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1. 发明专利

TWI614104B 使用滾輪切割非金屬材料的裝置及方法有权
简体标题：使用滚轮切割非金属材料的设备及方法
公开(公告)号：TWI614104B
公开(公告)日：2018-02-11
申请号：TW105119305
申请日：2016-06-20
申请人：樂華系統股份有限公司 , RORZE SYSTEMS CORPORATION
发明人：曺光鉉 , CHO, KWANG HYUN , 薛明洙 , SEOL, MYEONG SU , 朴赫 , PARK, HYUK , 黃俊喆 , HWANG, JUN CHOEL , 吳炫燉 , OH, HYUN DON
IPC分类号： B28D1/24 , B26D1/14 , C03B33/10
CPC分类号： C03B33/02 , C03B33/03 , C03B33/10

2. 发明专利

TWI508809B 沿曲線切割非金屬材料之方法有权
简体标题：沿曲线切割非金属材料之方法
公开(公告)号：TWI508809B
公开(公告)日：2015-11-21
申请号：TW102126476
申请日：2013-07-24
申请人：樂華系統股份有限公司 , RORZE SYSTEMS CORPORATION
发明人：朴赫 , PARK, HYUK , 金燦貴 , KIM, CHAN GWI , 文盛郁 , MOON, SEONG WOOK
IPC分类号： B23K26/38
CPC分类号： C03B33/091 , B23K26/0069 , B23K26/0087 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K2203/50 , C03B33/04 , Y02P40/57 , Y10T225/12

3. 发明专利

TW201446451A 用於切割非金屬基材之裝置及方法审中-公开
简体标题：用于切割非金属基材之设备及方法
公开(公告)号：TW201446451A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW102119936
申请日：2013-06-05
申请人：樂華系統股份有限公司 , RORZE SYSTEMS CORPORATION
发明人：趙鏞欽 , CHO, YONG HEUM , 秋貞鈞 , CHOO, JEONG KYOUN , 文盛郁 , MOON, SEONG WOOK , 黃成俊 , HWANG, SUNG JUNE , 金基淵 , KIM, KI YEON , 朴明眞 , PARK, MYOUNG JIN , 成振昊 , SUNG, JIN HO , 朴晉佑 , PARK, JIN WOO
IPC分类号： B28D1/22 , B28D5/04 , B23K26/38
摘要：一種用於切割一非金屬基材的裝置，包含一平枱，一彎曲單元，一最初裂縫產生器，及一光學加熱器。該平枱支撐一非金屬基材。該彎曲單元係設在該平枱上方，用以相對於該非金屬基材之一切割線來施加彎曲應力於該非金屬基材。該最初裂縫產生器會在該非金屬基材的切割線之一切割起始點產生一最初裂縫。該光學加熱器會照射雷射束於該非金屬基材的切割線上來形成一刻劃線。
简体摘要：一种用于切割一非金属基材的设备，包含一平台，一弯曲单元，一最初裂缝产生器，及一光学加热器。该平台支撑一非金属基材。该弯曲单元系设在该平台上方，用以相对于该非金属基材之一切割线来施加弯曲应力于该非金属基材。该最初裂缝产生器会在该非金属基材的切割线之一切割起始点产生一最初裂缝。该光学加热器会照射激光束于该非金属基材的切割在线来形成一刻划线。

4. 发明专利

TW200413261A 玻璃板切斷裝置审中-公开
简体标题：玻璃板切断设备
公开(公告)号：TW200413261A
公开(公告)日：2004-08-01
申请号：TW093100118
申请日：2004-01-05
申请人：樂華系統股份有限公司 RORZE SYSTEMS CORPORATION
发明人：柳基龍 YOU, KI YONG , 金春澤 KIM, CHOON TAEK , 安敏榮 AN, MIN YOUNG , 金美池 KIM, MI JEE
IPC分类号： C03B , B23K
CPC分类号： C03B33/093 , C03B33/102 , G02F1/133351 , Y10T225/304 , Y10T225/307 , Y10T225/321
摘要：〔課題〕本發明係有關藉由雷射光束將玻璃板切斷的裝置，其解決藉由雷射光束切斷玻璃板時所發生的切斷面的複雜凹凸化、橫切等先前未能安定切割的問題點。〔解決手段〕為了解決上述問題，朝向材料的切斷預定線的方向，在照射面積20～200mm^2的橢圓形上，照射0.05～2joule／mm^2的碳酸氣體雷射光束，以冷卻裝置使其冷卻而使劃線產生。藉由在上述劃線上以照射面積20～200mm^2及體積照射密度0.1～0.5joule／mm^3、照射其他的碳酸氣體雷射光束來切斷，而得到良好品質的切斷面。
简体摘要：〔课题〕本发明系有关借由激光光束将玻璃板切断的设备，其解决借由激光光束切断玻璃板时所发生的切断面的复杂凹凸化、横切等先前未能安定切割的问题点。〔解决手段〕为了解决上述问题，朝向材料的切断预定线的方向，在照射面积20～200mm^2的椭圆形上，照射0.05～2joule／mm^2的碳酸气体激光光束，以冷却设备使其冷却而使划线产生。借由在上述划在线以照射面积20～200mm^2及体积照射密度0.1～0.5joule／mm^3、照射其他的碳酸气体激光光束来切断，而得到良好品质的切断面。

