专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201116166A 用於控制離子能量分佈的方法和裝置 METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING ION ENERGY DISTRIBUTION 审中-公开
简体标题：用于控制离子能量分布的方法和设备 METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING ION ENERGY DISTRIBUTION
公开(公告)号：TW201116166A
公开(公告)日：2011-05-01
申请号：TW099113815
申请日：2010-04-30
申请人：先驅能源工業公司
发明人：黑克曼藍迪 , 布羅克維克多
IPC分类号： H05H , H01L , C23C
CPC分类号： H01J37/32045 , C23C14/54 , H01J37/32009 , H01J37/32082 , H01J37/32174 , H01J37/32935 , H01J37/3299
摘要：揭示用於調節一電漿腔室中之離子能量之系統、方法及裝置。一例示性系統包括一離子能量控制部分,且該離子能量控制部分回應於指示轟擊一基板之一表面的離子之能量之一所要分佈之至少一離子能量設定提供至少一離子能量控制信號。一控制器耦接至開關模式電源供應器,且該控制器提供至少兩個驅動控制信號。此外,一開關模式電源供應器耦接至基板支撐件、該離子能量控制部分及該控制器。該開關模式電源供應器包括開關組件,該等開關組件經組態以回應於該等驅動信號及該離子能量控制信號將電力施加至該基板以便實現轟擊該基板之該表面的離子之該等能量之該所要分佈。
简体摘要：揭示用于调节一等离子腔室中之离子能量之系统、方法及设备。一例示性系统包括一离子能量控制部分,且该离子能量控制部分回应于指示轰击一基板之一表面的离子之能量之一所要分布之至少一离子能量设置提供至少一离子能量控制信号。一控制器耦接至开关模式电源供应器,且该控制器提供至少两个驱动控制信号。此外,一开关模式电源供应器耦接至基板支撑件、该离子能量控制部分及该控制器。该开关模式电源供应器包括开关组件,该等开关组件经组态以回应于该等驱动信号及该离子能量控制信号将电力施加至该基板以便实现轰击该基板之该表面的离子之该等能量之该所要分布。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式