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    • 10. 发明专利
    • 內埋元件的基板之製造方法 METHOD OF FABRICATING A DEVICE-CONTAINING SUBSTRATE
    • 内埋组件的基板之制造方法 METHOD OF FABRICATING A DEVICE-CONTAINING SUBSTRATE
    • TWI311452B
    • 2009-06-21
    • TW094110143
    • 2005-03-30
    • 日月光半導體製造股份有限公司 ADVANCED SEMICONDUCTOR ENGINEERING, INC.
    • 王永輝 WANG, YUNG-HUI洪清富 HUNG, CHING-FU
    • H05KH01L
    • 一種基板之製造方法,包括:提供一具複數個導電凸塊之第一導電薄膜,並固定一元件於第一導電薄膜上,元件具有複數個電極,且導電凸塊係與電極電性連接;再者,提供一具有容置空間之芯板,且芯板上下側具有一內層線路;接著,將元件埋入容置空間,再形成一絕緣部包覆元件、芯板及芯板上下側的內層線路,第一導電薄膜係位於元件下方,並在元件上方處形成一第二導電薄膜於絕緣部上;然後形成複數個通孔以貫穿第二導電薄膜、絕緣部、芯板與第一導電薄膜;接著,形成一導電層於通孔之側壁上,再圖案化第一導電薄膜和第二導電薄膜,以形成一外層線路;最後形成一防銲層於外層線路上。
    • 一种基板之制造方法,包括:提供一具复数个导电凸块之第一导电薄膜,并固定一组件于第一导电薄膜上,组件具有复数个电极,且导电凸块系与电极电性连接;再者,提供一具有容置空间之芯板,且芯板上下侧具有一内层线路;接着,将组件埋入容置空间,再形成一绝缘部包覆组件、芯板及芯板上下侧的内层线路,第一导电薄膜系位于组件下方,并在组件上方处形成一第二导电薄膜于绝缘部上;然后形成复数个通孔以贯穿第二导电薄膜、绝缘部、芯板与第一导电薄膜;接着,形成一导电层于通孔之侧壁上,再图案化第一导电薄膜和第二导电薄膜,以形成一外层线路;最后形成一防焊层于外层线路上。