专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 外观设计

TWD175851S 晶圓支撐環之部分有权
简体标题：晶圆支撑环之部分
公开(公告)号：TWD175851S
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW104304797
申请日：2015-09-02
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
设计人：克爾蘭德艾瑞克A , KIRKLAND, ERIC A. , 瑞思確克羅斯V , RASCHKE, RUSS V. , 史特芬思傑森T , STEFFENS, JASON T.

2. 发明专利

TW201611169A 基板容器审中-公开
公开(公告)号：TW201611169A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：TW104128344
申请日：2015-08-28
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：葛爵森貝利 , GREGERSON, BARRY , 安德森克里斯汀 , ANDERSEN, CHRISTIAN , 瑞思確克羅斯V , RASCHKE, RUSS V. , 瑞卡麥克 , ZABKA, MICHAEL
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/86
CPC分类号： H01L21/67386 , H01L21/67366 , H01L21/67369 , H01L21/67383
摘要：本發明提供一種前開式晶圓容器，該前開式晶圓容器具有前面的一組堆疊V形晶圓邊緣容置部及後面的一組堆疊V形晶圓邊緣容置部，後面的該組堆疊V形晶圓邊緣容置部係為一晶圓擱架之一部分且包含預成形且由聚碳酸酯包覆成型之一聚對苯二甲酸丁二酯薄膜。該等組堆疊V形晶圓邊緣容置部提供位於擱架上安放位置上方之擱架間安放位置。該聚對苯二甲酸丁二酯為該等晶圓邊緣提供一低摩擦滑動嚙合表面，藉此提供當移除該晶圓容器之該門時晶圓自該擱架間位置至該擱架上位置之均勻及一致落下。
简体摘要：本发明提供一种前开式晶圆容器，该前开式晶圆容器具有前面的一组堆栈V形晶圆边缘容置部及后面的一组堆栈V形晶圆边缘容置部，后面的该组堆栈V形晶圆边缘容置部系为一晶圆搁架之一部分且包含预成形且由聚碳酸酯包复成型之一聚对苯二甲酸丁二酯薄膜。该等组堆栈V形晶圆边缘容置部提供位于搁架上安放位置上方之搁架间安放位置。该聚对苯二甲酸丁二酯为该等晶圆边缘提供一低摩擦滑动啮合表面，借此提供当移除该晶圆容器之该门时晶圆自该搁架间位置至该搁架上位置之均匀及一致落下。

3. 外观设计

TWD160525S 晶片承載環有权
简体标题：芯片承载环
公开(公告)号：TWD160525S
公开(公告)日：2014-05-11
申请号：TW102301442
申请日：2013-02-27
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
设计人：拉許克羅斯V , RASCHKE, RUSS V. , 歐爾森艾瑞克S , OLSON, ERIC S. , 史提芬斯傑森陶德 , STEFFENS, JASON TODD

4. 发明专利

TW201640219A 基板容器與用於光罩盒的密封構件、其門總成、及其門總成的組裝方法审中-公开
简体标题：基板容器与用于光罩盒的密封构件、其门总成、及其门总成的组装方法
公开(公告)号：TW201640219A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：TW105108488
申请日：2016-03-18
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：葛雷格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 拉施克魯斯V , RASCHKE, RUSS V.
IPC分类号： G03F1/66 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67393 , H01L21/67359
摘要：本發明揭露用於使對基板容器之密封裂開之機械通氣配置。在一種基板容器中，藉由擺動臂來提供機械通氣，當基板容器之門與蓋被閂鎖於一起時，擺動臂可旋轉地保持於使通氣孔密封之形態。在基板容器之門與蓋解耦合後，擺動臂藉由重力及/或主動式偏置而被偏置成打開或通氣形態。在另一種基板容器中，藉由滑動致動器閥總成來提供機械通氣，滑動致動器閥總成係由基板容器之閂鎖進行被動式致動。滑動致動器驅動柱塞總成閉合基板容器之通氣孔。在閂鎖被釋放後，柱塞總成內之偏置元件中所儲存之能量將滑動致動器驅動至縮回形態，藉此使通氣孔打開。
简体摘要：本发明揭露用于使对基板容器之密封裂开之机械通气配置。在一种基板容器中，借由摆动臂来提供机械通气，当基板容器之门与盖被闩锁于一起时，摆动臂可旋转地保持于使通气孔密封之形态。在基板容器之门与盖解耦合后，摆动臂借由重力及/或主动式偏置而被偏置成打开或通气形态。在另一种基板容器中，借由滑动致动器阀总成来提供机械通气，滑动致动器阀总成系由基板容器之闩锁进行被动式致动。滑动致动器驱动柱塞总成闭合基板容器之通气孔。在闩锁被释放后，柱塞总成内之偏置组件中所存储之能量将滑动致动器驱动至缩回形态，借此使通气孔打开。

