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    • 2. 发明专利
    • 半導體記憶裝置之配置構造
    • 半导体记忆设备之配置构造
    • TW355840B
    • 1999-04-11
    • TW086108153
    • 1997-06-12
    • 三菱電機股份有限公司
    • 本田裕己
    • H01L
    • G11C11/41H01L27/1112Y10S257/903
    • 一種靜態隨機存取記憶體之佈局結構,用以減少配線層數和連接孔數,同時仍保留習知諸項優點。就平面而言,互為垂直相鄰單元所共同使用之接觸孔和場區於該等單元間區分開來。單元係沿一位元線方向(Dl)設置呈轉換關係。結果,用於GND線之第一複晶矽配線層(1G(G))和做為字元線之第一複晶矽配線層(1G(W)),係沿平行於一字元線方向(D2)形成。用以連接驅動電晶體(DTrl,DTr2)閘電極和場區(FL)之連接孔(GK2,GK1),亦做為連接場區(FL)和GND配線層(1G(G))之連接孔(GK3)。再者,配線層具有一高電源供應電位形成於配線層(1G(G))上。
    • 一种静态随机存取内存之布局结构,用以减少配线层数和连接孔数,同时仍保留习知诸项优点。就平面而言,互为垂直相邻单元所共同使用之接触孔和场区于该等单元间区分开来。单元系沿一比特线方向(Dl)设置呈转换关系。结果,用于GND线之第一复晶硅配线层(1G(G))和做为字符线之第一复晶硅配线层(1G(W)),系沿平行于一字符线方向(D2)形成。用以连接驱动晶体管(DTrl,DTr2)闸电极和场区(FL)之连接孔(GK2,GK1),亦做为连接场区(FL)和GND配线层(1G(G))之连接孔(GK3)。再者,配线层具有一高电源供应电位形成于配线层(1G(G))上。
    • 4. 发明专利
    • 半導體裝置及其製造方法
    • 半导体设备及其制造方法
    • TW353805B
    • 1999-03-01
    • TW086115740
    • 1997-10-22
    • 三菱電機股份有限公司
    • 本田裕己
    • H01L
    • H01L27/11H01L27/1112Y10S257/903Y10S257/904
    • 本發明係關係一種半導體裝置及其製造方法;本發明係提供一種可以增加其記憶節點容量及提高其耐軟體錯誤性之半導體裝置及其製造方法。
      在形成有該記憶節點部11c,11d之第1配線層上,則透過介電質膜12,而形成有GND配線14b。藉由這個,而利用記憶節點部11c,11d,和介電質膜12,以及GND配線14b,以構成該記憶節點部之容量元件。並且,對於記憶體單元之中心呈點對稱地,來配置第1配線層,同時,在字元線5a,5d之延伸方向上,以相同之佈置來配置出多個呈相鄰接之記憶體單元。
    • 本发明系关系一种半导体设备及其制造方法;本发明系提供一种可以增加其记忆节点容量及提高其耐软件错误性之半导体设备及其制造方法。 在形成有该记忆节点部11c,11d之第1配线层上,则透过介电质膜12,而形成有GND配线14b。借由这个,而利用记忆节点部11c,11d,和介电质膜12,以及GND配线14b,以构成该记忆节点部之容量组件。并且,对于内存单元之中心呈点对称地,来配置第1配线层,同时,在字符线5a,5d之延伸方向上,以相同之布置来配置出多个呈相邻接之内存单元。
    • 5. 发明专利
    • 半導體裝置
    • 半导体设备
    • TW413941B
    • 2000-12-01
    • TW087106667
    • 1998-04-30
    • 三菱電機股份有限公司
    • 石垣佳之本田裕己
    • H01L
    • H01L27/11H01L27/1112Y10S257/904
    • 本發明提供一種半導體裝置,具備有記憶單元,可以使動作高速化同時可以進行高積體化。
      本發明之解決手段是在具備有記憶單元之半導體裝置中,於其記憶單元區域形成有字線之傍路連接用之區域35i,和包含金屬之第l配線層之傍路連接用字線18g。在記憶單元區域,該傍路連接用之區域35i和傍路用字線18g經由形成在接觸孔洞17e之內部之字線接觸用插頭62e產生電連接。
