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41. 发明专利

TW201421525A 在帶電粒子束樣品的製備減少屏幕效應之方法及系統审中-公开
简体标题：在带电粒子束样品的制备减少屏幕效应之方法及系统
公开(公告)号：TW201421525A
公开(公告)日：2014-06-01
申请号：TW102136258
申请日：2013-10-07
申请人： FEI公司 , FEI COMPANY
发明人：西米德特麥可 , SCHMIDT, MICHAEL , 金賢和 , KIM, HYUN HWA , 李相勳 , LEE, SANG HOON , 史東史黛西 , STONE, STACEY , 布雷克伍德傑佛瑞 , BLACKWOOD, JEFFREY
IPC分类号： H01J37/26
CPC分类号： G01N1/32 , G01N1/286 , H01J37/20 , H01J37/3053 , H01J2237/31745
摘要：本發明係關於一種曝露樣品中結構之一部分以用於在帶電粒子束系統中進行觀察之方法及系統，其包括自塊狀樣品中萃取樣品；確定減少屏幕效應之樣品定向；將樣品安放至帶電粒子束系統中之固持器上，以使得在研磨樣品以曝露結構時，該固持器使該樣品定向於減少屏幕效應之定向；藉由在減少屏幕效應之方向上研磨該樣品來曝露該結構；及使該結構成像。
简体摘要：本发明系关于一种曝露样品中结构之一部分以用于在带电粒子束系统中进行观察之方法及系统，其包括自块状样品中萃采样品；确定减少屏幕效应之样品定向；将样品安放至带电粒子束系统中之固持器上，以使得在研磨样品以曝露结构时，该固持器使该样品定向于减少屏幕效应之定向；借由在减少屏幕效应之方向上研磨该样品来曝露该结构；及使该结构成像。

42. 发明专利

TW201421045A 多維度結構接取审中-公开
简体标题：多维度结构接取
公开(公告)号：TW201421045A
公开(公告)日：2014-06-01
申请号：TW102136257
申请日：2013-10-07
申请人： FEI公司 , FEI COMPANY
发明人：布雷克伍德傑佛瑞 , BLACKWOOD, JEFFREY , 李相勳 , LEE SANG HOON , 西米德特麥可 , SCHMIDT, MICHAEL , 史東史黛西 , STONE, STACEY , 荷蘭凱莉 , HOLLAND, KAREY
IPC分类号： G01R31/26
CPC分类号： G01R31/2653 , G01N1/286 , G01N1/32 , G01R31/2808 , G01R31/2898 , G01R31/307 , G01R31/312 , H01J37/153 , H01J37/3005 , H01J2237/208 , H01J2237/24564 , H01J2237/2817 , H01J2237/31749 , H01L22/14 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要：自單一透視角度曝露樣本內之多個平面以供電探針接觸。可以非正交角銑削該樣本以將不同層曝露為傾斜表面。多個、平行導體平面之傾斜邊緣提供自上方對多個層次的接取。可接取該等平面(例如)以與電探針接觸以用於施加或感測電壓。因為非正交銑削使得可自上方看見所有層，所以可例如藉由自樣本表面遞減計數曝露之層來識別待接觸之曝露層的層次。或者，可以與表面正交之方式來銑削樣本，且接著使樣本傾轉及/或旋轉以提供對器件之多個層次的接取。較佳地遠離所關注區域來執行銑削，以提供對該區域之電接取同時最小化對該區域之損壞。
简体摘要：自单一透视角度曝露样本内之多个平面以供电探针接触。可以非正交角铣削该样本以将不同层曝露为倾斜表面。多个、平行导体平面之倾斜边缘提供自上方对多个层次的接取。可接取该等平面(例如)以与电探针接触以用于施加或传感电压。因为非正交铣削使得可自上方看见所有层，所以可例如借由自样本表面递减计数曝露之层来识别待接触之曝露层的层次。或者，可以与表面正交之方式来铣削样本，且接着使样本倾转及/或旋转以提供对器件之多个层次的接取。较佳地远离所关注区域来运行铣削，以提供对该区域之电接取同时最小化对该区域之损坏。

