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    • 3. 发明专利
    • 薄膜之線性掃描連續橫向固化 LINE SCAN SEQUENTIAL LATERAL SOLIDIFICATION OF THIN FILMS
    • 薄膜之线性扫描连续横向固化 LINE SCAN SEQUENTIAL LATERAL SOLIDIFICATION OF THIN FILMS
    • TW200733239A
    • 2007-09-01
    • TW095143569
    • 2006-11-24
    • 紐約市哥倫比亞大學理事會 THE TRUSTEES OF COLUMBIA UNIVERSITY IN THE CITY OF NEW YORK
    • 埃恩詹姆士S IM, JAMES S.偉特保羅C 凡迪爾 WILT, PAUL C. VAN DER
    • H01L
    • H01L21/02686B23K26/0738C30B13/00C30B13/24C30B29/06H01L21/02532H01L21/02678H01L21/2026H01L27/1285H01L27/1296Y10T117/10Y10T117/1004Y10T117/1008
    • 一多結晶膜係藉由下述步驟來製備:(a)提供一基材,該基材具有一設置於其上之薄膜,該膜可以進行雷射誘發熔化;(b)產生一連串雷射脈衝,該些脈衝具有足以在一被輻射區域中穿透膜厚度而熔化該膜之通量,每一脈衝形成一具有預定長度與寬度之線束,該寬度足以避免在一部分被雷射脈衝所輻射之薄膜中的固體成核;(c)以一第一雷射脈衝來輻射該膜之一第一區域,以形成一第一熔化區,該第一熔化區沿著其長度顯示出寬度變化,藉此界定一最大寬度(Wmax)與一最小寬度(Wmin),其中該第一熔化區冷卻時係結晶化以形成一或多個橫向成長結晶;(d)在橫向成長方向上橫向移動該膜一距離,其中該距離大於約一半的Wmax且小於Wmin;以及(e)以一第二雷射脈衝來輻射該膜之一第二區域,以形成一第二熔化區,該第二熔化區具有實質上相同於該第一熔化區之形狀,其中該第二熔化區在冷卻時係結晶化以形成一或多個橫向成長結晶,該第二熔化區中橫向成長結晶係為該第一熔化區中橫向成長結晶之延長部分。
    • 一多结晶膜系借由下述步骤来制备:(a)提供一基材,该基材具有一设置于其上之薄膜,该膜可以进行激光诱发熔化;(b)产生一连串激光脉冲,该些脉冲具有足以在一被辐射区域中穿透膜厚度而熔化该膜之通量,每一脉冲形成一具有预定长度与宽度之线束,该宽度足以避免在一部分被激光脉冲所辐射之薄膜中的固体成核;(c)以一第一激光脉冲来辐射该膜之一第一区域,以形成一第一熔化区,该第一熔化区沿着其长度显示出宽度变化,借此界定一最大宽度(Wmax)与一最小宽度(Wmin),其中该第一熔化区冷却时系结晶化以形成一或多个横向成长结晶;(d)在横向成长方向上横向移动该膜一距离,其中该距离大于约一半的Wmax且小于Wmin;以及(e)以一第二激光脉冲来辐射该膜之一第二区域,以形成一第二熔化区,该第二熔化区具有实质上相同于该第一熔化区之形状,其中该第二熔化区在冷却时系结晶化以形成一或多个横向成长结晶,该第二熔化区中横向成长结晶系为该第一熔化区中横向成长结晶之延长部分。