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1. 外观设计

TWD159162S 半導體基板載運元件有权
简体标题：半导体基板载运组件
公开(公告)号：TWD159162S
公开(公告)日：2014-03-01
申请号：TW100302073
申请日：2011-04-29
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
设计人：伯恩斯約翰 , BURNS, JOHN , 史密斯馬克V , SMITH, MARK V. , 歐爾森艾瑞克S , OLSON, ERIC S. , 拉克許羅斯V , RASCHKE, RUSS V. , 亞當斯麥克S , ADAMS, MICHAEL S.

2. 发明专利

TW201324678A 晶圓載具审中-公开
简体标题：晶圆载具
公开(公告)号：TW201324678A
公开(公告)日：2013-06-16
申请号：TW101129184
申请日：2012-08-13
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：亞當斯麥克S , ADAMS, MICHAEL S. , 葛瑞格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 富勒馬修A , FULLER, MATTHEW A.
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/67389 , H01L21/67369 , H01L21/67373 , H01L21/67376 , H01L21/67379 , H01L21/67383 , H01L21/67386
摘要：一種適用於例如450毫米晶圓等大晶圓之前開式晶圓容器使用具有單獨扣件之元件部分（componentry）以將該等元件部分以一適當方式鎖定於一起，進而提供堅固之連接及成本效益。一容器部具有一開口正面並於一底面上容置由複數個轉鎖連接器固定之一基礎板，該等轉鎖連接器亦提供複數個凹槽以用於複數個清洗墊圈。運動耦合組件能輕易並堅固地鎖定至該基礎板上。內部晶圓支撐組件利用具有複數個保持凸片及鎖定掣子之一單獨鎖定插件而閂鎖至側壁上之托架上。當門被安裝並安放好時，一晶圓保持器提供支撐並抵抗與450毫米晶圓相關聯之增大之晶圓下垂。
简体摘要：一种适用于例如450毫米晶圆等大晶圆之前开式晶圆容器使用具有单独扣件之组件部分（componentry）以将该等组件部分以一适当方式锁定于一起，进而提供坚固之连接及成本效益。一容器部具有一开口正面并于一底面上容置由复数个转锁连接器固定之一基础板，该等转锁连接器亦提供复数个凹槽以用于复数个清洗垫圈。运动耦合组件能轻易并坚固地锁定至该基础板上。内部晶圆支撑组件利用具有复数个保持凸片及锁定掣子之一单独锁定插件而闩锁至侧壁上之托架上。当门被安装并安放好时，一晶圆保持器提供支撑并抵抗与450毫米晶圆相关联之增大之晶圆下垂。

3. 发明专利

TW201231363A 具有門導件及密封件的晶圓容器 WAFER CONTAINER WITH DOOR GUIDE AND SEAL 审中-公开
简体标题：具有门导件及密封件的晶圆容器 WAFER CONTAINER WITH DOOR GUIDE AND SEAL
公开(公告)号：TW201231363A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：TW100138043
申请日：2011-10-20
申请人：安堤格里斯公司
发明人：富勒馬修A , 葛雷格森貝瑞 , 亞當斯麥克S
IPC分类号： B65D
CPC分类号： H01L21/67376 , H01L21/67369 , H01L21/67373
摘要：本發明揭露一種晶圓容器，該晶圓容器能減少或緩解與因載荷所引起之過度容器壁偏斜以及與過量顆粒生成相關聯之問題其中之一或多者，當該等問題出現於用於450毫米直徑及更大晶圓之容器時尤其如此。該容器具有一殼體以及一門，該門具有互鎖部件以使得能夠傳送張力載荷至該門，進而最小化容器表面之偏斜。該容器可包含與互鎖部件相容之一密封墊配置。該容器可包含一可移除之門導件，該可移除之門導件能改良該門於門安裝期間之居中(centering)，且係由一低微粒生成材料製成以減少顆粒。
简体摘要：本发明揭露一种晶圆容器，该晶圆容器能减少或缓解与因载荷所引起之过度容器壁偏斜以及与过量颗粒生成相关联之问题其中之一或多者，当该等问题出现于用于450毫米直径及更大晶圆之容器时尤其如此。该容器具有一壳体以及一门，该门具有互锁部件以使得能够发送张力载荷至该门，进而最小化容器表面之偏斜。该容器可包含与互锁部件兼容之一密封垫配置。该容器可包含一可移除之门导件，该可移除之门导件能改良该门于门安装期间之居中(centering)，且系由一低微粒生成材料制成以减少颗粒。

