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1. 发明专利

TW541607B 微影術程序用雷射頻譜工程技術有权
简体标题：微影术进程用激光频谱工程技术
公开(公告)号：TW541607B
公开(公告)日：2003-07-11
申请号：TW091108726
申请日：2002-04-26
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：阿爾曼克羅言 , 伊凡拉羅維克 , 伊格爾V 弗曼可夫 , 帕拉許P 達斯 , 理察L 珊德史壯 , 約翰M 歐格特斯 , 克胡爾席德阿曼德
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70333 , G03F7/70575 , G03F7/70933 , H01S3/02 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0385 , H01S3/0404 , H01S3/041 , H01S3/08009 , H01S3/08036 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/0975 , H01S3/1024 , H01S3/104 , H01S3/105 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/1305 , H01S3/134 , H01S3/139 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256 , H01S3/2258 , H01S3/2308
摘要：本發明提供一種電子放電雷射之頻寬控制的積體電路微顯術技術，其為本案申請人稱之為頻譜工程。在一較佳程序中，一電腦模式被使用在模型化微顯術參數來決定需要用來產生一所需的微影術結果之一所需雷射頻譜。一快速響應調整機構而後被使用來調整在一脈衝串的脈衝中的雷射脈衝之中心波長，以使該脈衝串之脈衝之一整合頻譜可以達到接近所需要的雷射頻譜。該雷射光束頻寬被控制來產生具有至少二頻譜尖峰之一有效光束頻譜，以在光阻膜上產生改善的圖案解析度。線窄化設備提供具有至少一壓電驅動器及一具有小於約2.0微秒之響應時間之快速頻寬偵測控制系統。在一較佳實施例中，一波長調整鏡與該雷射之重複率同相被振動在超過每秒500次振動之高頻振動率。在一範例中，該壓電驅動器被以一方波信號驅動，及在一第二範例中，其被以一正弦波驅動。在另一實施例中，該最大移位以該雷射脈衝被匹配在一對一基礎上，以產生對於一連續雷射脈衝具有二尖峰之一所需的平均脈衝。其他的實施例利用三個分離波長調整位置產生具有三分離尖峰之一頻譜。
简体摘要：本发明提供一种电子放电激光之带宽控制的集成电路微显术技术，其为本案申请人称之为频谱工程。在一较佳进程中，一电脑模式被使用在模型化微显术参数来决定需要用来产生一所需的微影术结果之一所需激光频谱。一快速响应调整机构而后被使用来调整在一脉冲串的脉冲中的激光脉冲之中心波长，以使该脉冲串之脉冲之一集成频谱可以达到接近所需要的激光频谱。该激光光束带宽被控制来产生具有至少二频谱尖峰之一有效光束频谱，以在光阻膜上产生改善的图案分辨率。线窄化设备提供具有至少一压电驱动器及一具有小于约2.0微秒之响应时间之快速带宽侦测控制系统。在一较佳实施例中，一波长调整镜与该激光之重复率同相被振动在超过每秒500次振动之高频振动率。在一范例中，该压电驱动器被以一方波信号驱动，及在一第二范例中，其被以一正弦波驱动。在另一实施例中，该最大移位以该激光脉冲被匹配在一对一基础上，以产生对于一连续激光脉冲具有二尖峰之一所需的平均脉冲。其他的实施例利用三个分离波长调整位置产生具有三分离尖峰之一频谱。

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