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1. 发明专利

TW200413874A 簇團化流體的流量控制方法及使用於此方法的簇團化流體用的流量控制裝置审中-公开
简体标题：簇团化流体的流量控制方法及使用于此方法的簇团化流体用的流量控制设备
公开(公告)号：TW200413874A
公开(公告)日：2004-08-01
申请号：TW093101251
申请日：2004-01-16
申请人：富士金股份有限公司 FIJIKIN INCORPORATED , 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED , 大見忠弘 OHMI, TADAHIRO
发明人：大見忠弘 OHMI, TADAHIRO , 杉山一彥 SUGIYAMA, KAZUHIKO , 水澤兼悦 MIZUSAWA, KENETU , 高橋榮治 TAKAHASHI, EIJI , 宇野富雄 UNO, TOMIO , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 DOHI, RYOUSUKE , 池田信一 IKEDA, NOBUKAZU , 永瀨正明 NAGASE, MASAAKI
IPC分类号： G05D , G01F
CPC分类号： H01L21/67023 , G05D7/0635 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606 , Y10T137/7761
摘要：本發明是使用壓力式流量控制裝置，於3～300SCCM程度的流量範圍，以高精度地流量控制供給至真空室等的HF氣體等之簇團化流體。具體而言，針對在將孔隙上游側的壓力P1與孔隙下游側的壓力P2之比P2／P1保持於氣體的臨界壓力以下的狀態，將通過孔隙的氣體的流量Q作為Q＝KP1(其中K為定數)來進行運算之使用流量控制裝置的簇團化流體的流量控制方法，藉由將前述壓力式流量控制裝置加溫至40℃以上的溫度、或在簇團化流體加上稀釋氣體作成分壓以下，來使分子的締結解離，然後使作成單分子狀態的簇團化流體通過前述孔隙來加以流通。
简体摘要：本发明是使用压力式流量控制设备，于3～300SCCM程度的流量范围，以高精度地流量控制供给至真空室等的HF气体等之簇团化流体。具体而言，针对在将孔隙上游侧的压力P1与孔隙下游侧的压力P2之比P2／P1保持于气体的临界压力以下的状态，将通过孔隙的气体的流量Q作为Q＝KP1(其中K为定数)来进行运算之使用流量控制设备的簇团化流体的流量控制方法，借由将前述压力式流量控制设备加温至40℃以上的温度、或在簇团化流体加上稀释气体作成分压以下，来使分子的缔结解离，然后使作成单分子状态的簇团化流体通过前述孔隙来加以流通。

2. 发明专利

TW200533857A 流體通路的無水錘開放方法及使用無水錘開放方法的藥液供給方法,以及無水錘開放裝置审中-公开
简体标题：流体通路的无水锤开放方法及使用无水锤开放方法的药液供给方法,以及无水锤开放设备
公开(公告)号：TW200533857A
公开(公告)日：2005-10-16
申请号：TW093139175
申请日：2004-12-16
申请人：富士金股份有限公司 FIJIKIN INCORPORATED , 大見忠弘 OHMI, TADAHIRO
发明人：大見忠弘 OHMI, TADAHIRO , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 永瀨正明 NAGASE, MASAAKI , 土肥亮介 DOHI, RYOUSUKE , 池田信一 IKEDA, NOBUKAZU , 西村龍太郎
IPC分类号： F16L , F16K
CPC分类号： F16K47/02 , Y10T137/0324 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762 , Y10T137/7842 , Y10T137/86389 , Y10T137/86397 , Y10T137/86461
摘要：本發明係關於一種流體通路的無水錘開放方法及使用無水錘開放方法的藥液供應方法，以及無水錘開放裝置；也就是說，本發明係可以藉由極為簡單之裝置或操作，而不產生水錘，並且，能夠在短時間內，急速開放流體通路。構成由以下所組成之無水錘開放裝置：致動器作動式閥，係介設於流體通路；電動氣動轉換裝置，供應二階段狀的致動器作動壓Pa至致動器作動式閥；振動感測器，係可自由裝卸地固接於前述致動器作動式閥之上游側管路；以及，調諧箱，輸入藉由振動感測器所檢測之振動檢測訊號Pr，同時，輸出控制前述二階段狀的致動器作動壓Pa之階段作動壓Ps'的大小之控制訊號Sc至電動氣動轉換裝置，藉由該控制訊號Sc之調整，而由電動氣動轉換裝置，輸出振動檢測訊號Pr幾乎成為零之階段作動壓Ps'之二階段狀的致動器作動壓Pa。
简体摘要：本发明系关于一种流体通路的无水锤开放方法及使用无水锤开放方法的药液供应方法，以及无水锤开放设备；也就是说，本发明系可以借由极为简单之设备或操作，而不产生水锤，并且，能够在短时间内，急速开放流体通路。构成由以下所组成之无水锤开放设备：致动器作动式阀，系介设于流体通路；电动气动转换设备，供应二阶段状的致动器作动压Pa至致动器作动式阀；振动传感器，系可自由装卸地固接于前述致动器作动式阀之上游侧管路；以及，调谐箱，输入借由振动传感器所检测之振动检测信号Pr，同时，输出控制前述二阶段状的致动器作动压Pa之阶段作动压Ps'的大小之控制信号Sc至电动气动转换设备，借由该控制信号Sc之调整，而由电动气动转换设备，输出振动检测信号Pr几乎成为零之阶段作动压Ps'之二阶段状的致动器作动压Pa。