4. 发明专利

TW201702152A 具有門導件及密封件的晶圓容器审中-公开
简体标题：具有门导件及密封件的晶圆容器
公开(公告)号：TW201702152A
公开(公告)日：2017-01-16
申请号：TW105132917
申请日：2011-10-20
申请人：恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：富勒馬修A , FULLER, MATTHEW A. , 葛雷格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 亞當斯麥克S , ADAMS, MICHAEL S.
IPC分类号： B65D85/90
CPC分类号： H01L21/67376 , H01L21/67369 , H01L21/67373
摘要：本發明揭露一種晶圓容器，該晶圓容器能減少或緩解與因載荷所引起之過度容器壁偏斜以及與過量顆粒生成相關聯之問題其中之一或多者，當該等問題出現於用於450毫米直徑及更大晶圓之容器時尤其如此。該容器具有一殼體以及一門，該門具有互鎖部件以使得能夠傳送張力載荷至該門，進而最小化容器表面之偏斜。該容器可包含與互鎖部件相容之一密封墊配置。該容器可包含一可移除之門導件，該可移除之門導件能改良該門於門安裝期間之居中(centering)，且係由一低微粒生成材料製成以減少顆粒。
简体摘要：本发明揭露一种晶圆容器，该晶圆容器能减少或缓解与因载荷所引起之过度容器壁偏斜以及与过量颗粒生成相关联之问题其中之一或多者，当该等问题出现于用于450毫米直径及更大晶圆之容器时尤其如此。该容器具有一壳体以及一门，该门具有互锁部件以使得能够发送张力载荷至该门，进而最小化容器表面之偏斜。该容器可包含与互锁部件兼容之一密封垫配置。该容器可包含一可移除之门导件，该可移除之门导件能改良该门于门安装期间之居中(centering)，且系由一低微粒生成材料制成以减少颗粒。

5. 发明专利

TWI587444B 晶圓載具有权
简体标题：晶圆载具
公开(公告)号：TWI587444B
公开(公告)日：2017-06-11
申请号：TW101129184
申请日：2012-08-13
申请人：恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：亞當斯麥克S , ADAMS, MICHAEL S. , 葛瑞格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 富勒馬修A , FULLER, MATTHEW A.
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/67389 , H01L21/67369 , H01L21/67373 , H01L21/67376 , H01L21/67379 , H01L21/67383 , H01L21/67386

6. 发明专利

TWI606962B 具有門導件及密封件的晶圓容器有权
简体标题：具有门导件及密封件的晶圆容器
公开(公告)号：TWI606962B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW105132917
申请日：2011-10-20
申请人：恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：富勒馬修A , FULLER, MATTHEW A. , 葛雷格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 亞當斯麥克S , ADAMS, MICHAEL S.
IPC分类号： B65D85/90
CPC分类号： H01L21/67376 , H01L21/67369 , H01L21/67373

7. 发明专利

TWI591000B 具有門導件及密封件的晶圓容器有权
简体标题：具有门导件及密封件的晶圆容器
公开(公告)号：TWI591000B
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：TW100138043
申请日：2011-10-20
申请人：恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：富勒馬修A , FULLER, MATTHEW A. , 葛雷格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 亞當斯麥克S , ADAMS, MICHAEL S.
IPC分类号： B65D85/90
CPC分类号： H01L21/67376 , H01L21/67369 , H01L21/67373

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