5. 实用新型

TWM510539U 使用於膜架傳送裝置的修改彈簧墊有权
简体标题：使用于膜架发送设备的修改弹簧垫
公开(公告)号：TWM510539U
公开(公告)日：2015-10-11
申请号：TW104204915
申请日：2015-04-01
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：史特分斯傑森 , STEFFENS, JASON , 瑞思奇克羅思V , RASCHKE, RUSS V.
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67363

6. 外观设计

TWD159162S 半導體基板載運元件有权
简体标题：半导体基板载运组件
公开(公告)号：TWD159162S
公开(公告)日：2014-03-01
申请号：TW100302073
申请日：2011-04-29
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
设计人：伯恩斯約翰 , BURNS, JOHN , 史密斯馬克V , SMITH, MARK V. , 歐爾森艾瑞克S , OLSON, ERIC S. , 拉克許羅斯V , RASCHKE, RUSS V. , 亞當斯麥克S , ADAMS, MICHAEL S.

7. 发明专利

TW201405696A 晶圓載運器审中-公开
简体标题：晶圆载运器
公开(公告)号：TW201405696A
公开(公告)日：2014-02-01
申请号：TW102112483
申请日：2013-04-09
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：拉許克羅斯V , RASCHKE, RUSS V. , 葛雷格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 史蒂芬斯傑森陶德 , STEFFENS, JASON TODD
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67383 , H01L21/67386
摘要：一種晶圓容器，用於容納複數個薄晶圓之一相間隔堆疊，該容器包含：一H桿形載具，該H桿形載具具有用於該晶圓堆疊之複數個狹槽；一基座部，用於將該H桿形載具以及該晶圓堆疊容置於其中，該基座部具有一底壁及一附裝結構，該H桿形載具安置於該底壁上；一基座晶圓襯墊，附裝於位於該H桿型載具之下的該底壁處，該晶圓襯墊具有複數個肋，該等肋界定複數個狹槽，該等狹槽對應於並對準該H桿型載具之該等狹槽，各該狹槽具有用於在其中安置該等晶圓其中之一的一底部安置區，各該狹槽之該底部安置區具有一彎曲部及一對端部，各該端部具有一向外張開部，藉此使該安置區在該等端部處向外張開；一封蓋部，相配合地連接該基座部，以形成一封閉之內部來用於封閉具有該晶圓堆疊之該H桿型載具，該封蓋部具有一最上壁，該最上壁上具有一附裝結構；以及一封蓋晶圓襯墊，被固定至該附裝結構並界定複數個狹槽，該等狹槽對應於該H桿型載具中之該等狹槽，該封蓋晶圓襯墊具有一列晶圓嚙合指狀部，該等指狀部係為Y形並具有二支腿，該二支腿自一支撐部延伸出並交替地自相對之支撐部延伸出，該等指狀部可為S形狀，該S形狀具有沿兩個方向向外張開的一晶圓襯墊。
简体摘要：一种晶圆容器，用于容纳复数个薄晶圆之一相间隔堆栈，该容器包含：一H杆形载具，该H杆形载具具有用于该晶圆堆栈之复数个狭槽；一基座部，用于将该H杆形载具以及该晶圆堆栈容置于其中，该基座部具有一底壁及一附装结构，该H杆形载具安置于该底壁上；一基座晶圆衬垫，附装于位于该H杆型载具之下的该底壁处，该晶圆衬垫具有复数个肋，该等肋界定复数个狭槽，该等狭槽对应于并对准该H杆型载具之该等狭槽，各该狭槽具有用于在其中安置该等晶圆其中之一的一底部安置区，各该狭槽之该底部安置区具有一弯曲部及一对端部，各该端部具有一向外张开部，借此使该安置区在该等端部处向外张开；一封盖部，相配合地连接该基座部，以形成一封闭之内部来用于封闭具有该晶圆堆栈之该H杆型载具，该封盖部具有一最上壁，该最上壁上具有一附装结构；以及一封盖晶圆衬垫，被固定至该附装结构并界定复数个狭槽，该等狭槽对应于该H杆型载具中之该等狭槽，该封盖晶圆衬垫具有一列晶圆啮合指状部，该等指状部系为Y形并具有二支腿，该二支腿自一支撑部延伸出并交替地自相对之支撑部延伸出，该等指状部可为S形状，该S形状具有沿两个方向向外张开的一晶圆衬垫。

