔地而被作對向配置。該搬送裝置，係更進而具備有：冷卻手段(5)，係將冷卻面板冷卻；和氣體供給手段(70)，係對於藉由冷卻面板和搬送帶所區劃出之空間(60)而供給惰性氣體。
简体摘要：提供一种能够在真空氛围之腔内而一面确实地冷却被搬送物一面进行搬送的具有简单的构成之冷却构造之搬送设备。系具备有：搬送带(10)，系被卷挂在至少2个的辊(20)、(30)上，并于外表面上积载基板(S)而进行周回前进。将位置在各辊之间并相互朝向反方向而前进的搬送带之部分中之被积载有被搬送物之其中一方的部份设为上带部(Uv)，并将另外一方的部份设为下带部(Dv)，并且将上带部和下带部所相互对向的方向设为上下方向，在上带部之下面与下带部之上下面的至少其中一面上，具备有与搬送带之宽幅同等以上的长度之冷却皮肤(40)，系于上下方向空出有特定间隔地而被作对向配置。该搬送设备，系更进而具备有：冷却手段(5)，系将冷却皮肤冷却；和气体供给手段(70)，系对于借由冷却皮肤和搬送带所区划出之空间(60)而供给惰性气体。

6. 发明专利

TW201716692A 冷卻裝置审中-公开
简体标题：冷却设备
公开(公告)号：TW201716692A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：TW105131236
申请日：2016-09-29
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI
IPC分类号： F04B37/08
摘要：本發明提供一種能抑制冷卻效率的下降的冷卻裝置。冷卻裝置(10)具備：冷卻部件(11)，其包括吸熱面(11a)和凝結面(11b)；以及冷卻部(12)，其與凝結面(11b)連接。冷卻部件(11)包括第1部分和熱阻比第1部分高的第2部分，在冷卻部件(11)中，在從凝結面(11b)朝向吸熱面(11a)的方向上排列第1部分和第2部分。
简体摘要：本发明提供一种能抑制冷却效率的下降的冷却设备。冷却设备(10)具备：冷却部件(11)，其包括吸热面(11a)和凝结面(11b)；以及冷却部(12)，其与凝结面(11b)连接。冷却部件(11)包括第1部分和热阻比第1部分高的第2部分，在冷却部件(11)中，在从凝结面(11b)朝向吸热面(11a)的方向上排列第1部分和第2部分。

7. 外观设计

TWD171770S 真空處理裝置用冷卻板有权
简体标题：真空处理设备用冷却板
公开(公告)号：TWD171770S
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：TW103304830
申请日：2014-08-15
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
设计人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI

8. 外观设计

TWD168830S 真空處理裝置用冷卻板有权
简体标题：真空处理设备用冷却板
公开(公告)号：TWD168830S
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：TW103304909
申请日：2014-08-20
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
设计人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 降矢新治 , FURUYA, SHINJI

9. 发明专利

TWI618856B 低溫阱有权
简体标题：低温阱
公开(公告)号：TWI618856B
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：TW105119453
申请日：2016-06-21
申请人：愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
发明人：安田淳一 , YASUDA, JUNICHI , 村山吉信 , MURAYAMA, YOSHINOBU , 森本秀敏 , MORIMOTO, HIDETOSHI
IPC分类号： F04B37/08 , F26B5/06

10. 发明专利

TW201810518A 保持裝置审中-公开
简体标题：保持设备
公开(公告)号：TW201810518A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106119121
申请日：2017-06-08
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC. , 日商愛發科低溫泵股份有限公司 , ULVAC CRYOGENICS INC.
发明人：田代征仁 , TASHIRO, YUKIHITO , 伊東潤一 , ITOH, JUNICHI , 福本英範 , FUKUMOTO, HIDENORI , 日高康祐 , HIDAKA, KOSUKE , 寺島充級 , TERASHIMA, MITSUKI
IPC分类号： H01L21/683 , C23C14/34
CPC分类号： H01L21/683
摘要：提供一種在真空腔內一面將被處理物冷卻至極低溫一面可自由旋轉地作保持之保持裝置。在真空腔(1)內而一面冷卻被處理物(W)一面可自由旋轉地作保持之保持裝置(HS)，係具備有被設置有被處理物之平台(1)、和將平台可自由旋轉地作支持之旋轉驅動手段(2)、以及冷卻平台之冷卻手段(3)。以被設置有被處理物之平台面側作為上方，旋轉驅動手段，係具備有在真空腔之壁面處隔著真空密封構件(22)而被作貫通裝設之筒狀之旋轉軸體(21)、和以在平台下方區劃出空間(24)的方式而將旋轉軸體之上端部和平台之下面作連結之連結構件(23)、以及將旋轉軸體作旋轉驅動之驅動馬達(25)，冷卻手段，係具備有在平台下方之空間中而與平台下面間存在有空隙地來作對向配置之冷卻面板(31)、和被內插於旋轉軸體中並與冷卻面板之下面作抵接之導熱軸體(32)、以及將導熱軸體冷卻之冷凍機(33)。
简体摘要：提供一种在真空腔内一面将被处理物冷却至极低温一面可自由旋转地作保持之保持设备。在真空腔(1)内而一面冷却被处理物(W)一面可自由旋转地作保持之保持设备(HS)，系具备有被设置有被处理物之平台(1)、和将平台可自由旋转地作支持之旋转驱动手段(2)、以及冷却平台之冷却手段(3)。以被设置有被处理物之平台面侧作为上方，旋转驱动手段，系具备有在真空腔之壁面处隔着真空密封构件(22)而被作贯通装设之筒状之旋转轴体(21)、和以在平台下方区划出空间(24)的方式而将旋转轴体之上端部和平台之下面作链接之链接构件(23)、以及将旋转轴体作旋转驱动之驱动马达(25)，冷却手段，系具备有在平台下方之空间中而与平台下面间存在有空隙地来作对向配置之冷却皮肤(31)、和被内插于旋转轴体中并与冷却皮肤之下面作抵接之导热轴体(32)、以及将导热轴体冷却之冷冻机(33)。

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