3. 发明专利

TW200413660A 流體通路的閉鎖方法及無水錘閥裝置,以及無水錘閉鎖裝置审中-公开
简体标题：流体通路的闭锁方法及无水锤阀设备,以及无水锤闭锁设备
公开(公告)号：TW200413660A
公开(公告)日：2004-08-01
申请号：TW092135839
申请日：2003-12-17
申请人：富士金股份有限公司 FIJIKIN INCORPORATED , 大見忠弘 OHMI, TADAHIRO
发明人：大見忠弘 OHMI, TADAHIRO , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 永瀨正明 NAGASE, MASAAKI , 土肥亮介 DOHI, RYOUSUKE , 池田信一 NOBUKAZU IKEDA , 西村龍太郎
IPC分类号： G05D , F16K
摘要：本發明係關於一種流體通路的閉鎖方法及無水錘閥裝置，以及無水錘閉鎖裝置；也就是說，本發明係可以藉由極為簡單之裝置或操作而不產生水錘，並且，在短時間內，緊急地閉鎖流體通路。藉由以下而構成無水錘閉鎖裝置：介設於流體通路的調節器啟動式閥；對於調節器啟動式閥而供應2階段狀之調節器啟動壓Pa的電空轉換裝置；可自由裝卸地固合於前述調節器啟動式閥之上游側管路的振動感測器；以及，輸入藉由振動感測器所檢測之振動檢測訊號Pr同時對於電空轉換裝置來控制前述2階段狀之調節器啟動壓Pa之步進啟動壓Ps’大小之控制訊號Sc並且藉由該控制訊號Sc之調整而由電空轉換裝置來輸出使得振動檢測訊號Pr幾乎成為零之步進啟動壓Ps’之2階段狀之調節器啟動壓Pa的調諧箱。
简体摘要：本发明系关于一种流体通路的闭锁方法及无水锤阀设备，以及无水锤闭锁设备；也就是说，本发明系可以借由极为简单之设备或操作而不产生水锤，并且，在短时间内，紧急地闭锁流体通路。借由以下而构成无水锤闭锁设备：介设于流体通路的调节器启动式阀；对于调节器启动式阀而供应2阶段状之调节器启动压Pa的电空转换设备；可自由装卸地固合于前述调节器启动式阀之上游侧管路的振动传感器；以及，输入借由振动传感器所检测之振动检测信号Pr同时对于电空转换设备来控制前述2阶段状之调节器启动压Pa之步进启动压Ps’大小之控制信号Sc并且借由该控制信号Sc之调整而由电空转换设备来输出使得振动检测信号Pr几乎成为零之步进启动压Ps’之2阶段状之调节器启动压Pa的调谐箱。