    • 本发明提供一种半导体设备,具备有记忆单元,可以使动作高速化同时可以进行高积体化。 本发明之解决手段是在具备有记忆单元之半导体设备中,于其记忆单元区域形成有字线之傍路连接用之区域35i,和包含金属之第l配线层之傍路连接用字线18g。在记忆单元区域,该傍路连接用之区域35i和傍路用字线18g经由形成在接触孔洞17e之内部之字线接触用插头62e产生电连接。
    • 6. 发明专利
    • 半導體記憶裝置及其製造方法
    • 半导体记忆设备及其制造方法
    • TW330343B
    • 1998-04-21
    • TW086104513
    • 1997-04-09
    • 三菱電機股份有限公司
    • 本田裕己牧幸生
    • H01L
    • H01L27/11Y10S257/903
    • [課題]在本發明之半導體記憶裝置中,不會增加記憶單元的面積,而能形成雙載子電晶體。[解決手段]和MOS電晶體之源極/汲極區域連通而共同形成的區域作為連接基極區域,且藉由雜質的植入,而由位元線接觸部開口形成射極,以形成雙載子電晶體。再者,藉由雜質的植入,而由位元線接觸部開口形成本質基極區域和射極區域,以形成雙載子電晶體。此本質基極區域,形成得比源極/汲極區域深。而且,本質基極區域和連接基極區域的植入雜質是相異的。
    • [课题]在本发明之半导体记忆设备中,不会增加记忆单元的面积,而能形成双载子晶体管。[解决手段]和MOS晶体管之源极/汲极区域连通而共同形成的区域作为连接基极区域,且借由杂质的植入,而由比特线接触部开口形成射极,以形成双载子晶体管。再者,借由杂质的植入,而由比特线接触部开口形成本质基极区域和射极区域,以形成双载子晶体管。此本质基极区域,形成得比源极/汲极区域深。而且,本质基极区域和连接基极区域的植入杂质是相异的。
    • 7. 发明专利
    • 半導體裝置及其製造方法
    • 半导体设备及其制造方法
    • TW329022B
    • 1998-04-01
    • TW086101694
    • 1997-02-14
    • 三菱電機股份有限公司
    • 本田裕己
    • H01L
    • H01L27/0922H01L21/823807H01L27/088
    • 一種MOS半導體裝置,包括以一般MOS電晶體與輸入 /輸出緩衝器之輸出 MOS 電晶體,該一般MOS電晶體形成體之通於一般井(well)中。於輸出MOS電晶體中,第二MOS電晶體之通道區域與元件隔離區域係形成於高雜質濃度之區域中;另一方面,源極與汲極區域形成於低雜質濃度之區域中。因此,可降低輸出MOS電晶體之源極/汲極之電容,且可降低該半導體裝置之輸入/輸出電容。
    • 一种MOS半导体设备,包括以一般MOS晶体管与输入 /输出缓冲器之输出 MOS 晶体管,该一般MOS晶体管形成体之通于一般井(well)中。于输出MOS晶体管中,第二MOS晶体管之信道区域与组件隔离区域系形成于高杂质浓度之区域中;另一方面,源极与汲极区域形成于低杂质浓度之区域中。因此,可降低输出MOS晶体管之源极/汲极之电容,且可降低该半导体设备之输入/输出电容。
    • 8. 发明专利
    • 雙極性電晶體及具有該雙極性電晶體之半導體裝置
    • 双极性晶体管及具有该双极性晶体管之半导体设备
    • TW284909B
    • 1996-09-01
    • TW085100698
    • 1996-01-22
    • 三菱電機股份有限公司
    • 本田裕己
    • H01L
    • H01L29/42304H01L21/8249H01L27/0623H01L29/41708H01L29/7322
    • [課題]減低雙極性電晶體的集極電阻,且減少製造成本。[解決手段]於n型井區(集極區)2的表面分別形成有基極區和射極區。形成通達集極之一部份表面的接觸窗8a;形成通達射極區之一部份表面的接觸窗8b;以及形成通達基極區之一部份表面的接觸窗8c。於接觸窗8a、8b、8c內分別形成有集極電極、射極電極及基極電極。若將形成有射極電極之接觸窗8b之縱長方向的長度當作L,且將與此縱長方向直交之方向的寬度當作S,則L/S的值成為10以上。
    • [课题]减低双极性晶体管的集极电阻,且减少制造成本。[解决手段]于n型井区(集极区)2的表面分别形成有基极区和射极区。形成通达集极之一部份表面的接触窗8a;形成通达射极区之一部份表面的接触窗8b;以及形成通达基极区之一部份表面的接触窗8c。于接触窗8a、8b、8c内分别形成有集极电极、射极电极及基极电极。若将形成有射极电极之接触窗8b之纵长方向的长度当作L,且将与此纵长方向直交之方向的宽度当作S,则L/S的值成为10以上。