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71. 实用新型

TW014274U 運送笨重貨物之車及控制該貨物位置之方法失效
简体标题：运送笨重货物之车及控制该货物位置之方法
公开(公告)号：TW014274U
公开(公告)日：1973-12-01
申请号：TW020364
申请日：1972-05-22
申请人：三井造船股份有限公司
发明人：前田和雄
IPC分类号： B65G

72. 发明专利

TWI469695B 電漿處理裝置有权
简体标题：等离子处理设备
公开(公告)号：TWI469695B
公开(公告)日：2015-01-11
申请号：TW098108447
申请日：2009-03-16
申请人：三井造船股份有限公司 , MITSUI ENGINEERING & SHIPBUILDING CO., LTD.
发明人：瀧澤一樹 , TAKIZAWA, KAZUKI , 森康成 , MORI, YASUNARI , 宮武直正 , MIYATAKE, NAOMASA , 村田和俊 , MURATA, KAZUTOSHI
IPC分类号： H05H1/46
CPC分类号： H05H1/46 , C23C16/509 , H01J37/321 , H01J37/3211

73. 发明专利

TWI448207B 感應加熱裝置有权
简体标题：感应加热设备
公开(公告)号：TWI448207B
公开(公告)日：2014-08-01
申请号：TW100139580
申请日：2011-10-31
申请人：三井造船股份有限公司 , MITSUI ENGINEERING & SHIPBUILDING CO., LTD.
发明人：內田直喜 , UCHIDA, NAOKI
IPC分类号： H05B6/36 , H01L21/324
CPC分类号： H01L21/67103 , H05B6/105 , H05B6/36 , H05B6/42 , H05B6/44

74. 发明专利

TWI417946B 薄膜形成裝置失效
简体标题：薄膜形成设备
公开(公告)号：TWI417946B
公开(公告)日：2013-12-01
申请号：TW098105469
申请日：2009-02-20
申请人：三井造船股份有限公司 , MITSUI ENGINEERING & SHIPBUILDING CO., LTD.
发明人：鷲尾圭亮 , WASHIO, KEISUKE
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/54
CPC分类号： C23C16/4412 , C23C16/45548

75. 发明专利

TW201328747A 避難用浮筏审中-公开
简体标题：避难用浮筏
公开(公告)号：TW201328747A
公开(公告)日：2013-07-16
申请号：TW101128214
申请日：2012-08-06
申请人：三井造船股份有限公司 , MITSUI ENGINEERING & SHIPBUILDING CO., LTD.
发明人：中野訓雄 , NAKANO, KUNIO
IPC分类号： A62B99/00 , B63B35/44
CPC分类号： B63B35/00 , B63B35/34 , B63C9/00 , E04H9/14 , Y02A50/14
摘要：提供一種避難用浮筏1，係具有於海嘯發生時浮起之浮體者，可實現浮體2之快速浮起，且確實地保護避難者。在具有於海嘯W發生時浮起之浮體之避難用浮筏1中，浮體2具有面對成為海嘯W進行方向之上游側之波上側F之浮體正面10，浮體正面10傾斜至波上側F，且形成浮體正面10與靜止水面所成之角度為5度以上且未滿90度。
简体摘要：提供一种避难用浮筏1，系具有于海啸发生时浮起之浮体者，可实现浮体2之快速浮起，且确实地保护避难者。在具有于海啸W发生时浮起之浮体之避难用浮筏1中，浮体2具有面对成为海啸W进行方向之上游侧之波上侧F之浮体正面10，浮体正面10倾斜至波上侧F，且形成浮体正面10与静止水面所成之角度为5度以上且未满90度。

