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1. 发明专利

TWI493151B 位置偵測裝置有权
简体标题：位置侦测设备
公开(公告)号：TWI493151B
公开(公告)日：2015-07-21
申请号：TW100120705
申请日：2011-06-14
申请人：德馬吉森精機股份有限公司 , DMG MORI SEIKI CO., LTD.
发明人：黑田明博 , KURODA, AKIHIRO
IPC分类号： G01B11/00 , G01D5/38
CPC分类号： G01D5/38 , G01D5/34746

2. 发明专利

TW201219741A 位置偵測裝置 POSITION DETECTION DEVICE 审中-公开
简体标题：位置侦测设备 POSITION DETECTION DEVICE
公开(公告)号：TW201219741A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：TW100120705
申请日：2011-06-14
申请人：森精機製作所股份有限公司
发明人：黑田明博
IPC分类号： G01B , G01D
CPC分类号： G01D5/38 , G01D5/34746
摘要： [課題]抑制2次以上之繞射光及迷光之發生，謀求改善位置偵測訊號的S/N比並提升偵測精度。[解決手段]令被折射率n之保護層(12)覆蓋著光柵面(11a)的繞射光柵(11)之狹縫為d、所照射之可干涉光的真空中之波長為λ0時，令d＜2λ0/n，將可干涉光對上記繞射光柵(11)之入射角θ0設定成滿足下式的角度：∣sinθ0∣＜(2λ0/dn)-1 並將1次繞射光使用於位置偵測。
简体摘要： [课题]抑制2次以上之绕射光及迷光之发生，谋求改善位置侦测信号的S/N比并提升侦测精度。[解决手段]令被折射率n之保护层(12)覆盖着光栅面(11a)的绕射光栅(11)之狭缝为d、所照射之可干涉光的真空中之波长为λ0时，令d＜2λ0/n，将可干涉光对上记绕射光栅(11)之入射角θ0设置成满足下式的角度：∣sinθ0∣＜(2λ0/dn)-1 并将1次绕射光使用于位置侦测。

3. 发明专利

TW200700698A 編碼裝置审中-公开
简体标题：编码设备
公开(公告)号：TW200700698A
公开(公告)日：2007-01-01
申请号：TW095106995
申请日：2006-03-02
申请人：三美電機股份有限公司 MITSUMI ELECTRIC CO., LTD.
发明人：三野宮秀亮 , 直純 , 木村優子 YUKO KIMURA , 田中潤一郎
IPC分类号： G01D
CPC分类号： G01D5/34746 , G01D5/34707 , G01D5/34715
摘要：本發明之目的在於提供一種能降低檢測訊號的上升及下降的跳動的編碼裝置。本發明之編碼裝置具備有:X方向長度X1之菱形之第1-第4光二極體22a-22d,以通過菱形的相對向的一對頂點的直線與X軸平行的方式於X方向相鄰設置;能移動於X方向之狹縫構件21,係反覆設有X方向長度2�X1的透光部與遮光部;以及邏輯電路23、25,根據接收透過上述透光部的光後的上述第1-第4光二極體的輸出訊號,而產生第1檢測訊號與第2檢測訊號(相對於上述第1檢測訊號相位偏移1/4周期)。
简体摘要：本发明之目的在于提供一种能降低检测信号的上升及下降的跳动的编码设备。本发明之编码设备具备有:X方向长度X1之菱形之第1-第4光二极管22a-22d,以通过菱形的相对向的一对顶点的直线与X轴平行的方式于X方向相邻设置;能移动于X方向之狭缝构件21,系反复设有X方向长度2�X1的透光部与遮光部;以及逻辑电路23、25,根据接收透过上述透光部的光后的上述第1-第4光二极管的输出信号,而产生第1检测信号与第2检测信号(相对于上述第1检测信号相位偏移1/4周期)。

4. 发明专利

TWI436168B 曝光裝置及曝光方法、以及元件製造方法有权
简体标题：曝光设备及曝光方法、以及组件制造方法
公开(公告)号：TWI436168B
公开(公告)日：2014-05-01
申请号：TW097150792
申请日：2008-12-26
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：柴崎祐一 , SHIBAZAKI, YUICHI
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , G01B11/00
CPC分类号： G01B11/00 , G01B11/14 , G01D5/34715 , G01D5/34746 , G03F7/70775 , G03F7/70833