43. 发明专利

TW201107746A 樹脂中之紅磷定量用標準試料之製造方法审中-公开
简体标题：树脂中之红磷定量用标准试料之制造方法
公开(公告)号：TW201107746A
公开(公告)日：2011-03-01
申请号：TW099117706
申请日：2010-06-02
申请人：住友電氣工業股份有限公司
发明人：飯田益大
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N1/286 , G01N31/005 , G01N2030/125 , Y10T436/10 , Y10T436/107497 , Y10T436/16 , Y10T436/25
摘要：本發明的目的係提供即使極微量亦可保證規定濃度的紅磷均勻分佈之標準試料的製作方法，以及一種分析方法，其為藉由熱分解GCMS(氣相層析質譜分析)樹脂中之紅磷的定量方法，其特徵為使用前述標準試料。本發明係提供一種樹脂中之紅磷定量用標準試料之製造方法，其特徵為具有以下之步驟，將紅磷以規定量秤量且均勻混合於樹脂中而作成含有紅磷之混合物之步驟、將前述含有紅磷之混合物予以粉碎，並使具有5μm以上之最大徑之粒子數成為具有1μm以上未達5μm之最大徑之粒子數的1/20以下之步驟，及秤量0.05~10mg，以約0.1~0.5mg為佳之經粉碎之含有紅磷之混合物而作成標準試料之步驟；以及一種分析方法，其為藉由熱分解GCMS(氣相層析質譜分析)樹脂中之紅磷的定量方法，其特徵為使用前述標準試料。
简体摘要：本发明的目的系提供即使极微量亦可保证规定浓度的红磷均匀分布之标准试料的制作方法，以及一种分析方法，其为借由热分解GCMS(气相层析质谱分析)树脂中之红磷的定量方法，其特征为使用前述标准试料。本发明系提供一种树脂中之红磷定量用标准试料之制造方法，其特征为具有以下之步骤，将红磷以规定量秤量且均匀混合于树脂中而作成含有红磷之混合物之步骤、将前述含有红磷之混合物予以粉碎，并使具有5μm以上之最大径之粒子数成为具有1μm以上未达5μm之最大径之粒子数的1/20以下之步骤，及秤量0.05~10mg，以约0.1~0.5mg为佳之经粉碎之含有红磷之混合物而作成标准试料之步骤；以及一种分析方法，其为借由热分解GCMS(气相层析质谱分析)树脂中之红磷的定量方法，其特征为使用前述标准试料。

