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1. 发明专利

TW200715357A 機台裝置失效
简体标题：机台设备
公开(公告)号：TW200715357A
公开(公告)日：2007-04-16
申请号：TW095124692
申请日：2006-07-06
申请人：住友重機械工業股份有限公司 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：中島龍太 NAKAJIMA, RYUTA
IPC分类号： H01L , B23Q
CPC分类号： H01L21/682 , G03F7/70716 , G03F7/70758
摘要：本發明的課題為:本發明的課題是要防止,在使用來保持對象物的保持構件朝Z軸方向升降時產生的振動情形。本發明的解決手段為:機台裝置(10),是具有:載置著晶圓的晶圓保持構件(14)、可升降地支承著晶圓保持構件(14)的Z軸構件(16)的Z軸支承基座(18)、夾介軸承(20)而可轉動地支承著Z軸支承基座(18)的��z支承基座(22)、以及搭載著��z支承基座(22)的XY工作台(24)。Z軸致動器(36)的固定器(36a)是被固定於��z支承基座(22)的平面部(34)上,將可動器(36b)固定於晶圓保持構件(14)的橫架構件(14b)的兩端。於是,一對Z軸致動器(36),被控制成:相對於晶圓保持構件(14)的橫架構件(14b)同時施加驅動力。此時,Z軸致動器(36)的驅動力的反作用力,是以��z支承基座(22)及XY工作台(24)所承受,所以能抑制反作用力所造成的振動情形。
简体摘要：本发明的课题为:本发明的课题是要防止,在使用来保持对象物的保持构件朝Z轴方向升降时产生的振动情形。本发明的解决手段为:机台设备(10),是具有:载置着晶圆的晶圆保持构件(14)、可升降地支承着晶圆保持构件(14)的Z轴构件(16)的Z轴支承基座(18)、夹介轴承(20)而可转动地支承着Z轴支承基座(18)的��z支承基座(22)、以及搭载着��z支承基座(22)的XY工作台(24)。Z轴致动器(36)的固定器(36a)是被固定于��z支承基座(22)的平面部(34)上,将可动器(36b)固定于晶圆保持构件(14)的横架构件(14b)的两端。于是,一对Z轴致动器(36),被控制成:相对于晶圆保持构件(14)的横架构件(14b)同时施加驱动力。此时,Z轴致动器(36)的驱动力的反作用力,是以��z支承基座(22)及XY工作台(24)所承受,所以能抑制反作用力所造成的振动情形。

2. 发明专利

TW200919617A 載台裝置 STAGE DEVICE 审中-公开
简体标题：载台设备 STAGE DEVICE
公开(公告)号：TW200919617A
公开(公告)日：2009-05-01
申请号：TW097134858
申请日：2008-09-11
申请人：住友重機械工業股份有限公司 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：中島龍太 NAKAJIMA, RYUTA , 真下秀彥 MASHIMO, HIDEHIKO
IPC分类号： H01L , G12B
CPC分类号： G03F7/709 , G03F7/70725 , G05B19/232 , G05B19/404 , G05B2219/37517 , G05B2219/41117 , G05B2219/41148 , H01L21/682
摘要：將被支撐在可朝一水平方向移動的第1載台上之第2載台的震動予以制振。載台裝置具備:可朝X方向移動的XY軸載台、在XY軸載台上由支撐部所支撐的Z軸載台、朝X方向彼此被分離配置而用於偵測Z軸載台的Z方向速度之一對之刻度計、朝X方向彼此被分離配置而用於將Z軸載台朝垂直方向驅動的一對之電動機、根據偵測到的Z方向速度來控制電動機之驅動的控制器,藉由以刻度計偵測Z方向速度的方式,求出Z軸載台的俯仰(Pitching)震動舉動,驅動電動機,使Z軸載台朝俯仰方向旋轉以抵消俯仰震動。
简体摘要：将被支撑在可朝一水平方向移动的第1载台上之第2载台的震动予以制振。载台设备具备:可朝X方向移动的XY轴载台、在XY轴载台上由支撑部所支撑的Z轴载台、朝X方向彼此被分离配置而用于侦测Z轴载台的Z方向速度之一对之刻度计、朝X方向彼此被分离配置而用于将Z轴载台朝垂直方向驱动的一对之电动机、根据侦测到的Z方向速度来控制电动机之驱动的控制器,借由以刻度计侦测Z方向速度的方式,求出Z轴载台的俯仰(Pitching)震动举动,驱动电动机,使Z轴载台朝俯仰方向旋转以抵消俯仰震动。