5. 发明专利

TW201018883A 編碼器审中-公开
简体标题：编码器
公开(公告)号：TW201018883A
公开(公告)日：2010-05-16
申请号：TW098135703
申请日：2009-10-22
申请人：尼康股份有限公司
发明人：牧野內進 , 渡邊昭宏
IPC分类号： G01D
CPC分类号： G01D5/38 , G01D5/34746
摘要：編碼器，從光源部(11)射出調變光，使從該調變光分離之第1光(L1)及第2光(L2)在移動光柵(14)干涉。編碼器中，從光源部(11)射出之光被電氣調變，第1光L1之光路長與第2光L2之光路長相異。
简体摘要：编码器，从光源部(11)射出调制光，使从该调制光分离之第1光(L1)及第2光(L2)在移动光栅(14)干涉。编码器中，从光源部(11)射出之光被电气调制，第1光L1之光路长与第2光L2之光路长相异。

6. 发明专利

TW200907823A 具有電容力感應器之感應裝置 SENSING DEVICE HAVING CAPACITIVE FORCE SENSOR 审中-公开
简体标题：具有电容力感应器之感应设备 SENSING DEVICE HAVING CAPACITIVE FORCE SENSOR
公开(公告)号：TW200907823A
公开(公告)日：2009-02-16
申请号：TW097113064
申请日：2008-04-10
申请人：銀川研究私人股份有限公司 SILVERBROOK RESEARCH PTY LTD
发明人：蓋瑞希普頓 SHIPTON, GARY
IPC分类号： G06K
CPC分类号： G01L1/144 , G01D5/3473 , G01D5/34746 , G01L1/146 , G06F3/03545 , G06F3/0383
摘要：提供一種感應器裝置以便與一基底互動。該感應裝置具有一力感應器,用以檢測該感應裝置是否與該基底互動、及一影像感應器,用以感應該基底上所配置之編碼資料。該力感應器具有一電容感應器電路,該電容感應器電路係結合一具有可變電容値Csen之感應器電容,其被配置以致該電容感應器電路之輸出係正比於1/Csen。
简体摘要：提供一种感应器设备以便与一基底交互。该感应设备具有一力感应器,用以检测该感应设备是否与该基底交互、及一影像感应器,用以感应该基底上所配置之编码数据。该力感应器具有一电容感应器电路,该电容感应器电路系结合一具有可变电容値Csen之感应器电容,其被配置以致该电容感应器电路之输出系正比于1/Csen。

7. 发明专利

TW200702635A 編碼裝置审中-公开
简体标题：编码设备
公开(公告)号：TW200702635A
公开(公告)日：2007-01-16
申请号：TW095107005
申请日：2006-03-02
申请人：三美電機股份有限公司 MITSUMI ELECTRIC CO., LTD.
发明人：三野宮秀亮 , 直純 , 田中潤一郎
IPC分类号： G01D
CPC分类号： G01D5/34746 , G01D5/36
摘要：本發明之目的在於提供一種能提高解析度之編碼裝置。本發明之編碼裝置具備有:X方向長度X1之第1-第4光二極體22a-22d,係於X方向相鄰設置;X方向長度X1之第5-第8光二極體22e-22h,以在X方向移位X1/2之狀態下與該第1-第4光二極體在與X方向正交之Y方向相鄰,且於X方向相鄰設置;能移動於X方向之狹縫構件21,係反覆設有X方向長度2�X1的透光部21a與遮光部21b;以及邏輯電路23-29,根據接收透過該透光部的光後的該第1-第4光二極體的輸出訊號,而產生第1檢測訊號,且根據接收透過該透光部的光後的該第5-第8光二極體的輸出訊號,而產生第2檢測訊號(相對於該第1檢測訊號相位偏移1/4周期)。
简体摘要：本发明之目的在于提供一种能提高分辨率之编码设备。本发明之编码设备具备有:X方向长度X1之第1-第4光二极管22a-22d,系于X方向相邻设置;X方向长度X1之第5-第8光二极管22e-22h,以在X方向移位X1/2之状态下与该第1-第4光二极管在与X方向正交之Y方向相邻,且于X方向相邻设置;能移动于X方向之狭缝构件21,系反复设有X方向长度2�X1的透光部21a与遮光部21b;以及逻辑电路23-29,根据接收透过该透光部的光后的该第1-第4光二极管的输出信号,而产生第1检测信号,且根据接收透过该透光部的光后的该第5-第8光二极管的输出信号,而产生第2检测信号(相对于该第1检测信号相位偏移1/4周期)。