44. 发明专利

TWI323779B 用以處理生物樣本的方法及裝置 METHOD AND DEVICE FOR THE TREATMENT OF BIOLOGICAL SAMPLES 有权
简体标题：用以处理生物样本的方法及设备 METHOD AND DEVICE FOR THE TREATMENT OF BIOLOGICAL SAMPLES
公开(公告)号：TWI323779B
公开(公告)日：2010-04-21
申请号：TW094125180
申请日：2005-07-25
申请人：新加坡科技研究局
发明人：徐國林 , 毛佩玲 , 余彥宏 , 鄭榮福
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N1/286 , C12M45/07 , C12M47/06
摘要：一種用來破碎樣本組織及/或破裂細胞的裝置，其包含一壓電材料與至少一種與該壓電材料接觸的第二材料，其中該第二材料具有一不平坦表面，且位於與該壓電材料接觸之表面的相反側。
可藉著組合至少三層用於閥或泵浦的膜層或薄膜來製成該裝置。利用一外接電壓源(特別是一受調節的交流外接電壓)產生空泡效應(cavication)，以驅動該壓電材料來破碎組織及/或破裂細胞。本發明更提供一種在一裝置中破碎組織與/或破裂細胞的方法，該方法包括裝填一樣品與多種試劑；驅動一壓電材料；獲得已破碎的組織或已破裂的細胞；以及，回收該洗出物。本發明亦提供一壓電裝置，其包含一種與一第二材料接觸的壓電材料，且其中該第二材料具有一不平坦表面，其係位於與該壓電材料接觸之表面的相反側。 A device for sample tissue disruption and/or cell lysis comprising: a piezoelectric material; and at least a second material in contact with the piezoelectric material; and wherein the second material has an uneven surface on an opposite side to that in contact with the piezoelectric material.
The device may be made by assembling at least three layers and membranes for the valves and pumps. The piezoelectric material is actuated by an external voltage source to generate cavitation, which disrupts tissue and/or lyses cells, in particular by a modulated alternative external voltage. The invention further provides a method of disrupting tissue and/or lysing cells in a device comprising the steps: loading a sample and reagents; actuating a piezoelectric material; obtaining disrupted tissue and/or lysed cells; and recovering the eluate. Also provided is a piezoelectric device comprising a piezoelectric material in contact with a second material, and wherein the second material has an uneven surface on an opposite side to that in contact with the piezoelectric material. 【創作特點】本發明係著重於解決上述問題，並提供一種使用方便、價廉且有效的生物樣本處理裝置。
根據本發明一態樣，本發明係提供一種用於破碎樣本組織及/或破裂細胞的裝置，其包含一壓電材料。
特別是該壓電材料係藉由一調頻可變式電壓(frequency modulated alternative voltage)所驅動。
本發明之壓電裝置包含：一壓電材料與至少一第二材料，該第二材料係與該壓電材料接觸；其中該第二材料具有一不平坦表面，其係位於與該壓電材料接觸之表面的相反側上。該不平坦表面可增進空泡效應(cavitation effect，或稱空蝕效應)。
該第二材料較佳係附著至該壓電材料上。特別是，可將該第二材料黏附或固定在該壓電材料上。且可根據任何標準方法來製造出該不平坦表面，例如可藉著一矽珠層(layer of silica beads)來造成不平坦表面。舉例而言，可將該矽珠層黏附在該第二材料之與該壓電材料接觸面的相反面上。該些矽珠直徑大小可介於100至400微米(μm)之間。
該第二材料可為任意的適當材料，特別是該第二材料具有約介於50至220 Gpa的揚氏模數(Young’s modulus)。可使用金屬或聚合材料來製造該第二材料。例如所使用之金屬可選自於由鋼、不鏽鋼、黃銅、銅與鋁所構成之群組中。而所使用之聚合材料可選自於由聚碳酸酯(polycarbonate)、聚(甲基丙烯酸甲酯)(poly(methyl methacrylate)，PMMA)、聚乙烯(polyethylene)、聚丙烯(polypropylene)、聚苯乙烯(polystyrene)與聚氯乙烯(poly vinyl chloride，PVC)所構成之群組中。
該壓電材料可以製成盤狀、桿狀、條狀或一具有至少三邊的平面造型。
該裝置可能包含多個用來驅動該壓電材料的元件，例如兩個接觸、連接或供應至該壓電材料上的電極。此外，在特定情況中，該裝置為拋棄式裝置。
根據本發明另一態樣，本發明之裝置係一卡匣。該卡匣可更包含一入口、一出口以及至少一反應室(chamber)。該卡匣可單獨使用，或是將之整合至諸如一微型全分析系統(μ-TAS)或實驗室晶片(lab-on-a-chip system)等生物晶片中來使用。特別是，本發明之卡匣可為拋棄室卡匣。
根據本發明另一態樣，該裝置係一生物晶片裝置且更包含：一分解室、一或多個試劑與緩衝液儲存室、一或多個閥、一或多個泵浦及多個通道，以連接至該些分解室、儲存室與閥。該生物晶片裝置可用來製備生物樣本。