4. 发明专利

TWI256535B 簇團化流體的流量控制方法及使用於此方法的簇團化流體用的流量控制裝置有权
简体标题：簇团化流体的流量控制方法及使用于此方法的簇团化流体用的流量控制设备
公开(公告)号：TWI256535B
公开(公告)日：2006-06-11
申请号：TW093101251
申请日：2004-01-16
申请人：富士金股份有限公司 FIJIKIN INCORPORATED , 大見忠弘 OHMI, TADAHIRO
发明人：大見忠弘 OHMI, TADAHIRO , 杉山一彥 SUGIYAMA, KAZUHIKO , 水澤兼悦 MIZUSAWA, KENETU , 高橋榮治 TAKAHASHI, EIJI , 宇野富雄 UNO, TOMIO , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 DOHI, RYOUSUKE , 池田信一 IKEDA, NOBUKAZU , 永瀨正明 NAGASE, MASAAKI
IPC分类号： G05D , G01F
CPC分类号： H01L21/67023 , G05D7/0635 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606 , Y10T137/7761
摘要：本發明是使用壓力式流量控制裝置，於3～300SCCM程度的流量範圍，以高精度地流量控制供給至真空室等的 HF氣體等之簇團化流體。
具體而言，針對在將孔隙上游側的壓力P1與孔隙下游側的壓力P2之比P2/P1保持於氣體的臨界壓力以下的狀態，將通過孔隙的氣體的流量Q作為Q=KP1(其中K為定數)來進行運算之使用流量控制裝置的簇團化流體的流量控制方法，
藉由將前述壓力式流量控制裝置加溫至40℃以上的溫度、或在簇團化流體加上稀釋氣體作成分壓以下，來使分子的締結解離，然後使作成單分子狀態的簇團化流體通過前述孔隙來加以流通。
简体摘要：本发明是使用压力式流量控制设备，于3～300SCCM程度的流量范围，以高精度地流量控制供给至真空室等的 HF气体等之簇团化流体。具体而言，针对在将孔隙上游侧的压力P1与孔隙下游侧的压力P2之比P2/P1保持于气体的临界压力以下的状态，将通过孔隙的气体的流量Q作为Q=KP1(其中K为定数)来进行运算之使用流量控制设备的簇团化流体的流量控制方法，借由将前述压力式流量控制设备加温至40℃以上的温度、或在簇团化流体加上稀释气体作成分压以下，来使分子的缔结解离，然后使作成单分子状态的簇团化流体通过前述孔隙来加以流通。

5. 发明专利

TWI228170B 流體通路的閉鎖方法及無水錘閥裝置,以及無水錘閉鎖裝置有权
简体标题：流体通路的闭锁方法及无水锤阀设备,以及无水锤闭锁设备
公开(公告)号：TWI228170B
公开(公告)日：2005-02-21
申请号：TW092135839
申请日：2003-12-17
申请人：富士金股份有限公司 FIJIKIN INCORPORATED , 大見忠弘 OHMI, TADAHIRO
发明人：大見忠弘 OHMI, TADAHIRO , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 永瀨正明 NAGASE, MASAAKI , 土肥亮介 DOHI, RYOUSUKE , 池田信一 NOBUKAZU IKEDA , 西村龍太郎
IPC分类号： G05D , F16K
摘要：本發明係關於一種流體通路的閉鎖方法及無水錘閥裝置，以及無水錘閉鎖裝置；也就是說，本發明係可以藉由極為簡單之裝置或操作而不產生水錘，並且，在短時間內，緊急地閉鎖流體通路。
藉由以下而構成無水錘閉鎖裝置：介設於流體通路的調節器啟動式閥；對於調節器啟動式閥而供應2階段狀之調節器啟動壓Pa的電空轉換裝置；可自由裝卸地固合於前述調節器啟動式閥之上游側管路的振動感測器；以及，輸入藉由振動感測器所檢測之振動檢測訊號Pr同時對於電空轉換裝置來控制前述2階段狀之調節器啟動壓Pa之步進啟動壓Ps’大小之控制訊號 Sc並且藉由該控制訊號 Sc之調整而由電空轉換裝置來輸出使得振動檢測訊號Pr幾乎成為零之步進啟動壓Ps’之2階段狀之調節器啟動壓 Pa的調諧箱。
简体摘要：本发明系关于一种流体通路的闭锁方法及无水锤阀设备，以及无水锤闭锁设备；也就是说，本发明系可以借由极为简单之设备或操作而不产生水锤，并且，在短时间内，紧急地闭锁流体通路。借由以下而构成无水锤闭锁设备：介设于流体通路的调节器启动式阀；对于调节器启动式阀而供应2阶段状之调节器启动压Pa的电空转换设备；可自由装卸地固合于前述调节器启动式阀之上游侧管路的振动传感器；以及，输入借由振动传感器所检测之振动检测信号Pr同时对于电空转换设备来控制前述2阶段状之调节器启动压Pa之步进启动压Ps’大小之控制信号 Sc并且借由该控制信号 Sc之调整而由电空转换设备来输出使得振动检测信号Pr几乎成为零之步进启动压Ps’之2阶段状之调节器启动压 Pa的调谐箱。

