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    • 2. 发明专利
    • 半導體記憶裝置及其製造方法
    • 半导体记忆设备及其制造方法
    • TW200715531A
    • 2007-04-16
    • TW095124514
    • 2006-07-05
    • 夏普股份有限公司 SHARP KABUSHIKI KAISHA
    • 大西哲也 OHNISHI, TETSUYA大西茂夫 OHNISHI, SHIGEO
    • H01L
    • H01L27/10H01L27/24
    • 本發明係提供一種半導體記憶裝置及其製造方法,其光步驟更少,且記憶胞面積比以製造過程上之最小加工尺寸新界定之最小記憶胞面積小。本發明之交叉點構造之半導體記憶裝置係具備:延伸於相同方向之複數上部電極2、及延伸於與上部電極2之延伸方向正交之方向之複數下部電極1,且於上部電極2與下部電極1間之層,形成用以儲存資料之記憶材料體而成;記憶材料體係上部電極2之延伸方向之長度依下部電極1之線寬而自我整合地決定,下部電極1之延伸方向之長度依上部電極2之線寬而自我整合地決定。
    • 本发明系提供一种半导体记忆设备及其制造方法,其光步骤更少,且记忆胞面积比以制造过程上之最小加工尺寸新界定之最小记忆胞面积小。本发明之交叉点构造之半导体记忆设备系具备:延伸于相同方向之复数上部电极2、及延伸于与上部电极2之延伸方向正交之方向之复数下部电极1,且于上部电极2与下部电极1间之层,形成用以存储数据之记忆材料体而成;记忆材料体系上部电极2之延伸方向之长度依下部电极1之线宽而自我集成地决定,下部电极1之延伸方向之长度依上部电极2之线宽而自我集成地决定。