該裝置可更包含一微量泵浦、一結合與混合室、以及/或一萃取/洗出/聚合酶鏈鎖反應(PCR)室。該結合與混合室亦可包含一壓電材料與一第二材料，且該第二材料與該壓電材料接觸。該第二材料可能包含一不平坦表面，其係位於與該壓電材料接觸之表面的相反側上。可利用一矽珠層來造成該不平坦表面。該裝置可能更包含多個閥，該些閥可以是微量閥(microvalves)，而該些微量閥可為聚(二甲基矽氧烷)薄膜微量閥(poly(dimethylsiloxane)(PDMS)membrane microvalves)。該微量泵浦可包雸一薄膜。該薄膜可為聚(二甲基矽氧烷)薄膜。
根據本發明另一態樣，該裝置可更包含一注入孔(injection hole)。亦可修飾該裝置，使之可執行自動泵送的動作。
根據本發明一態樣，該生物晶片裝置使用外接氣動式驅動器(external pneumatic actuator)來驅動該些整合在晶片中的泵浦與閥。
可使用磁性材料來安置該萃取/洗出/PCR反應室，例如可使用高導磁合金(permalloy)，特別是高導磁合金頂針(pins)來安置該反應室。
該結合與混合室可包含多個塗覆有至少一連結子(linker)的珠粒，該連結子係用以連接核酸分子。該些珠粒可為磁性珠粒。
該裝置可由諸如聚碳酸酯等聚合物材料所構成。
該裝置亦可包含多個整合在晶片中的生物感應器(biosensor)、反轉錄聚合酶鏈鎖反應裝置(RT-PCRs)與微陣列(microarray)。
根據本發明另一態樣，該生物晶片裝置係由至少三層、一或多個用來作為閥的薄膜、以及一或多個用來作為泵浦的薄膜所構成。該第一層至少包含該分解室以及該些試劑與緩衝液儲存室；該第二層至少包含該壓電材料，且其中該些閥與泵浦係位在該第二層與該第三層間的界面處，以及該些通道係為於該第一層與該第二層間以及該第二層與該第三層間的界面處。
該生物晶片可更包含一蓋子，用以覆蓋該第一層。
根據本發明另一態樣，本發明提供一種在一裝置中破碎組織與/或破裂細胞的方法，該方法包括多個步驟：裝填一樣本與多種試劑；驅動一壓電材料，其中該壓電材料與一第二材料接觸，且該第二材料具有一不平坦表面，係位於與該壓電材料接觸之表面的相反側上，並且該不平坦表面係與該樣本接觸；獲得已破碎的組織與/或已破裂的細胞；以及，回收該洗出物(eluate)。
可根據任意一種標準方法來製造該不平坦表面，例如可藉由一矽珠層來產生該不平坦表面。該矽珠的直徑介於100至400微米之間。
根據本發明之方法，係藉由一外接電壓源來驅動該壓電材料。該外接電壓源可供應正弦波形電壓(sinusoidal wave voltage)。該正弦波形電壓可以是任意適當的波形電壓，例如該峰值-峰值電壓(peak-to-peak voltage)係從-140伏特(V)至140伏特。但，該峰值-峰值電壓並不僅限於此特定值。該正弦波形電壓具有一可調頻率，例如，該正弦波電壓之頻率可介於1.0仟赫茲(kHz)至20仟赫茲之間。特別是，該外接電壓源可供應一調頻電壓，以驅動該壓電材料。
該生物樣本可為取自動物、人類、細菌或病毒的組織以及/或細胞樣本。該樣本可以是新鮮或冷凍的組織及/或細胞樣本。根據本發明實施例的另一態樣，該樣本係一來自活體檢驗的培養細胞、全血球細胞、血清、尿液、唾液或組織。
根據本發明之方法，該壓電材料的驅動動作會產生衝擊力與空泡作用，造成該組織破碎與/或細胞破裂的結果。
根據本發明之另一態樣，本發明方法更包含將該些取自於已破碎組織與已破裂細胞之核酸加以分離、純化及/或複製(amplify)的步驟，以及回收該些核酸的步驟。可藉著將塗覆有至少一種連結子的珠粒加入該已破碎的組織及/或已破裂的細胞中，而自該已破碎的組織及/或已破裂的細胞回收核酸，且其中係藉著驅動一第二壓電材料以增進混合與結合效率來達到使核酸與該珠粒上之連結子結合的反應，並回收連接在該些珠粒上的核酸。
根據本發明之另一態樣，本發明亦提供一種包含一壓電材料的壓電元件，該壓電材料係與至少一第二材料接觸，且其中該第二材料具有一不平坦表面，其係位在與該壓電材料接觸之表面的相反側上。該壓電元件可應用於本發明之卡匣與/或生物晶片裝置中。
简体摘要：一种用来破碎样本组织及/或破裂细胞的设备，其包含一压电材料与至少一种与该压电材料接触的第二材料，其中该第二材料具有一不平坦表面，且位于与该压电材料接触之表面的相反侧。可借着组合至少三层用于阀或泵浦的膜层或薄膜来制成该设备。利用一外置电压源(特别是一受调节的交流外置电压)产生空泡效应(cavication)，以驱动该压电材料来破碎组织及/或破裂细胞。本发明更提供一种在一设备中破碎组织与/或破裂细胞的方法，该方法包括装填一样品与多种试剂；驱动一压电材料；获得已破碎的组织或已破裂的细胞；以及，回收该洗出物。本发明亦提供一压电设备，其包含一种与一第二材料接触的压电材料，且其中该第二材料具有一不平坦表面，其系位于与该压电材料接触之表面的相反侧。 A device for sample tissue disruption and/or cell lysis comprising: a piezoelectric material; and at least a second material in contact with the piezoelectric material; and wherein the second material has an uneven surface on an opposite side to that in contact with the piezoelectric material. The device may be made by assembling at least three layers and membranes for the valves and pumps. The piezoelectric material is actuated by an external voltage source to generate cavitation, which disrupts tissue and/or lyses cells, in particular by a modulated alternative external voltage. The invention further provides a method of disrupting tissue and/or lysing cells in a device comprising the steps: loading a sample and reagents; actuating a piezoelectric material; obtaining disrupted tissue and/or lysed cells; and recovering the eluate. Also provided is a piezoelectric device comprising a piezoelectric material in contact with a second material, and wherein the second material has an uneven surface on an opposite side to that in contact with the piezoelectric material. 