6. 发明专利

TWI270624B 流體通路的無水錘開放方法及使用無水錘開放方法的藥液供給方法,以及無水錘開放裝置有权
简体标题：流体通路的无水锤开放方法及使用无水锤开放方法的药液供给方法,以及无水锤开放设备
公开(公告)号：TWI270624B
公开(公告)日：2007-01-11
申请号：TW093139175
申请日：2004-12-16
申请人：富士金股份有限公司 FUJIKIN INCORPORATED , 大見忠弘 OHMI, TADAHIRO
发明人：大見忠弘 OHMI, TADAHIRO , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 永瀨正明 NAGASE, MASAAKI , 土肥亮介 DOHI, RYOUSUKE , 池田信一 IKEDA, NOBUKAZU , 西村龍太郎
IPC分类号： F16L , F16K
CPC分类号： F16K47/02 , Y10T137/0324 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762 , Y10T137/7842 , Y10T137/86389 , Y10T137/86397 , Y10T137/86461
摘要：本發明係關於一種流體通路的無水錘開放方法及使用無水錘開放方法的藥液供應方法，以及無水錘開放裝置；也就是說，本發明係可以藉由極為簡單之裝置或操作，而不產生水錘，並且，能夠在短時間內，急速開放流體通路。
構成由以下所組成之無水錘開放裝置：致動器作動式閥，係介設於流體通路；電動氣動轉換裝置，供應二階段狀的致動器作動壓Pa至致動器作動式閥；振動感測器，係可自由裝卸地固接於前述致動器作動式閥之上游側管路；以及，調諧箱，輸入藉由振動感測器所檢測之振動檢測訊號Pr，同時，輸出控制前述二階段狀的致動器作動壓Pa之階段作動壓Ps’的大小之控制訊號Sc至電動氣動轉換裝置，藉由該控制訊號Sc之調整，而由電動氣動轉換裝置，輸出振動檢測訊號Pr幾乎成為零之階段作動壓Ps’之二階段狀的致動器作動壓Pa。
简体摘要：本发明系关于一种流体通路的无水锤开放方法及使用无水锤开放方法的药液供应方法，以及无水锤开放设备；也就是说，本发明系可以借由极为简单之设备或操作，而不产生水锤，并且，能够在短时间内，急速开放流体通路。构成由以下所组成之无水锤开放设备：致动器作动式阀，系介设于流体通路；电动气动转换设备，供应二阶段状的致动器作动压Pa至致动器作动式阀；振动传感器，系可自由装卸地固接于前述致动器作动式阀之上游侧管路；以及，调谐箱，输入借由振动传感器所检测之振动检测信号Pr，同时，输出控制前述二阶段状的致动器作动压Pa之阶段作动压Ps’的大小之控制信号Sc至电动气动转换设备，借由该控制信号Sc之调整，而由电动气动转换设备，输出振动检测信号Pr几乎成为零之阶段作动压Ps’之二阶段状的致动器作动压Pa。

