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1. 发明专利

TW200628765A 光電式編碼器审中-公开
简体标题：光电式编码器
公开(公告)号：TW200628765A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：TW094144070
申请日：2005-12-13
申请人：尼康股份有限公司 NIKON CORPORATION , 仙台尼康股份有限公司 SENDAI NIKON CORPORATION
发明人：今井亨
IPC分类号： G01D
摘要：本發明之光電式編碼器具備有：照明光源11；移動格子15，可在與格子線交叉方向移位；指標格子13，係移動格子15之移位基準；受光元件16，接收經由該移動格子15以及該指標格子13之該照明光；調變裝置17，係使從該指標格子13射出之光產生周期性改變；以及移位檢測裝置22、23，根據該受光元件16接收之該照明光強度之經時變化，檢測出該移動格子之移位。藉此，即使格子產生姿勢改變，亦可正確產生表示移動體之移位之訊號。
简体摘要：本发明之光电式编码器具备有：照明光源11；移动格子15，可在与格子线交叉方向移位；指针格子13，系移动格子15之移位基准；受光组件16，接收经由该移动格子15以及该指针格子13之该照明光；调制设备17，系使从该指针格子13射出之光产生周期性改变；以及移位检测设备22、23，根据该受光组件16接收之该照明光强度之经时变化，检测出该移动格子之移位。借此，即使格子产生姿势改变，亦可正确产生表示移动体之移位之信号。

2. 发明专利

TWI463115B 編碼器有权
简体标题：编码器
公开(公告)号：TWI463115B
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：TW097138025
申请日：2008-10-03
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：牧野內進 , MAKINOUCHI, SUSUMU , 今井亨 , IMAI, TORU , 渡邉昭宏 , WATANABE, AKIHIRO
IPC分类号： G01D5/347
CPC分类号： G01D5/38 , G02B26/0808

3. 发明专利

TWI463116B 編碼器有权
简体标题：编码器
公开(公告)号：TWI463116B
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：TW098145222
申请日：2009-12-28
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：牧野內進 , MAKINOUCHI, SUSUMU , 渡邊昭宏 , WATANABE, AKIHIRO , 今井亨 , IMAI, TORU
IPC分类号： G01D5/38
CPC分类号： G01D5/38 , G01D5/34746

4. 发明专利

TWI425318B 移動體裝置、曝光裝置和曝光方法以及元件製造方法有权
简体标题：移动体设备、曝光设备和曝光方法以及组件制造方法
公开(公告)号：TWI425318B
公开(公告)日：2014-02-01
申请号：TW096120954
申请日：2007-06-11
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：牧野內進 , MAKINOUCHI, SUSUMU , 今井亨 , IMAI, TORU , 渡邉昭宏 , WATANABE, AKIHIRO
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G01D5/38 , G01D5/266 , G03F7/70716 , G03F7/70775

5. 发明专利

TWI394934B 光電式編碼器有权
简体标题：光电式编码器
公开(公告)号：TWI394934B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：TW094144070
申请日：2005-12-13
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：今井亨 , IMAI, TORU
IPC分类号： G01D5/347

6. 发明专利

TW201030322A 編碼器审中-公开
简体标题：编码器
公开(公告)号：TW201030322A
公开(公告)日：2010-08-16
申请号：TW098145222
申请日：2009-12-28
申请人：尼康股份有限公司
发明人：牧野內進 , 渡邊昭宏 , 今井亨
IPC分类号： G01D
CPC分类号： G01D5/38 , G01D5/34746
摘要：編碼器，其具備：光調變部，用以調變從光源射出之光之至少一部分；移動構件，具有光中之複數個光線射入之入射面，可於至少一方向相對移動；以及至少二個受光部，分別接受在移動構件上之至少二個區域產生之干涉條紋；以隨著光調變部進行之調變使至少二個干涉條紋在移動構件上彼此移動於相反方向之方式，使光射入移動構件。
简体摘要：编码器，其具备：光调制部，用以调制从光源射出之光之至少一部分；移动构件，具有光中之复数个光线射入之入射面，可于至少一方向相对移动；以及至少二个受光部，分别接受在移动构件上之至少二个区域产生之干涉条纹；以随着光调制部进行之调制使至少二个干涉条纹在移动构件上彼此移动于相反方向之方式，使光射入移动构件。

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