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    • 3. 发明专利
    • 基板搬運裝置
    • 基板搬运设备
    • TW200933800A
    • 2009-08-01
    • TW097119741
    • 2008-05-28
    • 平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
    • 藤吉誠 FUJIYOSHI, MAKOTO
    • H01LB65G
    • B65G49/068B65G49/064
    • 本發明的基板搬運裝置,具備:在第1搬運方向進行水平搬運的第1搬運手段;及可將上述第1搬運手段上的上述基板在上述第1搬運方向正交方向的第2搬運方向進行水平搬運的第2搬運手段。上述第1搬運手段,是由彼此於上述第1搬運方向隔著間隔的複數列第1搬運單元所構成,上述第2搬運手段,是由彼此於上述第2搬運方向隔著間隔的複數列第2搬運單元所構成。各個上述第2搬運單元,具備有:配置在上述第1搬運單元間的空隙,可對上述基板從其下側進行支撐的支撐單元;配置在上述支撐單元下方可使上述支撐單元昇降的昇降單元;及配置在比上述第1搬運單元還下方的位置,可使上述支撐單元及上述昇降單元朝上述第2搬運方向移動的驅動單元。
    • 本发明的基板搬运设备,具备:在第1搬运方向进行水平搬运的第1搬运手段;及可将上述第1搬运手段上的上述基板在上述第1搬运方向正交方向的第2搬运方向进行水平搬运的第2搬运手段。上述第1搬运手段,是由彼此于上述第1搬运方向隔着间隔的复数列第1搬运单元所构成,上述第2搬运手段,是由彼此于上述第2搬运方向隔着间隔的复数列第2搬运单元所构成。各个上述第2搬运单元,具备有:配置在上述第1搬运单元间的空隙,可对上述基板从其下侧进行支撑的支撑单元;配置在上述支撑单元下方可使上述支撑单元升降的升降单元;及配置在比上述第1搬运单元还下方的位置,可使上述支撑单元及上述升降单元朝上述第2搬运方向移动的驱动单元。