7. 发明专利

TW200506326A 差壓式流量計以及差壓式流量控制裝置审中-公开
简体标题：差压式流量计以及差压式流量控制设备
公开(公告)号：TW200506326A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：TW093118669
申请日：2004-06-25
申请人：富士金股份有限公司 FUJIKIN INCORPORATED , 大見忠弘 OHMI, TADAHIRO
发明人：大見忠弘 OHMI, TADAHIRO , 杉山一彥 KAZUHIKO SUGIYAMA , 宇野富雄 UNO, TOMIO , 池田信一 IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 NISHINO, KOJI , 中村修 NAKAMURA, OSAMU , 土肥亮介 DOHI, RYOUSUKE , 松本篤諮 MATSUMOTO, ATSUSHI
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01F1/50 , G01F1/42 , G05D7/0635
摘要：〔課題〕為求簡化差壓式流量計的構造並降低製造成本，並以即時且排成一列的狀態，在100％～1％的大流量範圍內，進行誤差E為(1％SP)以下的高精度流量量測。〔解決手段〕關於由孔口、孔口上游側的壓力P1的檢測器、孔口下游側的流體壓力P2的檢測器、孔口上游側的流體溫度T的檢測器、以及使用由前述各檢測器得到的檢測壓力P1、P2與檢測溫度T，而運算流過孔口的流體流量Q之控制運算電路所構成的差壓式流量計，乃利用093118669-p01.bmp(但C1為比例常數、m及n為常數)運算前述流體流量Q。
简体摘要：〔课题〕为求简化差压式流量计的构造并降低制造成本，并以实时且排成一列的状态，在100％～1％的大流量范围内，进行误差E为(1％SP)以下的高精度流量量测。〔解决手段〕关于由孔口、孔口上游侧的压力P1的检测器、孔口下游侧的流体压力P2的检测器、孔口上游侧的流体温度T的检测器、以及使用由前述各检测器得到的检测压力P1、P2与检测温度T，而运算流过孔口的流体流量Q之控制运算电路所构成的差压式流量计，乃利用093118669-p01.bmp(但C1为比例常数、m及n为常数)运算前述流体流量Q。

8. 发明专利

TW200506569A 由具備流量控制裝置的氣體供給設備對腔室的氣體分流供給裝置及氣體分流供給方法审中-公开
简体标题：由具备流量控制设备的气体供给设备对腔室的气体分流供给设备及气体分流供给方法
公开(公告)号：TW200506569A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：TW093114510
申请日：2004-05-21
申请人：富士金股份有限公司 FUJIKIN INCORPORATED , 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：杉山一彥 KAZUHIKO SUGIYAMA , 池田信一 NOBUKAZU IKEDA , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 DOHI, RYOUSUKE , 上野山豊己
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/00 , G05D7/0623 , G05D7/0652 , G05D7/0658 , G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/2521 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/263 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761 , Y10T137/8175
摘要：本發明的課題是使由具備流量控制裝置的氣體供給設備，能把預定流量Q的處理氣體，正確又迅速地以所期望的流量比Q1／Q2分流供應到腔室內。其解決手段：由具備流量控制裝置QCS的氣體供給設備1，把預定流量Q的氣體G，透過在於複數個分支供給管線 GL1、GL2上分別裝設開閉閥OV1、OV2，採用位於OV1的下游側而從GL1分支的旁通管線BL1、及位於OV2的下游側而從GL2分支的旁通管線BL2、及連接到BL1和BL2之壓力式分流量控制器FV、及測定GL1內的壓力之壓力感測器PS1、及測定GL2內的壓力之壓力感測器PS2，透過固定在分支供給管線GL1、GL2的未端之噴灑板3、4，以所期望的分流流量 Q1、Q2，來將總量Q＝Q1＋Q2的氣體分流供應到腔室C內。
简体摘要：本发明的课题是使由具备流量控制设备的气体供给设备，能把预定流量Q的处理气体，正确又迅速地以所期望的流量比Q1／Q2分流供应到腔室内。其解决手段：由具备流量控制设备QCS的气体供给设备1，把预定流量Q的气体G，透过在于复数个分支供给管线 GL1、GL2上分别装设开闭阀OV1、OV2，采用位于OV1的下游侧而从GL1分支的旁通管线BL1、及位于OV2的下游侧而从GL2分支的旁通管线BL2、及连接到BL1和BL2之压力式分流量控制器FV、及测定GL1内的压力之压力传感器PS1、及测定GL2内的压力之压力传感器PS2，透过固定在分支供给管线GL1、GL2的未端之喷洒板3、4，以所期望的分流流量 Q1、Q2，来将总量Q＝Q1＋Q2的气体分流供应到腔室C内。