【创作特点】本发明系着重于解决上述问题，并提供一种使用方便、价廉且有效的生物样本处理设备。根据本发明一态样，本发明系提供一种用于破碎样本组织及/或破裂细胞的设备，其包含一压电材料。特别是该压电材料系借由一调频可变式电压(frequency modulated alternative voltage)所驱动。本发明之压电设备包含：一压电材料与至少一第二材料，该第二材料系与该压电材料接触；其中该第二材料具有一不平坦表面，其系位于与该压电材料接触之表面的相反侧上。该不平坦表面可增进空泡效应(cavitation effect，或称空蚀效应)。该第二材料较佳系附着至该压电材料上。特别是，可将该第二材料黏附或固定在该压电材料上。且可根据任何标准方法来制造出该不平坦表面，例如可借着一硅珠层(layer of silica beads)来造成不平坦表面。举例而言，可将该硅珠层黏附在该第二材料之与该压电材料接触面的相反面上。该些硅珠直径大小可介于100至400微米(μm)之间。该第二材料可为任意的适当材料，特别是该第二材料具有约介于50至220 Gpa的扬氏模数(Young’s modulus)。可使用金属或聚合材料来制造该第二材料。例如所使用之金属可选自于由钢、不锈钢、黄铜、铜与铝所构成之群组中。而所使用之聚合材料可选自于由聚碳酸酯(polycarbonate)、聚(甲基丙烯酸甲酯)(poly(methyl methacrylate)，PMMA)、聚乙烯(polyethylene)、聚丙烯(polypropylene)、聚苯乙烯(polystyrene)与聚氯乙烯(poly vinyl chloride，PVC)所构成之群组中。该压电材料可以制成盘状、杆状、条状或一具有至少三边的平面造型。该设备可能包含多个用来驱动该压电材料的组件，例如两个接触、连接或供应至该压电材料上的电极。此外，在特定情况中，该设备为抛弃式设备。根据本发明另一态样，本发明之设备系一卡匣。该卡匣可更包含一入口、一出口以及至少一反应室(chamber)。该卡匣可单独使用，或是将之集成至诸如一微型全分析系统(μ-TAS)或实验室芯片(lab-on-a-chip system)等生物芯片中来使用。特别是，本发明之卡匣可为抛弃室卡匣。根据本发明另一态样，该设备系一生物芯片设备且更包含：一分解室、一或多个试剂与缓冲液存储室、一或多个阀、一或多个泵浦及多个信道，以连接至该些分解室、存储室与阀。该生物芯片设备可用来制备生物样本。该设备可更包含一微量泵浦、一结合与混合室、以及/或一萃取/洗出/聚合酶链锁反应(PCR)室。该结合与混合室亦可包含一压电材料与一第二材料，且该第二材料与该压电材料接触。该第二材料可能包含一不平坦表面，其系位于与该压电材料接触之表面的相反侧上。可利用一硅珠层来造成该不平坦表面。该设备可能更包含多个阀，该些阀可以是微量阀(microvalves)，而该些微量阀可为聚(二甲基硅氧烷)薄膜微量阀(poly(dimethylsiloxane)(PDMS)membrane microvalves)。该微量泵浦可包雸一薄膜。该薄膜可为聚(二甲基硅氧烷)薄膜。根据本发明另一态样，该设备可更包含一注入孔(injection hole)。亦可修饰该设备，使之可运行自动泵送的动作。根据本发明一态样，该生物芯片设备使用外置气动式驱动器(external pneumatic actuator)来驱动该些集成在芯片中的泵浦与阀。可使用磁性材料来安置该萃取/洗出/PCR反应室，例如可使用高导磁合金(permalloy)，特别是高导磁合金顶针(pins)来安置该反应室。该结合与混合室可包含多个涂覆有至少一链接子(linker)的珠粒，该链接子系用以连接核酸分子。该些珠粒可为磁性珠粒。该设备可由诸如聚碳酸酯等聚合物材料所构成。该设备亦可包含多个集成在芯片中的生物感应器(biosensor)、反转录聚合酶链锁反应设备(RT-PCRs)与微数组(microarray)。根据本发明另一态样，该生物芯片设备系由至少三层、一或多个用来作为阀的薄膜、以及一或多个用来作为泵浦的薄膜所构成。该第一层至少包含该分解室以及该些试剂与缓冲液存储室；该第二层至少包含该压电材料，且其中该些阀与泵浦系位在该第二层与该第三层间的界面处，以及该些信道系为于该第一层与该第二层间以及该第二层与该第三层间的界面处。该生物芯片可更包含一盖子，用以覆盖该第一层。根据本发明另一态样，本发明提供一种在一设备中破碎组织与/或破裂细胞的方法，该方法包括多个步骤：装填一样本与多种试剂；驱动一压电材料，其中该压电材料与一第二材料接触，且该第二材料具有一不平坦表面，系位于与该压电材料接触之表面的相反侧上，并且该不平坦表面系与该样本接触；获得已破碎的组织与/或已破裂的细胞；以及，回收该洗出物(eluate)。可根据任意一种标准方法来制造该不平坦表面，例如可借由一硅珠层来产生该不平坦表面。该硅珠的直径介于100至400微米之间。根据本发明之方法，系借由一外置电压源来驱动该压电材料。该外置电压源可供应正弦波形电压(sinusoidal wave voltage)。该正弦波形电压可以是任意适当的波形电压，例如该峰值-峰值电压(peak-to-peak voltage)系从-140伏特(V)至140伏特。但，该峰值-峰值电压并不仅限于此特定值。该正弦波形电压具有一可调频率，例如，该正弦波电压之频率可介于1.0仟赫兹(kHz)至20仟赫兹之间。特别是，该外置电压源可供应一调频电压，以驱动该压电材料。该生物样本可为取自动物、人类、细菌或病毒的组织以及/或细胞样本。该样本可以是新鲜或冷冻的组织及/或细胞样本。根据本发明实施例的另一态样，该样本系一来自活体检验的培养细胞、全血球细胞、血清、尿液、唾液或组织。根据本发明之方法，该压电材料的驱动动作会产生冲击力与空泡作用，造成该组织破碎与/或细胞破裂的结果。根据本发明之另一态样，本发明方法更包含将该些取自于已破碎组织与已破裂细胞之核酸加以分离、纯化及/或复制(amplify)的步骤，以及回收该些核酸的步骤。可借着将涂覆有至少一种链接子的珠粒加入该已破碎的组织及/或已破裂的细胞中，而自该已破碎的组织及/或已破裂的细胞回收核酸，且其中系借着驱动一第二压电材料以增进混合与结合效率来达到使核酸与该珠粒上之链接子结合的反应，并回收连接在该些珠粒上的核酸。根据本发明之另一态样，本发明亦提供一种包含一压电材料的压电组件，该压电材料系与至少一第二材料接触，且其中该第二材料具有一不平坦表面，其系位在与该压电材料接触之表面的相反侧上。该压电组件可应用于本发明之卡匣与/或生物芯片设备中。

