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    • 3. 发明专利
    • 半導體裝置及其製造方法
    • 半导体设备及其制造方法
    • TW201724191A
    • 2017-07-01
    • TW104143316
    • 2015-12-23
    • 世界先進積體電路股份有限公司VANGUARD INTERNATIONAL SEMICONDUCTOR CORPORATION
    • 洪培恒HUNG, PEI HENG庫馬 馬洛宜KUMAR, MANOJ張雄世CHANG, HSIUNG SHIH李家豪LEE, CHIA HAO陳強偉CHEN, JUN WEI
    • H01L21/18H01L21/329H01L29/36H01L29/861
    • 本發明提供一種半導體裝置,包括:埋藏氧化層,設置於基板上;半導體層,具有第一導電類型,設置於埋藏氧化層上;第一井區,具有第一導電類型,設置於半導體層中;第二井區和第三井區,具有第二導電類型,分別接近於第一井區的相對兩側,且與第一井區分別相距第一距離和第二距離;一隔絕物,覆蓋第一井區和第三井區;一多晶場板(poly field plate),具有第一或第二導電類型,設置於隔絕物上,且位於第一井區和第三井區之間的半導體層上方;第一陽極摻雜區,具有第二導電類型,設置於第二井區中;第二陽極摻雜區,具有第一導電類型,設置於第二井區中;第三陽極摻雜區,具有第一導電類型,設置於第二井區中,第二陽極摻雜區位於第三陽極摻雜區的正上方;第一陰極摻雜區,具有第二導電類型,耦接至第三井區。本發明也提供一種半導體裝置之製造方法。
    • 本发明提供一种半导体设备,包括:埋藏氧化层,设置于基板上;半导体层,具有第一导电类型,设置于埋藏氧化层上;第一井区,具有第一导电类型,设置于半导体层中;第二井区和第三井区,具有第二导电类型,分别接近于第一井区的相对两侧,且与第一井区分别相距第一距离和第二距离;一隔绝物,覆盖第一井区和第三井区;一多晶场板(poly field plate),具有第一或第二导电类型,设置于隔绝物上,且位于第一井区和第三井区之间的半导体层上方;第一阳极掺杂区,具有第二导电类型,设置于第二井区中;第二阳极掺杂区,具有第一导电类型,设置于第二井区中;第三阳极掺杂区,具有第一导电类型,设置于第二井区中,第二阳极掺杂区位于第三阳极掺杂区的正上方;第一阴极掺杂区,具有第二导电类型,耦接至第三井区。本发明也提供一种半导体设备之制造方法。