76. 发明专利

TW201230880A 感應加熱裝置及感應加熱方法审中-公开
简体标题：感应加热设备及感应加热方法
公开(公告)号：TW201230880A
公开(公告)日：2012-07-16
申请号：TW100139580
申请日：2011-10-31
申请人：三井造船股份有限公司
发明人：內田直喜
IPC分类号： H05B , H01L
CPC分类号： H01L21/67103 , H05B6/105 , H05B6/36 , H05B6/42 , H05B6/44
摘要：本發明的課題是在於提供一種在被大徑化的晶圓的加熱採用成批型的加熱方式,且可進行高精度的均等加熱之感應加熱裝置。本發明的感應加熱裝置,係藉由從螺線管型的感應加熱線圈(18)產生的磁束來加熱被感應加熱構件,而藉由該被感應加熱構件的發熱來加熱晶圓(40)之感應加熱裝置(10),其特徵為:使在感應加熱線圈(18)的軸芯方向主面成垂直的方式配置的複數個被感應加熱構件(14(14a,14b,14c))散佈。在具有如此的特徵之感應加熱裝置(10)是可將被感應加熱構件(14)收容於藉由具備透磁性及熱傳達性的構件所構成的1個保持器(16)來構成基座(12)。
简体摘要：本发明的课题是在于提供一种在被大径化的晶圆的加热采用成批型的加热方式,且可进行高精度的均等加热之感应加热设备。本发明的感应加热设备,系借由从螺线管型的感应加热线圈(18)产生的磁束来加热被感应加热构件,而借由该被感应加热构件的发热来加热晶圆(40)之感应加热设备(10),其特征为:使在感应加热线圈(18)的轴芯方向主面成垂直的方式配置的复数个被感应加热构件(14(14a,14b,14c))散布。在具有如此的特征之感应加热设备(10)是可将被感应加热构件(14)收容于借由具备透磁性及热传达性的构件所构成的1个保持器(16)来构成基座(12)。

77. 发明专利

TWI360165B 電漿處理裝置 PLASMA PROCESSING APPARATUS 失效
简体标题：等离子处理设备 PLASMA PROCESSING APPARATUS
公开(公告)号：TWI360165B
公开(公告)日：2012-03-11
申请号：TW097111417
申请日：2008-03-28
申请人：三井造船股份有限公司
发明人：橘弘幸 , 森康成
IPC分类号： H01L , C23C , H05H
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/3244 , H01J37/32495
摘要：本發明的電漿處理裝置係具有：
電漿生成部，其係使用以電介體覆蓋表面的棒狀導體所構成的天線元件取複數所定的間隙而配列成的天線陣列來生成電漿；及
氣體放射部，其係以能夠覆蓋上述電漿生成部的方式設置，具備設於上述天線陣列的上方的氣體放射板。
由對處理對象基板的表面呈垂直的方向來看上述天線元件及上述放射板時，
在上述放射板中，在與上述電漿生成部的上述天線元件之間的領域整合的第1領域中形成有複數個對上述電漿生成部開口的氣體放出口，且在與上述天線元件的位置的領域整合的第2領域中未形成有上述氣體放出口。
藉此，即使成膜面積大時，還是可使成膜速度提升的同時，抑止粒子的發生，形成膜質及膜厚均一性佳的膜。
简体摘要：本发明的等离子处理设备系具有：等离子生成部，其系使用以电介体覆盖表面的棒状导体所构成的天线组件取复数所定的间隙而配列成的天线数组来生成等离子；及气体放射部，其系以能够覆盖上述等离子生成部的方式设置，具备设于上述天线数组的上方的气体放射板。由对处理对象基板的表面呈垂直的方向来看上述天线组件及上述放射板时，在上述放射板中，在与上述等离子生成部的上述天线组件之间的领域集成的第1领域中形成有复数个对上述等离子生成部开口的气体放出口，且在与上述天线组件的位置的领域集成的第2领域中未形成有上述气体放出口。借此，即使成膜面积大时，还是可使成膜速度提升的同时，抑止粒子的发生，形成膜质及膜厚均一性佳的膜。

78. 发明专利

TW201207151A 薄膜形成裝置审中-公开
简体标题：薄膜形成设备
公开(公告)号：TW201207151A
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：TW100109351
申请日：2011-03-18
申请人：三井造船股份有限公司
发明人：服部望 , 森康成
IPC分类号： C23C
CPC分类号： C23C16/45544 , C23C16/45548 , C23C16/4557 , C23C16/45591
摘要：薄膜形成裝置係具有：成膜容器，係以各別的時序被交替供給原料氣體及反應氣體，且形成用以在基板形成薄膜之經減壓的成膜空間；及氣體供給單元，係將原料氣體及反應氣體供給至前述成膜容器。氣體供給單元係設有至少1個屏板，其使由原料氣體及反應氣體的導入口朝向前述成膜空間流通的氣體流路彎曲。
简体摘要：薄膜形成设备系具有：成膜容器，系以各别的时序被交替供给原料气体及反应气体，且形成用以在基板形成薄膜之经减压的成膜空间；及气体供给单元，系将原料气体及反应气体供给至前述成膜容器。气体供给单元系设有至少1个屏板，其使由原料气体及反应气体的导入口朝向前述成膜空间流通的气体流路弯曲。