45. 发明专利

TW201005846A 供觀察晶圓離子佈植缺陷之方法 AN ANALYSIS METHOD OF WAFER'S ION IMPLANT 审中-公开
简体标题：供观察晶圆离子布植缺陷之方法 AN ANALYSIS METHOD OF WAFER'S ION IMPLANT
公开(公告)号：TW201005846A
公开(公告)日：2010-02-01
申请号：TW097127302
申请日：2008-07-18
申请人：華亞科技股份有限公司
发明人：謝奕偉 , 羅傑米 , 陳珮儀
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01B15/00 , G01N1/286 , H01J2237/24564 , H01J2237/2817 , H01L22/12
摘要：一種供觀察晶圓離子佈植缺陷之方法，其步驟包括：(a)首先將一片晶圓折斷成多個晶圓片段；(b)接著由這些晶圓片段中，挑出有缺陷的晶圓片段，並將缺陷晶圓片段之表面設置絕緣體(insulator)；以及(c)最後使用電子顯微鏡觀察缺陷晶圓片段之離子佈植是否成功；藉此，可以大幅降低分析的時間以及接近100％重現性。
简体摘要：一种供观察晶圆离子布植缺陷之方法，其步骤包括：(a)首先将一片晶圆折断成多个晶圆片段；(b)接着由这些晶圆片段中，挑出有缺陷的晶圆片段，并将缺陷晶圆片段之表面设置绝缘体(insulator)；以及(c)最后使用电子显微镜观察缺陷晶圆片段之离子布植是否成功；借此，可以大幅降低分析的时间以及接近100％重现性。