5. 发明专利

TWI606982B 用於脆性材料之去角方法有权
简体标题：用于脆性材料之去角方法
公开(公告)号：TWI606982B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW104114269
申请日：2015-05-05
申请人：樂華系統股份有限公司 , RORZE SYSTEMS CORPORATION
发明人：文盛郁 , MOON, SEONG WOOK , 金燦貴 , KIM, CHAN GWI , 金基淵 , KIM, KI YEON
IPC分类号： C03B33/02 , C03B33/09 , B23K26/38
CPC分类号： B24B9/10

6. 发明专利

TWI268272B 玻璃板切斷裝置有权
简体标题：玻璃板切断设备
公开(公告)号：TWI268272B
公开(公告)日：2006-12-11
申请号：TW093100118
申请日：2004-01-05
申请人：樂華系統股份有限公司 RORZE SYSTEMS CORPORATION
发明人：柳基龍 YOU, KI YONG , 金春澤 KIM, CHOON TAEK , 安敏榮 AN, MIN YOUNG , 金美池 KIM, MI JEE
IPC分类号： C03B , B23K
CPC分类号： C03B33/093 , C03B33/102 , G02F1/133351 , Y10T225/304 , Y10T225/307 , Y10T225/321
摘要： [課題]
本發明係有關藉由雷射光束將玻璃板切斷的裝置，其解決藉由雷射光束切斷玻璃板時所發生的切斷面的複雜凹凸化、橫切等先前未能安定切割的問題點。[解決手段]
為了解決上述問題，朝向材料的切斷預定線的方向，在照射面積20~200mm2的橢圓形上，照射0.05~2joule/mm2的碳酸氣體雷射光束，以冷卻裝置使其冷卻而使劃線產生。藉由在上述劃線上以照射面積20~200mm2及體積照射密度0.1~0.5joule/mm3、照射其他的碳酸氣體雷射光束來切斷，而得到良好品質的切斷面。
简体摘要： [课题] 本发明系有关借由激光光束将玻璃板切断的设备，其解决借由激光光束切断玻璃板时所发生的切断面的复杂凹凸化、横切等先前未能安定切割的问题点。[解决手段] 为了解决上述问题，朝向材料的切断预定线的方向，在照射面积20~200mm2的椭圆形上，照射0.05~2joule/mm2的碳酸气体激光光束，以冷却设备使其冷却而使划线产生。借由在上述划在线以照射面积20~200mm2及体积照射密度0.1~0.5joule/mm3、照射其他的碳酸气体激光光束来切断，而得到良好品质的切断面。

7. 发明专利

TWI650190B 沖吹模組治具及具有此治具之沖吹模組有权
简体标题：冲吹模块治具及具有此治具之冲吹模块
公开(公告)号：TWI650190B
公开(公告)日：2019-02-11
申请号：TW106120377
申请日：2017-06-19
申请人：樂華系統股份有限公司 , RORZE SYSTEMS CORPORATION
发明人：吳丞倍 , OH, SEUNG BAE , 金英一 , KIM, YOUNG IL
IPC分类号： B08B5/02 , H01L21/30

