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    • 10. 发明专利
    • 分析半導體元件缺陷用試驗片的製造方法(一)
    • 分析半导体组件缺陷用试验片的制造方法(一)
    • TW299481B
    • 1997-03-01
    • TW085108640
    • 1996-07-16
    • 現代電子產業股份有限公司
    • 朴斗鎮具政會
    • H01L
    • G01N1/286G01N2001/2873H01L22/12H01L22/20
    • <發明之目的>
      提供己成形的半導體元件,在其尚為晶板(WAFER)狀態時,即可針對所含缺陷檢查出來之該成形模片(DIE)所需的試驗片之製造方法;<本發明之構成>
      本發明之構成要素,係包含下列各項工程在內,1. 找出晶板中之圖樣(PATTERN)層裡面所發生的缺陷處之
      探索工程;2. 將該圖樣層全面,被覆形成感光膜之覆蓋感光膜工程;3. 將各該模片尚未被個別分離之晶板狀態下,自該含有缺
      陷處之模後背後,以所指定之位置為中心點,自該模片
      背面挖開成上面之直徑大,下面之直徑小之孔洞的研磨
      工程;4. 以蝕刻方式,清理尚遺留在上述經研磨部分之矽膠 (S-
      ILICONE)殘留物等雜物之蝕刻法清除工程。
    • <发明之目的> 提供己成形的半导体组件,在其尚为晶板(WAFER)状态时,即可针对所含缺陷检查出来之该成形模片(DIE)所需的试验片之制造方法;<本发明之构成> 本发明之构成要素,系包含下列各项工程在内,1. 找出晶板中之图样(PATTERN)层里面所发生的缺陷处之 探索工程;2. 将该图样层全面,被覆形成感光膜之覆盖感光膜工程;3. 将各该模片尚未被个别分离之晶板状态下,自该含有缺 陷处之模后背后,以所指定之位置为中心点,自该模片 背面挖开成上面之直径大,下面之直径小之孔洞的研磨 工程;4. 以蚀刻方式,清理尚遗留在上述经研磨部分之硅胶 (S- ILICONE)残留物等杂物之蚀刻法清除工程。