46. 发明专利

TW200606413A 用以處理生物樣本的方法及裝置 METHOD AND DEVICE FOR THE TREATMENT OF BIOLOGICAL SAMPLES 审中-公开
简体标题：用以处理生物样本的方法及设备 METHOD AND DEVICE FOR THE TREATMENT OF BIOLOGICAL SAMPLES
公开(公告)号：TW200606413A
公开(公告)日：2006-02-16
申请号：TW094125180
申请日：2005-07-25
申请人：新加坡科技研究局 AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH
发明人：徐國林 XU, GUOLIN , 毛佩玲 MAO, PEI-LIN , 余彥宏 YU, YUAN HONG , 鄭榮福 TAY, ENG HOCK
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N1/286 , C12M45/07 , C12M47/06
摘要：一種用來破碎樣本組織及／或破裂細胞的裝置，其包含一壓電材料與至少一種與該壓電材料接觸的第二材料，其中該第二材料具有一不平坦表面，且位於與該壓電材料接觸之表面的相反側。可藉著組合至少三層用於閥或泵浦的膜層或薄膜來製成該裝置。利用一外接電壓源(特別是一受調節的交流外接電壓)產生空泡效應(cavication)，以驅動該壓電材料來破碎組織及／或破裂細胞。本發明更提供一種在一裝置中破碎組織與／或破裂細胞的方法，該方法包括裝填一樣品與多種試劑；驅動一壓電材料；獲得已破碎的組織或已破裂的細胞；以及，回收該洗出物。本發明亦提供一壓電裝置，其包含一種與一第二材料接觸的壓電材料，且其中該第二材料具有一不平坦表面，其係位於與該壓電材料接觸之表面的相反側。
简体摘要：一种用来破碎样本组织及／或破裂细胞的设备，其包含一压电材料与至少一种与该压电材料接触的第二材料，其中该第二材料具有一不平坦表面，且位于与该压电材料接触之表面的相反侧。可借着组合至少三层用于阀或泵浦的膜层或薄膜来制成该设备。利用一外置电压源(特别是一受调节的交流外置电压)产生空泡效应(cavication)，以驱动该压电材料来破碎组织及／或破裂细胞。本发明更提供一种在一设备中破碎组织与／或破裂细胞的方法，该方法包括装填一样品与多种试剂；驱动一压电材料；获得已破碎的组织或已破裂的细胞；以及，回收该洗出物。本发明亦提供一压电设备，其包含一种与一第二材料接触的压电材料，且其中该第二材料具有一不平坦表面，其系位于与该压电材料接触之表面的相反侧。

47. 发明专利

TW200500599A 有機發光二極體電子顯微鏡試片及其製作方法审中-公开
简体标题：有机发光二极管电子显微镜试片及其制作方法
公开(公告)号：TW200500599A
公开(公告)日：2005-01-01
申请号：TW092117136
申请日：2003-06-24
申请人：友達光電股份有限公司 AU OPTRONICS CORP.
发明人：蔡和廷
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N1/36 , G01N1/286 , Y10T428/26
摘要：一種有機發光二極體電子顯微鏡試片及其製作方法於此揭露。首先，提供有機發光二極體樣品，其中有機發光二極體樣品至少包含基板、第一電極層、有機層以及第二電極層。接著，形成保護層於樣品之表面。隨後，對有機發光二極體樣品進行切割程序，取得具有特定厚度之有機發光二極體樣品薄片，用以增加有機層之有機材料分子被穿透式電子顯微鏡所發射之電子束打到的機率，得以產生繞射成像，得到試片的影像。
简体摘要：一种有机发光二极管电子显微镜试片及其制作方法于此揭露。首先，提供有机发光二极管样品，其中有机发光二极管样品至少包含基板、第一电极层、有机层以及第二电极层。接着，形成保护层于样品之表面。随后，对有机发光二极管样品进行切割进程，取得具有特定厚度之有机发光二极管样品薄片，用以增加有机层之有机材料分子被穿透式电子显微镜所发射之电子束打到的概率，得以产生绕射成像，得到试片的影像。

48. 发明专利

TW505788B 用於雷射切割標本的裝置及顯微鏡失效
简体标题：用于激光切割标本的设备及显微镜
公开(公告)号：TW505788B
公开(公告)日：2002-10-11
申请号：TW090108913
申请日：2001-05-04
申请人：萊卡微縮系統維茲勒股份有限公司
发明人：麥克甘瑟 , 艾布雷齊韋斯 , 魯迪格史坦瑟
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N1/04 , G01N1/286 , G02B21/32
摘要：一種用於雷射切割標本的裝置，具有用來定義出平臺表面(4)的X-Y平臺(2)。一用來收納具有標本(8)之樣本玻片(6)的支架(14)係配置於平臺表面(4)上方，且其接合於X-Y平臺(2)上的方式是使之呈沿著Y方向(20a)及X方向(22a)可調整的。能夠將含有至少一個用於收集切出標本碎片的容器(12)之收集裝置(10)引進其內的開放工作空間(16)係定義在支架(14)與平臺表面(4)之間。本發明也說明了一種含有根據本發明用於雷射切割之裝置的顯微鏡。(第1圖)
简体摘要：一种用于激光切割标本的设备，具有用来定义出平台表面(4)的X-Y平台(2)。一用来收纳具有标本(8)之样本玻片(6)的支架(14)系配置于平台表面(4)上方，且其接合于X-Y平台(2)上的方式是使之呈沿着Y方向(20a)及X方向(22a)可调整的。能够将含有至少一个用于收集切出标本碎片的容器(12)之收集设备(10)引进其内的开放工作空间(16)系定义在支架(14)与平台表面(4)之间。本发明也说明了一种含有根据本发明用于激光切割之设备的显微镜。(第1图)