8. 发明专利

TW201805077A 沖吹模組治具及具有此治具之沖吹模組审中-公开
简体标题：冲吹模块治具及具有此治具之冲吹模块
公开(公告)号：TW201805077A
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：TW106120377
申请日：2017-06-19
申请人：樂華系統股份有限公司 , RORZE SYSTEMS CORPORATION
发明人：吳丞倍 , OH, SEUNG BAE , 金英一 , KIM, YOUNG IL
IPC分类号： B08B5/02 , H01L21/30
CPC分类号： H01L21/67028 , H01L21/02 , H01L21/673 , H01L21/67393 , H01L21/67775
摘要：本發明提供一種沖吹模組治具以及包括該沖吹模組治具的一沖吹模組。該沖吹模組治具及該沖吹模組包括一具有一凹入溝槽的板體以及於其中形成的一開口，一具有一橢圓形狀橫截面的氣體輸送管，以及一固定部分將該板體與該氣體輸送管相互地固定，因此防止清潔氣體洩漏，減小其之厚度，降低該治具與一晶圓匣之間該干擾，該沖吹模組治具及該沖吹模組能夠施用在不同製造商之不同的載入埠，以及能夠改良其之性能。
简体摘要：本发明提供一种冲吹模块治具以及包括该冲吹模块治具的一冲吹模块。该冲吹模块治具及该冲吹模块包括一具有一凹入沟槽的板体以及于其中形成的一开口，一具有一椭圆形状横截面的气体输送管，以及一固定部分将该板体与该气体输送管相互地固定，因此防止清洁气体泄漏，减小其之厚度，降低该治具与一晶圆匣之间该干扰，该冲吹模块治具及该冲吹模块能够施用在不同制造商之不同的加载端口，以及能够改良其之性能。

9. 发明专利

TWI613012B 清潔模組及具有清潔模組之負載埠有权
简体标题：清洁模块及具有清洁模块之负载端口
公开(公告)号：TWI613012B
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW104127497
申请日：2015-08-24
申请人：樂華系統股份有限公司 , RORZE SYSTEMS CORPORATION
发明人：吳丞倍 , OH, SEUNG BAE , 嚴榮 , EOM, TAE YOUNG , 內山昌彥 , UCHIYAMA, MASAHIKO
IPC分类号： B08B5/00 , B08B11/00 , H01L21/673 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67393 , H01L21/02 , H01L21/302 , H01L21/67017 , H01L21/67772 , H01L21/67775

10. 发明专利

TWI248920B 玻璃板切割裝置 APPARATUS FOR CUTTING GLASS PLATE 有权
简体标题：玻璃板切割设备 APPARATUS FOR CUTTING GLASS PLATE
公开(公告)号：TWI248920B
公开(公告)日：2006-02-11
申请号：TW093107224
申请日：2004-03-18
申请人：樂華系統股份有限公司 RORZE SYSTEMS CORPORATION
发明人：柳基龍 YOU, KI YONG , 金春澤 KIM, CHOON TAIK , 安敏榮 AN, MIN YOUNG , 金美池 KIM, MI JEE
IPC分类号： C03B
CPC分类号： C03B33/093 , Y10T225/12
摘要：一種玻璃板切割裝置。玻璃板切割裝置包括一開裂裝置、至少一裁切裝置、至少一淬火裝置及一破斷裝置。藉由開裂裝置係於玻璃板之開始切割位置之一位置形成了一微小裂痕。至少一裁切裝置係使得一雷射光束被玻璃板所吸收。藉由至少一淬火裝置對於雷射光束照射之後的玻璃板進行淬火液之淬火處理。破斷裝置係採用雷射光束而達成，此破斷裝置包括了一雷射振盪器、一反射鏡及一聚焦透鏡。聚焦透鏡具有至少二焦距。玻璃板切割裝置更包括一光罩，此光罩具有複數光傳送開口，並且藉由光傳送開口傳送部分之雷射光束而照射在玻璃板之上，但不採用聚焦透鏡。藉由本發明玻璃板切割裝置之作用下，習知技術中之切割面平直性的降低或粗糙的切割面等問題均可被避免，同時得到潔淨的切割平面。
简体摘要：一种玻璃板切割设备。玻璃板切割设备包括一开裂设备、至少一裁切设备、至少一淬火设备及一破断设备。借由开裂设备系于玻璃板之开始切割位置之一位置形成了一微小裂痕。至少一裁切设备系使得一激光光束被玻璃板所吸收。借由至少一淬火设备对于激光光束照射之后的玻璃板进行淬火液之淬火处理。破断设备系采用激光光束而达成，此破断设备包括了一激光振荡器、一反射镜及一聚焦透镜。聚焦透镜具有至少二焦距。玻璃板切割设备更包括一光罩，此光罩具有复数光发送开口，并且借由光发送开口发送部分之激光光束而照射在玻璃板之上，但不采用聚焦透镜。借由本发明玻璃板切割设备之作用下，习知技术中之切割面平直性的降低或粗糙的切割面等问题均可被避免，同时得到洁净的切割平面。

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