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    • 82. 发明专利
    • 晶圓載置台
    • 晶圆载置台
    • TW201820528A
    • 2018-06-01
    • TW106128564
    • 2017-08-23
    • 日商日本碍子股份有限公司NGK INSULATORS, LTD.
    • 赤塚祐司
    • H01L21/687
    • 靜電夾頭加熱器20係將靜電夾頭22與冷卻板40一體化者。凹部28被設置於靜電夾頭22之與晶圓載置面22a係相反側的面。低熱膨脹係數金屬製之具陰螺紋之端子30係被插入凹部28,並藉包含陶瓷微粒子與硬焊材之接合層34與凹部28接合。陽螺紋44係被插入貫穿冷卻板40的貫穿孔42,並與具陰螺紋之端子30被螺合。在具陰螺紋之端子30與陽螺紋44被螺合之狀態,在具陰螺紋之端子30與陽螺紋44被螺合之狀態,在冷卻板40因熱膨脹差而對靜電夾頭22位移時的方向被設置游隙p。
    • 静电夹头加热器20系将静电夹头22与冷却板40一体化者。凹部28被设置于静电夹头22之与晶圆载置面22a系相反侧的面。低热膨胀系数金属制之具阴螺纹之端子30系被插入凹部28,并藉包含陶瓷微粒子与硬焊材之接合层34与凹部28接合。阳螺纹44系被插入贯穿冷却板40的贯穿孔42,并与具阴螺纹之端子30被螺合。在具阴螺纹之端子30与阳螺纹44被螺合之状态,在具阴螺纹之端子30与阳螺纹44被螺合之状态,在冷却板40因热膨胀差而对静电夹头22位移时的方向被设置游隙p。