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1. 发明专利

TWI680525B 具有衝擊狀態保護的晶圓容置盒有权
简体标题：具有冲击状态保护的晶圆容置盒
公开(公告)号：TWI680525B
公开(公告)日：2019-12-21
申请号：TW104142662
申请日：2015-12-18
申请人：美商恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：穆雪兒萊恩 , MUSHEL, RYAN , 史蒂芬斯傑森T , STEFFENS, JASON T.
IPC分类号： H01L21/677

2. 发明专利

TW201742799A 具有窗口保持彈簧之基板容器审中-公开
简体标题：具有窗口保持弹簧之基板容器
公开(公告)号：TW201742799A
公开(公告)日：2017-12-16
申请号：TW106111525
申请日：2017-04-06
申请人：恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：史蒂芬斯傑森T , STEFFENS, JASON T. , 拉許克羅斯V , RASCHKE, RUSS V.
IPC分类号： B65D81/107 , B65D85/30 , B65D85/38
CPC分类号： H01L21/67379 , H01L21/67011 , H01L21/67359 , H01L21/67373 , H01L21/67376 , H01L21/67393
摘要：本發明揭示一種用於容置包含一基底板之一倍縮光罩之倍縮光罩容器，該基底板具有一或多個窗口。該等窗口中之每一者皆可包含具有一凹部側壁之安裝凹部，該凹部側壁包含在其中界定之一底切部。一透明基板可安置於該安裝凹部中且藉由一保持部件而保持於該安裝凹部中，該保持部件具有在一第一端部分與一第二端部分之間延伸之一拱形部分。該保持部件之至少該第一端部分可定位於在該凹部側壁中界定之該底切部中，使得該保持部件之該拱形部分接觸該透明基板以將該透明基板保持於該安裝凹部中。
简体摘要：本发明揭示一种用于容置包含一基底板之一倍缩光罩之倍缩光罩容器，该基底板具有一或多个窗口。该等窗口中之每一者皆可包含具有一凹部侧壁之安装凹部，该凹部侧壁包含在其中界定之一底切部。一透明基板可安置于该安装凹部中且借由一保持部件而保持于该安装凹部中，该保持部件具有在一第一端部分与一第二端部分之间延伸之一拱形部分。该保持部件之至少该第一端部分可定位于在该凹部侧壁中界定之该底切部中，使得该保持部件之该拱形部分接触该透明基板以将该透明基板保持于该安装凹部中。

3. 发明专利

TW201633434A 具有衝擊狀態保護的晶圓容置盒审中-公开
简体标题：具有冲击状态保护的晶圆容置盒
公开(公告)号：TW201633434A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104142662
申请日：2015-12-18
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：穆雪兒萊恩 , MUSHEL, RYAN , 史蒂芬斯傑森T , STEFFENS, JASON T.
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67366 , H01L21/67373 , H01L21/67383 , H01L21/67386
摘要：本發明揭示一種前開口晶圓容置盒，其具有一容置盒部及一門，該門之尺寸大小適合閉合該容置盒部之一開口前部。該容置盒部具有用於固持複數個晶圓且界定一安放位置之複數個擱架，且具有一前向晶圓支撐件及一後向晶圓支撐件，以將複數個晶圓以處於該安放位置上方之一運輸位置懸置於該前向晶圓支撐件與該後向晶圓支撐件之間。複數個衝擊狀態緩衝部鄰近該運輸位置配置，以用於在一衝擊狀態期間保護該等晶圓。該等晶圓可係為具有一經薄化晶圓側及一載體基板側之接合式晶圓。複數個晶圓嚙合墊及複數個指狀構件自該門上之一中心條帶沿相反方向延伸，從而提供一平衡晶圓嚙合。當閉合該門時，一主要晶圓支撐件首先嚙合晶圓，且一輔助彈性晶圓支撐件其次嚙合晶圓。用於將晶圓接納於該等晶圓支撐件中之一V形溝槽具有與該經薄化晶圓側間界定之一夾角大於與該載體基板側間界定之夾角，從而為該等接合式晶圓提供增強之保護。
简体摘要：本发明揭示一种前开口晶圆容置盒，其具有一容置盒部及一门，该门之尺寸大小适合闭合该容置盒部之一开口前部。该容置盒部具有用于固持复数个晶圆且界定一安放位置之复数个搁架，且具有一前向晶圆支撑件及一后向晶圆支撑件，以将复数个晶圆以处于该安放位置上方之一运输位置悬置于该前向晶圆支撑件与该后向晶圆支撑件之间。复数个冲击状态缓冲部邻近该运输位置配置，以用于在一冲击状态期间保护该等晶圆。该等晶圆可系为具有一经薄化晶圆侧及一载体基板侧之接合式晶圆。复数个晶圆啮合垫及复数个指状构件自该门上之一中心条带沿相反方向延伸，从而提供一平衡晶圆啮合。当闭合该门时，一主要晶圆支撑件首先啮合晶圆，且一辅助弹性晶圆支撑件其次啮合晶圆。用于将晶圆接纳于该等晶圆支撑件中之一V形沟槽具有与该经薄化晶圆侧间界定之一夹角大于与该载体基板侧间界定之夹角，从而为该等接合式晶圆提供增强之保护。

4. 外观设计

TWD175851S 晶圓支撐環之部分有权
简体标题：晶圆支撑环之部分
公开(公告)号：TWD175851S
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW104304797
申请日：2015-09-02
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
设计人：克爾蘭德艾瑞克A , KIRKLAND, ERIC A. , 瑞思確克羅斯V , RASCHKE, RUSS V. , 史特芬思傑森T , STEFFENS, JASON T.

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