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热词
    • 1. 发明专利
    • 流量控制裝置和程式存儲介質
    • 流量控制设备和进程存储介质
    • TW201823901A
    • 2018-07-01
    • TW106143733
    • 2017-12-13
    • 日商堀場STEC股份有限公司HORIBA STEC, CO., LTD.
    • 林繁之HAYASHI, SHIGEYUKI長井健太郎NAGAI, KENTARO山口正男YAMAGUCHI, MASAO
    • G05D7/06G01F1/34G01F1/88G01F25/00
    • 本發明提供流量控制裝置和程式存儲介質,特別是即使在目標流量下降這樣的過渡響應狀態下也能高速響應。流量控制裝置包括:閥,具備測量開度的位置感應器,設在流體流過的流道上;具備節流器的流量感應器,設置在所述閥的上游側;第一壓力感應器,設置在所述節流器的下游側,並且位於所述閥的上游側;設置在閥的下游側的第二壓力感應器;特性圖存儲部,存儲特性圖,該特性圖至少表示閥的開度、閥的前後的壓差以及流過流道的流體的流量之間的關係;以及閥控制部,控制閥的開度,以使流過流道的流體的流量成為接收到的目標流量。
    • 本发明提供流量控制设备和进程存储介质,特别是即使在目标流量下降这样的过渡响应状态下也能高速响应。流量控制设备包括:阀,具备测量开度的位置感应器,设在流体流过的流道上;具备节流器的流量感应器,设置在所述阀的上游侧;第一压力感应器,设置在所述节流器的下游侧,并且位于所述阀的上游侧;设置在阀的下游侧的第二压力感应器;特性图存储部,存储特性图,该特性图至少表示阀的开度、阀的前后的压差以及流过流道的流体的流量之间的关系;以及阀控制部,控制阀的开度,以使流过流道的流体的流量成为接收到的目标流量。
    • 2. 发明专利
    • 流體控制裝置和流體控制裝置用程式存儲介質
    • 流体控制设备和流体控制设备用进程存储介质
    • TW201833466A
    • 2018-09-16
    • TW107107100
    • 2018-03-02
    • 日商堀場STEC股份有限公司HORIBA STEC, CO., LTD.
    • 松浦和宏MATSUURA, KAZUHIRO山口正男YAMAGUCHI, MASAO長井健太郎NAGAI, KENTARO
    • F16K21/00G01F1/00
    • 流體控制裝置包括流量測量部測量流過流道內的流體的流量;流體控制閥設置在流道上;開度操作量輸出部,基於預先設定的設定流量與流量測量部的測量流量的偏差和預先設定的控制係數得到的流體控制閥的開度操作量輸出為開度操作量信號,在測量流量穩定的穩定狀態和因設定流量的變化而使測量流量變化的過渡狀態下,設定控制係數,在從穩定狀態切換為過渡狀態的時點或從該時點開始經過規定時間之前,開度操作量輸出部將根據在穩定狀態下的多個時點輸出的各開度操作量計算出的切換時用開度操作量輸出為切換時用開度操作量信號。
    • 流体控制设备包括流量测量部测量流过流道内的流体的流量;流体控制阀设置在流道上;开度操作量输出部,基于预先设置的设置流量与流量测量部的测量流量的偏差和预先设置的控制系数得到的流体控制阀的开度操作量输出为开度操作量信号,在测量流量稳定的稳定状态和因设置流量的变化而使测量流量变化的过渡状态下,设置控制系数,在从稳定状态切换为过渡状态的时点或从该时点开始经过规定时间之前,开度操作量输出部将根据在稳定状态下的多个时点输出的各开度操作量计算出的切换时用开度操作量输出为切换时用开度操作量信号。