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1. 发明专利

TWI336376B 靜壓軸承 HYDROSTAIC BEARING 有权
简体标题：静压轴承 HYDROSTAIC BEARING
公开(公告)号：TWI336376B
公开(公告)日：2011-01-21
申请号：TW097125073
申请日：2008-07-03
申请人：住友重機械工業股份有限公司
发明人：中島龍太 , 野本剛 , 細畠拓也
IPC分类号： F16C
CPC分类号： F16C29/025 , F16C32/0618 , F16C32/0666 , F16C33/748 , F16C2380/18
摘要：本發明的目的是提供一種：可防止碎屑飛散至裝置周邊的靜壓軸承。
根據本發明，即使在為了於在滑行面(2a)上浮起而由噴出面(11a)對滑行面(2a)噴出空氣(A1)，而對已進入形成於載物台(2)表面之細孔部的碎屑(P)、或附著於載物台表面上的碎屑(P)噴吹空氣(A1)的場合中，噴吹空氣(A1)中的部分空氣(A2)，是在配置於噴出部(11)外周側的吸引面(12a)，吸引回收每個碎屑(P)。此外，吸引面(12a)是配置成較噴出面(11a)的下端更後退，可輕易地平衡碎屑(P)的吸引與空氣的噴出，藉此，靜壓軸承(10)可一邊在滑行面(2a)上以非接觸的方式滑行，並確實地捕捉朝載物台裝置(1)周邊飛散的碎屑(P)。
简体摘要：本发明的目的是提供一种：可防止碎屑飞散至设备周边的静压轴承。根据本发明，即使在为了于在滑行面(2a)上浮起而由喷出面(11a)对滑行面(2a)喷出空气(A1)，而对已进入形成于载物台(2)表面之细孔部的碎屑(P)、或附着于载物台表面上的碎屑(P)喷吹空气(A1)的场合中，喷吹空气(A1)中的部分空气(A2)，是在配置于喷出部(11)外周侧的吸引面(12a)，吸引回收每个碎屑(P)。此外，吸引面(12a)是配置成较喷出面(11a)的下端更后退，可轻易地平衡碎屑(P)的吸引与空气的喷出，借此，静压轴承(10)可一边在滑行面(2a)上以非接触的方式滑行，并确实地捕捉朝载物台设备(1)周边飞散的碎屑(P)。

2. 发明专利

TW201709398A 氣體浮上工件支持裝置及非接觸工件支持方法审中-公开
简体标题：气体浮上工件支持设备及非接触工件支持方法
公开(公告)号：TW201709398A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：TW105105591
申请日：2016-02-25
申请人：日本製鋼所股份有限公司 , THE JAPAN STEEL WORKS, LTD.
发明人：鈴木祐輝 , SUZUKI, YUKI , 谷川貞夫 , TANIGAWA, SADAO
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/677 , B65G49/06 , F16C32/06
CPC分类号： H01L21/677 , B65G49/065 , B65G2249/04 , F16C32/0614 , F16C32/0618 , F16C32/0622 , F16C32/0625 , F16C2326/58 , F16C2380/18 , H01L21/683
摘要：本發明是在浮上支持板狀工件時，可使浮上量變得均勻而以高平面度進行支持。本發明包括：氣體上方噴出部3B，向上方噴出氣體；以及氣體下方噴出部3A，位於所述氣體上方噴出部3B的上方側而向下方噴出氣體；且所述氣體下方噴出部3A設置於對由自所述氣體上方噴出部3B噴出的所述氣體浮上支持的板狀工件100，自所述板狀工件100的上方向下方噴射所述氣體而施加壓力的位置。
简体摘要：本发明是在浮上支持板状工件时，可使浮上量变得均匀而以高平面度进行支持。本发明包括：气体上方喷出部3B，向上方喷出气体；以及气体下方喷出部3A，位于所述气体上方喷出部3B的上方侧而向下方喷出气体；且所述气体下方喷出部3A设置于对由自所述气体上方喷出部3B喷出的所述气体浮上支持的板状工件100，自所述板状工件100的上方向下方喷射所述气体而施加压力的位置。

3. 发明专利

TW200920961A 靜壓軸承 HYDROSTAIC BEARING 有权
简体标题：静压轴承 HYDROSTAIC BEARING
公开(公告)号：TW200920961A
公开(公告)日：2009-05-16
申请号：TW097125073
申请日：2008-07-03
申请人：住友重機械工業股份有限公司 SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：中島龍太 NAKAJIMA, RYUTA , 野本剛 NOMOTO, TSUYOSHI , 細拓也 HOSOBATA, TAKUYA
IPC分类号： F16C
CPC分类号： F16C29/025 , F16C32/0618 , F16C32/0666 , F16C33/748 , F16C2380/18
摘要：本發明的目的是提供一種:可防止碎屑飛散至裝置周邊的靜壓軸承。根據本發明,即使在為了於在滑行面(2a)上浮起而由噴出面(11a)對滑行面(2a)噴出空氣(A1),而對已進入形成於載物台(2)表面之細孔部的碎屑(P)、或附著於載物台表面上的碎屑(P)噴吹空氣(A1)的場合中,噴吹空氣(A1)中的部分空氣(A2),是在配置於噴出部(11)外周側的吸引面(12a),吸引回收每個碎屑(P)。此外,吸引面(12a)是配置成較噴出面(11a)的下端更後退,可輕易地平衡碎屑(P)的吸引與空氣的噴出,藉此,靜壓軸承(10)可一邊在滑行面(2a)上以非接觸的方式滑行,並確實地捕捉朝載物台裝置(1)周邊飛散的碎屑(P)。
简体摘要：本发明的目的是提供一种:可防止碎屑飞散至设备周边的静压轴承。根据本发明,即使在为了于在滑行面(2a)上浮起而由喷出面(11a)对滑行面(2a)喷出空气(A1),而对已进入形成于载物台(2)表面之细孔部的碎屑(P)、或附着于载物台表面上的碎屑(P)喷吹空气(A1)的场合中,喷吹空气(A1)中的部分空气(A2),是在配置于喷出部(11)外周侧的吸引面(12a),吸引回收每个碎屑(P)。此外,吸引面(12a)是配置成较喷出面(11a)的下端更后退,可轻易地平衡碎屑(P)的吸引与空气的喷出,借此,静压轴承(10)可一边在滑行面(2a)上以非接触的方式滑行,并确实地捕捉朝载物台设备(1)周边飞散的碎屑(P)。

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