8. 发明专利

TWI570390B 角度及軸向位置感測器裝置及其電子錶、判定編碼構件角度位置及軸向位置的方法及其電腦可讀取媒介有权
简体标题：角度及轴向位置传感器设备及其电子表、判定编码构件角度位置及轴向位置的方法及其电脑可读取媒介
公开(公告)号：TWI570390B
公开(公告)日：2017-02-11
申请号：TW103142844
申请日：2014-12-09
申请人：史華曲集團研發有限公司 , THE SWATCH GROUP RESEARCH AND DEVELOPMENT LTD.
发明人：胡佛大衛 , HOOVER, DAVID , 費里雅凡 , FERRI, YVAN
IPC分类号： G01D5/245 , G04C3/00
CPC分类号： G04C3/007 , G01D5/245 , G01D5/3473 , G01D5/34746 , G04B27/02 , G04C3/004

9. 发明专利

TWI437373B 載台裝置、圖案形成裝置、曝光裝置、載台驅動方法、曝光方法、以及元件製造方法有权
简体标题：载台设备、图案形成设备、曝光设备、载台驱动方法、曝光方法、以及组件制造方法
公开(公告)号：TWI437373B
公开(公告)日：2014-05-11
申请号：TW098114316
申请日：2009-04-30
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：柴崎祐一 , SHIBAZAKI, YUICHI
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G01D5/38 , G01B11/03 , G01D5/34746 , G03F7/70775

10. 发明专利

TW200947140A 位置測量系統及位置測量方法、移動體裝置、移動體驅動方法、曝光裝置及曝光方法、圖案形成裝置、以及元件製造方法审中-公开
简体标题：位置测量系统及位置测量方法、移动体设备、移动体驱动方法、曝光设备及曝光方法、图案形成设备、以及组件制造方法
公开(公告)号：TW200947140A
公开(公告)日：2009-11-16
申请号：TW098103995
申请日：2009-02-09
申请人：尼康股份有限公司
发明人：牧野內進
IPC分类号： G03F , G01D
CPC分类号： G01D5/34746 , G01D5/38 , G03F7/70725 , G03F7/70775 , G03F7/7085
摘要：本發明之位置測量系統，係於載台下面固定有設置移動光柵(34Y﹐34X﹐36Y﹐36X)之反射鏡區塊(30)。於與載台下面相對向之載台座上面，配置有固定光柵(38Y1﹐38Y2﹐38X)。包含移動光柵(34Y﹐36Y)及固定光柵(38Y1﹐38Y2)，而構成用以測量載台之Y位置資訊的Y編碼器(20Y1﹐20Y2)。同樣地，包含移動光柵(34X﹐36X)及固定光柵(38X)，而構成用以測量載台之X位置資訊的X編碼器(20X)。
简体摘要：本发明之位置测量系统，系于载台下面固定有设置移动光栅(34Y﹐34X﹐36Y﹐36X)之反射镜区块(30)。于与载台下面相对向之载台座上面，配置有固定光栅(38Y1﹐38Y2﹐38X)。包含移动光栅(34Y﹐36Y)及固定光栅(38Y1﹐38Y2)，而构成用以测量载台之Y位置信息的Y编码器(20Y1﹐20Y2)。同样地，包含移动光栅(34X﹐36X)及固定光栅(38X)，而构成用以测量载台之X位置信息的X编码器(20X)。

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