49. 发明专利

TW430871B 穿透式電子顯微鏡試片之切割方法失效
简体标题：穿透式电子显微镜试片之切割方法
公开(公告)号：TW430871B
公开(公告)日：2001-04-21
申请号：TW087109768
申请日：1998-06-18
申请人：聯華電子股份有限公司
发明人：蔡青龍
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01N1/286 , H01J2237/26 , H01J2237/282 , H01J2237/3114
摘要：一種穿透式電子顯微鏡試片之切割方法，可依據觀測壁之側邊與試片法線方向間的夾角，將工作平台依一方向傾斜該角度，並利用聚焦離子束依據切入方向對觀測壁進行切割，使觀測壁之一側得與工作平台垂直;在進行另一側的觀測壁切割時，可將工作平台依反方向傾斜，使觀測壁之另一側亦得與工作平台垂直，如此，即可得到厚度均勻的觀測壁。此外，吾人可利用觀測壁上的透孔位置作為切割終止信號，以準確得知試片切割時聚焦離子束的切入方向。
简体摘要：一种穿透式电子显微镜试片之切割方法，可依据观测壁之侧边与试片法线方向间的夹角，将工作平台依一方向倾斜该角度，并利用聚焦离子束依据切入方向对观测壁进行切割，使观测壁之一侧得与工作平台垂直;在进行另一侧的观测壁切割时，可将工作平台依反方向倾斜，使观测壁之另一侧亦得与工作平台垂直，如此，即可得到厚度均匀的观测壁。此外，吾人可利用观测壁上的透孔位置作为切割终止信号，以准确得知试片切割时聚焦离子束的切入方向。

50. 发明专利

TW299481B 分析半導體元件缺陷用試驗片的製造方法(一) 失效
简体标题：分析半导体组件缺陷用试验片的制造方法(一)
公开(公告)号：TW299481B
公开(公告)日：1997-03-01
申请号：TW085108640
申请日：1996-07-16
申请人：現代電子產業股份有限公司
发明人：朴斗鎮 , 具政會
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01N1/286 , G01N2001/2873 , H01L22/12 , H01L22/20
摘要：＜發明之目的＞
提供己成形的半導體元件，在其尚為晶板(WAFER)狀態時，即可針對所含缺陷檢查出來之該成形模片(DIE)所需的試驗片之製造方法；＜本發明之構成＞
本發明之構成要素，係包含下列各項工程在內，1. 找出晶板中之圖樣(PATTERN)層裡面所發生的缺陷處之
探索工程；2. 將該圖樣層全面，被覆形成感光膜之覆蓋感光膜工程；3. 將各該模片尚未被個別分離之晶板狀態下，自該含有缺
陷處之模後背後，以所指定之位置為中心點，自該模片
背面挖開成上面之直徑大，下面之直徑小之孔洞的研磨
工程；4. 以蝕刻方式，清理尚遺留在上述經研磨部分之矽膠 (S-
ILICONE)殘留物等雜物之蝕刻法清除工程。
简体摘要：＜发明之目的＞提供己成形的半导体组件，在其尚为晶板(WAFER)状态时，即可针对所含缺陷检查出来之该成形模片(DIE)所需的试验片之制造方法；＜本发明之构成＞本发明之构成要素，系包含下列各项工程在内，1. 找出晶板中之图样(PATTERN)层里面所发生的缺陷处之探索工程；2. 将该图样层全面，被覆形成感光膜之覆盖感光膜工程；3. 将各该模片尚未被个别分离之晶板状态下，自该含有缺陷处之模后背后，以所指定之位置为中心点，自该模片背面挖开成上面之直径大，下面之直径小之孔洞的研磨工程；4. 以蚀刻方式，清理尚遗留在上述经研磨部分之硅胶 (S- ILICONE)残留物等杂物之蚀刻法清除工程。

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