79. 发明专利

TW201205677A 半導體基板熱處理裝置审中-公开
简体标题：半导体基板热处理设备
公开(公告)号：TW201205677A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：TW099133302
申请日：2010-09-30
申请人：三井造船股份有限公司
发明人：宮田淳也 , 內田直喜
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67109
摘要：本發明係提供一種半導體基板熱處理裝置,能夠對感受器賦與水平磁束,同時,抑制因批次處理(batch processing)時產生上下端部的放熱所造成之處理不良。本發明之半導體基板熱處理裝置,係具有:在垂直方向層積配置載置晶圓(18)之複數之處理對象感受器(suscepter)(14)、與以在垂直方向夾入複數之處理對象感受器(14)之方式被配置之輔助感受器(16)而構成之舟皿(12),被配置於舟皿(12)之外周側、在與處理對象感受器(14)之晶圓載置面平行的方向形成交流磁束之感應加熱線圈,與對前述感應加熱線圈投入電力之電源部(36);前述感應加熱線圈係由:處理對象感受器(14)之加熱比例高的主加熱線圈(22)、與輔助感受器(16)的加熱比例高之輔助加熱線圈(24、26)等所形成;電源部(36)係具有控制投入主加熱線圈(22)與輔助加熱線圈(24、26)之電力比例之分區控制(zone control)手段。
简体摘要：本发明系提供一种半导体基板热处理设备,能够对感受器赋与水平磁束,同时,抑制因批次处理(batch processing)时产生上下端部的放热所造成之处理不良。本发明之半导体基板热处理设备,系具有:在垂直方向层积配置载置晶圆(18)之复数之处理对象感受器(suscepter)(14)、与以在垂直方向夹入复数之处理对象感受器(14)之方式被配置之辅助感受器(16)而构成之舟皿(12),被配置于舟皿(12)之外周侧、在与处理对象感受器(14)之晶圆载置面平行的方向形成交流磁束之感应加热线圈,与对前述感应加热线圈投入电力之电源部(36);前述感应加热线圈系由:处理对象感受器(14)之加热比例高的主加热线圈(22)、与辅助感受器(16)的加热比例高之辅助加热线圈(24、26)等所形成;电源部(36)系具有控制投入主加热线圈(22)与辅助加热线圈(24、26)之电力比例之分区控制(zone control)手段。

80. 发明专利

TW201107191A 船舶用引擎控制系統及方法审中-公开
简体标题：船舶用发动机控制系统及方法
公开(公告)号：TW201107191A
公开(公告)日：2011-03-01
申请号：TW099129231
申请日：2010-08-31
申请人：三井造船股份有限公司 , 三井造船系統技研股份有限公司
发明人：島田一孝 , 青木猛 , 山本秀則 , 光藤亮
IPC分类号： B63H , G05D
CPC分类号： F02D41/0025 , F02D29/02 , F02D41/0097 , F02D41/0205 , F02D41/1497
摘要：本發明之課題為無須新設置感測器，而是藉由判斷海象變化，依海象進行調速控制，以提高油耗效益。本發明之船舶用引擎控制系統中，係從實際旋轉速度Ne與燃料指數(fuel index)FI算出負載阻力係數R。將負載阻力係數R之變動周期與變動之有效值作為參數來建立控制圖。變動周期短且主發動機之反應性低的情況，或是雖然變動之有效值小、波浪之影響小，不過雜訊之影響大的情況下，進行將燃料噴射量保持一定之燃料指數控制。變動周期長且獲得足夠之隨動性的情況，或是變動之有效值大，且發生空轉之波浪的影響大之情況下，進行將主發動機（螺旋槳）旋轉速度維持一定之旋轉速度控制。在二個運轉模式之中間帶進行將主發動機之輸出維持一定的輸出控制。
简体摘要：本发明之课题为无须新设置传感器，而是借由判断海象变化，依海象进行调速控制，以提高油耗效益。本发明之船舶用发动机控制系统中，系从实际旋转速度Ne与燃料指数(fuel index)FI算出负载阻力系数R。将负载阻力系数R之变动周期与变动之有效值作为参数来创建控制图。变动周期短且主发动机之反应性低的情况，或是虽然变动之有效值小、波浪之影响小，不过噪声之影响大的情况下，进行将燃料喷射量保持一定之燃料指数控制。变动周期长且获得足够之随动性的情况，或是变动之有效值大，且发生空转之波浪的影响大之情况下，进行将主发动机（螺旋桨）旋转速度维持一定之旋转速度控制。在二个运转模式之中间带进行将主发动机之输出维持一定的输出控制。

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