8. 发明专利

TW201742799A 具有窗口保持彈簧之基板容器审中-公开
简体标题：具有窗口保持弹簧之基板容器
公开(公告)号：TW201742799A
公开(公告)日：2017-12-16
申请号：TW106111525
申请日：2017-04-06
申请人：恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：史蒂芬斯傑森T , STEFFENS, JASON T. , 拉許克羅斯V , RASCHKE, RUSS V.
IPC分类号： B65D81/107 , B65D85/30 , B65D85/38
CPC分类号： H01L21/67379 , H01L21/67011 , H01L21/67359 , H01L21/67373 , H01L21/67376 , H01L21/67393
摘要：本發明揭示一種用於容置包含一基底板之一倍縮光罩之倍縮光罩容器，該基底板具有一或多個窗口。該等窗口中之每一者皆可包含具有一凹部側壁之安裝凹部，該凹部側壁包含在其中界定之一底切部。一透明基板可安置於該安裝凹部中且藉由一保持部件而保持於該安裝凹部中，該保持部件具有在一第一端部分與一第二端部分之間延伸之一拱形部分。該保持部件之至少該第一端部分可定位於在該凹部側壁中界定之該底切部中，使得該保持部件之該拱形部分接觸該透明基板以將該透明基板保持於該安裝凹部中。
简体摘要：本发明揭示一种用于容置包含一基底板之一倍缩光罩之倍缩光罩容器，该基底板具有一或多个窗口。该等窗口中之每一者皆可包含具有一凹部侧壁之安装凹部，该凹部侧壁包含在其中界定之一底切部。一透明基板可安置于该安装凹部中且借由一保持部件而保持于该安装凹部中，该保持部件具有在一第一端部分与一第二端部分之间延伸之一拱形部分。该保持部件之至少该第一端部分可定位于在该凹部侧壁中界定之该底切部中，使得该保持部件之该拱形部分接触该透明基板以将该透明基板保持于该安装凹部中。

9. 发明专利

TWI693658B 使用於膜架傳送裝置的修改彈簧墊有权
简体标题：使用于膜架发送设备的修改弹簧垫
公开(公告)号：TWI693658B
公开(公告)日：2020-05-11
申请号：TW105107756
申请日：2016-03-14
申请人：美商恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：史蒂芬思傑森陶德 , STEFFENS, JASON TODD , 拉施克魯斯V , RASCHKE, RUSS V.
IPC分类号： H01L21/673

10. 发明专利

TWI686665B 基板容器與用於光罩盒的密封構件、其門總成、及其門總成的組裝方法有权
简体标题：基板容器与用于光罩盒的密封构件、其门总成、及其门总成的组装方法
公开(公告)号：TWI686665B
公开(公告)日：2020-03-01
申请号：TW105108488
申请日：2016-03-18
申请人：美商恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：葛雷格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 拉施克魯斯V , RASCHKE, RUSS V.
IPC分类号： G03F1/66 , H01L21/673

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式