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    • 8. 发明专利
    • 真空排氣系用閥
    • 真空排气系用阀
    • TWI243881B
    • 2005-11-21
    • TW093102547
    • 2004-02-04
    • 富士金股份有限公司 FUJIKIN INCORPORATED大見忠弘
    • 大見忠弘池田信一山路道雄北野真史森本明弘
    • H01LF16K
    • F16K7/14F16K27/003F16K51/02
    • 本發明之技術課題在於提供因應真空排氣系設備的小型化和因此達成的成本降低以及供縮短真空排氣時間的真空排氣系配管的小口徑化,可防止因氣體分解而產生的解離生成物堆積所造成的內部腐蝕或堵塞、逸漏等的閥。
      本發明用來解決此技術課題的手段為藉由將鋁鈍態使用於真空排氣系用閥等配管零件,可抑制烘烤之際溫度上昇所造成的氣體分解,適於真空排氣系的小口徑化的零件,特別製作成不會因氣體分解所產生生成物堆積而發生腐蝕或堵塞、逸漏等。
    • 本发明之技术课题在于提供因应真空排气系设备的小型化和因此达成的成本降低以及供缩短真空排气时间的真空排气系配管的小口径化,可防止因气体分解而产生的解离生成物堆积所造成的内部腐蚀或堵塞、逸漏等的阀。 本发明用来解决此技术课题的手段为借由将铝钝态使用于真空排气系用阀等配管零件,可抑制烘烤之际温度上升所造成的气体分解,适于真空排气系的小口径化的零件,特别制作成不会因气体分解所产生生成物堆积而发生腐蚀或堵塞、逸漏等。