9. 发明专利

TW200504484A 腔室之氣體供給裝置及使用其之腔室之內壓控制方法审中-公开
简体标题：腔室之气体供给设备及使用其之腔室之内压控制方法
公开(公告)号：TW200504484A
公开(公告)日：2005-02-01
申请号：TW093122995
申请日：2004-07-30
申请人：富士金股份有限公司 FIJIKIN INCORPORATED
发明人：河南博 KANNAN, HIROSHI , 宇野富雄 UNO, TOMIO , 土肥亮介 DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 NISHINO, KOJI , 中村修 NAKAMURA, OSAMU , 松本篤諮 MATSUMOTO, ATSUSHI , 池田信一 IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D , H01L
CPC分类号： G05D7/0652 , Y10T137/7761 , Y10T137/8741 , Y10T137/87507
摘要：本發明的課題在於防止流量的控制精度在小流量區域大幅地降低，而在全部流量控制區域，進行高精度的流量控制，並藉由高精度的流量控制來控制寬廣區域的腔室的壓力範圍。為了解決此課題，本發明之手段為：針對一種由並聯狀地連接之複數台的壓力式流量控制裝置、及控制前述複數台的壓力式流量控制裝置之動作的控制裝置所構成，並將所要求的氣體供給至藉由真空泵而被排氣的腔室內之形態的腔室之氣體供給裝置，係作成：使前述一台的壓力式流量控制裝置，成為控制供給至腔室內的最大流量之至多10％為止的氣體流量區域的裝置；其餘的壓力式流量控制裝置則成為控制剩餘的氣體流量區域之裝置的構成。
简体摘要：本发明的课题在于防止流量的控制精度在小流量区域大幅地降低，而在全部流量控制区域，进行高精度的流量控制，并借由高精度的流量控制来控制宽广区域的腔室的压力范围。为了解决此课题，本发明之手段为：针对一种由并联状地连接之复数台的压力式流量控制设备、及控制前述复数台的压力式流量控制设备之动作的控制设备所构成，并将所要求的气体供给至借由真空泵而被排气的腔室内之形态的腔室之气体供给设备，系作成：使前述一台的压力式流量控制设备，成为控制供给至腔室内的最大流量之至多10％为止的气体流量区域的设备；其余的压力式流量控制设备则成为控制剩余的气体流量区域之设备的构成。

10. 发明专利

TWI296744B 腔室之氣體供給裝置及使用其之腔室之內壓控制方法有权
简体标题：腔室之气体供给设备及使用其之腔室之内压控制方法
公开(公告)号：TWI296744B
公开(公告)日：2008-05-11
申请号：TW093122995
申请日：2004-07-30
申请人：富士金股份有限公司 FIJIKIN INCORPORATED
发明人：河南博 KANNAN, HIROSHI , 宇野富雄 UNO, TOMIO , 土肥亮介 DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 NISHINO, KOUJI , 中村修 NAKAMURA, OSAMU , 松本篤諮 MATSUMOTO, ATSUSHI , 池田信一 IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D , H01L
CPC分类号： G05D7/0652 , Y10T137/7761 , Y10T137/8741 , Y10T137/87507
摘要：本發明的課題在於防止流量的控制精度在小流量區域大幅地降低，而在全部流量控制區域，進行高精度的流量控制，並藉由高精度的流量控制來控制寬廣區域的腔室的壓力範圍。為了解決此課題，本發明之手段為：針對一種由並聯狀地連接之複數台的壓力式流量控制裝置、及控制前述複數台的壓力式流量控制裝置之動作的控制裝置所構成，並將所要求的氣體供給至藉由真空泵而被排氣的腔室內之形態的腔室之氣體供給裝置，係作成：使前述一台的壓力式流量控制裝置，成為控制供給至腔室內的最大流量之至多10%為止的氣體流量區域的裝置；其餘的壓力式流量控制裝置則成為控制剩餘的氣體流量區域之裝置的構成。
简体摘要：本发明的课题在于防止流量的控制精度在小流量区域大幅地降低，而在全部流量控制区域，进行高精度的流量控制，并借由高精度的流量控制来控制宽广区域的腔室的压力范围。为了解决此课题，本发明之手段为：针对一种由并联状地连接之复数台的压力式流量控制设备、及控制前述复数台的压力式流量控制设备之动作的控制设备所构成，并将所要求的气体供给至借由真空泵而被排气的腔室内之形态的腔室之气体供给设备，系作成：使前述一台的压力式流量控制设备，成为控制供给至腔室内的最大流量之至多10%为止的气体流量区域的设备；其余的压力式流量控制设备则成为控制剩余的气体流量区域之设备的构成。

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