3. 发明专利

TW200920961A 靜壓軸承 HYDROSTAIC BEARING 有权
简体标题：静压轴承 HYDROSTAIC BEARING
公开(公告)号：TW200920961A
公开(公告)日：2009-05-16
申请号：TW097125073
申请日：2008-07-03
申请人：住友重機械工業股份有限公司 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：中島龍太 NAKAJIMA, RYUTA , 野本剛 NOMOTO, TSUYOSHI , 細拓也 HOSOBATA, TAKUYA
IPC分类号： F16C
CPC分类号： F16C29/025 , F16C32/0618 , F16C32/0666 , F16C33/748 , F16C2380/18
摘要：本發明的目的是提供一種:可防止碎屑飛散至裝置周邊的靜壓軸承。根據本發明,即使在為了於在滑行面(2a)上浮起而由噴出面(11a)對滑行面(2a)噴出空氣(A1),而對已進入形成於載物台(2)表面之細孔部的碎屑(P)、或附著於載物台表面上的碎屑(P)噴吹空氣(A1)的場合中,噴吹空氣(A1)中的部分空氣(A2),是在配置於噴出部(11)外周側的吸引面(12a),吸引回收每個碎屑(P)。此外,吸引面(12a)是配置成較噴出面(11a)的下端更後退,可輕易地平衡碎屑(P)的吸引與空氣的噴出,藉此,靜壓軸承(10)可一邊在滑行面(2a)上以非接觸的方式滑行,並確實地捕捉朝載物台裝置(1)周邊飛散的碎屑(P)。
简体摘要：本发明的目的是提供一种:可防止碎屑飞散至设备周边的静压轴承。根据本发明,即使在为了于在滑行面(2a)上浮起而由喷出面(11a)对滑行面(2a)喷出空气(A1),而对已进入形成于载物台(2)表面之细孔部的碎屑(P)、或附着于载物台表面上的碎屑(P)喷吹空气(A1)的场合中,喷吹空气(A1)中的部分空气(A2),是在配置于喷出部(11)外周侧的吸引面(12a),吸引回收每个碎屑(P)。此外,吸引面(12a)是配置成较喷出面(11a)的下端更后退,可轻易地平衡碎屑(P)的吸引与空气的喷出,借此,静压轴承(10)可一边在滑行面(2a)上以非接触的方式滑行,并确实地捕捉朝载物台设备(1)周边飞散的碎屑(P)。

4. 发明专利

TWI307916B 機台裝置失效
简体标题：机台设备
公开(公告)号：TWI307916B
公开(公告)日：2009-03-21
申请号：TW095124692
申请日：2006-07-06
申请人：住友重機械工業股份有限公司 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：中島龍太 NAKAJIMA, RYUTA
IPC分类号： H01L , B23Q
CPC分类号： H01L21/682 , G03F7/70716 , G03F7/70758
摘要：本發明的課題是要防止,在使用來保持對象物的保持構件朝Z軸方向升降時產生的振動情形。
機台裝置(10),是具有:載置著晶圓的晶圓保持構件(14)、可升降地支承著晶圓保持構件(14)的Z軸構件(16)的Z軸支承基座(18)、夾介軸承(20)而可轉動地支承著Z軸支承基座(18)的�� z支承基座(22)、以及搭載著�� z支承基座(22)的XY工作台(24)。Z軸致動器(36)的固定器(36a)是被固定於�� z支承基座(22)的平面部(34)上,將可動器(36b)固定於晶圓保持構件(14)的橫架構件(14b)的兩端。於是,一對Z軸致動器(36),被控制成:相對於晶圓保持構件(14)的橫架構件(14b)同時施加驅動力。此時,Z軸致動器(36)的驅動力的反作用力,是以�� z支承基座(22)及XY工作台(24)所承受,所以能抑制反作用力所造成的振動情形。
简体摘要：本发明的课题是要防止,在使用来保持对象物的保持构件朝Z轴方向升降时产生的振动情形。机台设备(10),是具有:载置着晶圆的晶圆保持构件(14)、可升降地支承着晶圆保持构件(14)的Z轴构件(16)的Z轴支承基座(18)、夹介轴承(20)而可转动地支承着Z轴支承基座(18)的�� z支承基座(22)、以及搭载着�� z支承基座(22)的XY工作台(24)。Z轴致动器(36)的固定器(36a)是被固定于�� z支承基座(22)的平面部(34)上,将可动器(36b)固定于晶圆保持构件(14)的横架构件(14b)的两端。于是,一对Z轴致动器(36),被控制成:相对于晶圆保持构件(14)的横架构件(14b)同时施加驱动力。此时,Z轴致动器(36)的驱动力的反作用力,是以�� z支承基座(22)及XY工作台(24)所承受,所以能抑制反作用力所造成的振动情形。

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